廣東顯示面板用減薄用清洗劑推薦廠家

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-04-11

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    產(chǎn)生不良次品;同時(shí)由于所述側(cè)支撐件44的移動(dòng),可帶動(dòng)玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,所述底座41和實(shí)施支撐架42上均設(shè)置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內(nèi)。實(shí)施例四所述支撐架42包括對(duì)應(yīng)設(shè)置的架體和第二架體,所述架體和所述第二架體均固定設(shè)置在所述底座41上,所述架體包括平行對(duì)應(yīng)設(shè)置的兩豎直平板421,所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對(duì)應(yīng)兩側(cè)板422,所述架體和所述第二架體形成盛放部,玻璃設(shè)置在所述盛放部?jī)?nèi);所述側(cè)板422和所述豎直平板421可均固定設(shè)置于所述底座41上,也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設(shè)置有若干所述側(cè)支撐件44,且所述側(cè)支撐件44對(duì)應(yīng)所述底支撐件43設(shè)置。較佳的,所述架體上固定設(shè)置有若干固定孔,所述側(cè)支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應(yīng)所述固定孔上固定設(shè)置;所述第二架體上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽,對(duì)應(yīng)所述調(diào)節(jié)槽還設(shè)置有固定板423,所述固定板423的兩端分別設(shè)置在對(duì)應(yīng)兩所述側(cè)板422的所述調(diào)節(jié)槽上,并可在所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)調(diào)節(jié)移動(dòng),從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。哪家減薄用清洗劑的質(zhì)量比較好。

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    本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說,涉及一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法。背景技術(shù):采用iii-v族化合物制作的半導(dǎo)體器件和超高速數(shù)字/數(shù)?;旌想娐返葢{借其優(yōu)良的頻率特性,已經(jīng)成為通訊、雷達(dá)、制導(dǎo)、空間防御、高速智能化武器及電子對(duì)抗等現(xiàn)代化裝備的部件之一。在眾多的iii-v族化合物中,inp(磷化銦)化合物具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì),這主要得益于其優(yōu)良的材料特性,例如,inp和ingaas(銦鎵砷)之間的晶格失配很小,以及電子飽和速率很高等,所以不論是hemt(highelectronmobilitytransistor,高電子遷移率晶體管)結(jié)構(gòu)還是hbt(heterojunctionbipolartransistor,異質(zhì)結(jié)雙極晶體管)結(jié)構(gòu),都具有非常優(yōu)異的高頻、大功率性能。但是,inp材料的物理性能卻很差,非常易碎,很小的碰撞或振動(dòng)都會(huì)導(dǎo)致晶圓碎裂而前功盡棄,因此,inp材料的制造加工面臨著很多工藝上的難題。尤其是在超高頻率、大功率的inp基rfic(射頻集成電路)的制造工藝中,如何在對(duì)inp基晶圓進(jìn)行減薄拋光時(shí),減小或避免inp基晶圓的損傷是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題之一。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:有鑒于此,本發(fā)明提供了一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法,以減小或避免inp基晶圓的減薄拋光損傷。為實(shí)現(xiàn)上述目的。質(zhì)量比較好的減薄用清洗劑的公司找誰?深圳減薄用清洗劑批量定制

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    降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。由于本發(fā)明實(shí)施例中采用光刻膠對(duì)托盤和待加工部件進(jìn)行了固定,因此,對(duì)待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后,還包括:對(duì)待加工部件進(jìn)行清洗;采用特定溶液對(duì)光刻膠進(jìn)行腐蝕,以將待加工部件與托盤分離。具體地,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對(duì)待加工部件20進(jìn)行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮?dú)獯蹈?。之后,將清洗后的待加工部?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動(dòng)分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例提供的方法,還包括:在磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后,更換磁轉(zhuǎn)子。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時(shí)后,可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子,以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處,各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對(duì)于實(shí)施例公開的裝置而言,由于其與實(shí)施例公開的方法相對(duì)應(yīng),所以描述的比較簡(jiǎn)單,相關(guān)之處參見方法部分說明即可。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明。廣東顯示面板用減薄用清洗劑推薦廠家