蕪湖中芯國際用減薄用清洗劑聯(lián)系方式

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-04-08

    所述控制器進(jìn)行第二次減薄厚度確認(rèn)操作;具體的,通過設(shè)置于所述第三沖洗區(qū)2的第二輔助厚度測(cè)量?jī)x進(jìn)行厚度檢測(cè),從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作,當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí),所述玻璃加工治具4可再次進(jìn)入所述蝕刻區(qū)3內(nèi)進(jìn)行減薄處理。所述主厚度測(cè)量?jī)x32設(shè)置在其中對(duì)玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區(qū)3中并且實(shí)時(shí)測(cè)量玻璃厚度,使得玻璃可更準(zhǔn)確地具有目標(biāo)厚度;所述輔助厚度測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中,并且再次測(cè)量經(jīng)歷過減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在所述蝕刻區(qū)3中的所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否無法正確工作,并且使減薄玻璃的缺陷率降至;且所述輔助厚度測(cè)量?jī)x可提前測(cè)量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在蝕刻區(qū)3中的主厚度測(cè)量?jī)x32是否無法正確工作;所述第二輔助厚度測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述第三沖洗區(qū)2,從而在減薄后清洗終完成后,再次進(jìn)行厚度檢測(cè),從而檢測(cè)預(yù)從所述玻璃減薄生產(chǎn)線運(yùn)出的玻璃是否符合標(biāo)準(zhǔn),并進(jìn)一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發(fā)明的較佳實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明而言是說明性的,而非限制性的。本專業(yè)技術(shù)人員理解,在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對(duì)其進(jìn)行許多改變,修改,甚至等效,但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。蘇州質(zhì)量好的減薄用清洗劑的公司。蕪湖中芯國際用減薄用清洗劑聯(lián)系方式

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    根據(jù)ASTMB-117及DIN執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)JIS、ASTM、GBCAS7732-18-5閃點(diǎn)40℃主營產(chǎn)品:不銹鋼鈍化系列不銹鐵鈍化系列銅材鈍化系列鋁材鈍化系列¥深圳市鈍化技術(shù)有限公司所在地:廣東深圳在線詢價(jià)歐洋專注五金表面處理劑銅除油劑OY-29類別酸性清洗液型號(hào)OY-29品牌歐洋主要用途銅除油主營產(chǎn)品:五金化工表面處理清洗光亮鈍化封閉¥溫州奧洋新材料有限公司所在地:浙江溫州在線詢價(jià)OY-54環(huán)保銅清洗劑銅光亮劑銅拋光劑產(chǎn)品規(guī)格20KG/桶執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)7089750/CHEM主要用途銅產(chǎn)品高光亮效果處理劑CASGB/99029主營產(chǎn)品:除油除銹劑防銹劑光亮劑發(fā)黑劑染色防變色劑防霉劑化學(xué)拋光劑¥溫州奧洋科技有限公司所在地:浙江溫州在線詢價(jià)供應(yīng)Q/型號(hào)Q/品牌貽順分類銅材處理香型無味PH值酸性保質(zhì)期36個(gè)月主營產(chǎn)品:拋光劑發(fā)黑劑除油劑化學(xué)鍍¥廣州市貽順化工有限公司所在地:廣東廣州在線詢價(jià)銅氧化物清洗劑黃銅。青銅,紫銅,鈹銅。

    圳主營產(chǎn)品:除蠟水除油劑銅拋光劑不銹鋼清洗劑¥深圳市妙潔清洗劑有限公司所在地:廣東深圳在線詢價(jià)鋁合金清洗劑銅清洗劑有色金屬清洗劑廠家直銷類別超聲波清洗液型號(hào)清洗劑主要用途清洗防銹執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國標(biāo)CAS清洗劑主營產(chǎn)品:切削液防銹油清洗劑拉伸油¥濟(jì)南綠潤化工有限公司所在地:山東濟(jì)南在線詢價(jià)越平Y(jié)P-168金屬黃銅紫銅光亮清洗劑是否進(jìn)口否產(chǎn)地溫州品牌越平產(chǎn)品名稱銅光亮劑產(chǎn)品規(guī)格25/KG貨號(hào)YP-168主營產(chǎn)品:除油脫脂劑除銹劑磷化液發(fā)黑劑¥所在地:上海浦東新區(qū)在線詢價(jià)黃銅光亮劑和紫銅清洗劑的去除銅氧化效果是否進(jìn)口否產(chǎn)地東莞類別酸性清洗液型號(hào)CA-Q01品牌美貝仕貨號(hào)888主營產(chǎn)品:不銹鋼鈍化液電解拋光液不銹鋼環(huán)保鈍化液銹鋼酸洗鈍化液¥廣東省東莞市凱盟表面技術(shù)開發(fā)有限公司所在地:廣東東莞在線詢價(jià)銅材清洗劑LX-906、黃銅除銹除油劑、成都銅件清洗劑批發(fā)、重慶油污清洗劑供應(yīng)商、四川清洗劑廠分類油污清洗劑型號(hào)LX-906品牌凱亞香型無PH值7-9保質(zhì)期6。減薄清洗劑,專為提升產(chǎn)品質(zhì)量而設(shè)計(jì),讓您的產(chǎn)品更出色。

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    圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖;圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想,為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12,當(dāng)然,本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等,托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng)。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。減薄用清洗劑,專為去除多余涂層設(shè)計(jì),不留痕跡。。南通減薄用清洗劑訂做價(jià)格

減薄用清洗劑的適用人群有哪些?蕪湖中芯國際用減薄用清洗劑聯(lián)系方式

    并控制磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11每間隔20s旋轉(zhuǎn)10s,也就是說,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s,控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)后,控制噴頭噴涂拋光液10s,停止噴涂拋光液10s后,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s,以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中,控制部件在脈沖工作模式下,實(shí)現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個(gè)過程穩(wěn)定,速度快,控制性好,重復(fù)度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達(dá)到20μm,拋光面ra<2nm。還需要說明的是,本發(fā)明實(shí)施例中,在減薄的過程中,可以不斷更換磁轉(zhuǎn)子12,如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時(shí)后,將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子,以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。此外,本發(fā)明實(shí)施例中,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對(duì)待加工部件20進(jìn)行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮?dú)獯蹈伞V?,將清洗后的待加工部?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動(dòng)分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種拋光減薄方法,如圖5所示,包括:s101:將待加工部件固定在托盤上,待加工部件包括inp基晶圓;可選地。蕪湖中芯國際用減薄用清洗劑聯(lián)系方式