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來源: 發(fā)布時間:2024-03-27

    所述控制器進行第二次減薄厚度確認操作;具體的,通過設置于所述第三沖洗區(qū)2的第二輔助厚度測量儀進行厚度檢測,從而實現(xiàn)所述減薄厚度確認操作,當所述減薄厚度未達到目標厚度時,所述玻璃加工治具4可再次進入所述蝕刻區(qū)3內(nèi)進行減薄處理。所述主厚度測量儀32設置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區(qū)3中并且實時測量玻璃厚度,使得玻璃可更準確地具有目標厚度;所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區(qū)2中,并且再次測量經(jīng)歷過減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設置在所述蝕刻區(qū)3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作,并且使減薄玻璃的缺陷率降至;且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設置在蝕刻區(qū)3中的主厚度測量儀32是否無法正確工作;所述第二輔助厚度測量儀設置在所述第三沖洗區(qū)2,從而在減薄后清洗終完成后,再次進行厚度檢測,從而檢測預從所述玻璃減薄生產(chǎn)線運出的玻璃是否符合標準,并進一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發(fā)明的較佳實施例,對本發(fā)明而言是說明性的,而非限制性的。本專業(yè)技術人員理解,在本發(fā)明權利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對其進行許多改變,修改,甚至等效,但都將落入本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。口碑好的減薄用清洗劑的公司聯(lián)系方式。浙江市面上哪家減薄用清洗劑推薦廠家

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    并控制磁轉子12和噴頭11每間隔20s旋轉10s,也就是說,控制磁轉子旋轉10s,控制磁轉子停止旋轉后,控制噴頭噴涂拋光液10s,停止噴涂拋光液10s后,控制磁轉子旋轉10s,以此類推。本發(fā)明實施例中,控制部件在脈沖工作模式下,實現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩(wěn)定,速度快,控制性好,重復度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達到20μm,拋光面ra<2nm。還需要說明的是,本發(fā)明實施例中,在減薄的過程中,可以不斷更換磁轉子12,如磁轉子12工作1小時后,將磁轉子12更換為新的磁轉子,以使磁轉子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真。此外,本發(fā)明實施例中,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮氣吹干。之后,將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例還提供了一種拋光減薄方法,如圖5所示,包括:s101:將待加工部件固定在托盤上,待加工部件包括inp基晶圓;可選地。

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    若干所述側支撐件44固定設置在所述固定板423的端面上;所述固定板423兩端均設置有至少兩個固定卡塊427,所述固定卡塊427一般設置為矩形橫截面結構,便于所述固定板423端面的朝向定位;對應的,所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設置有固定槽426,當所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設置于對應的所述固定槽426內(nèi)時,設置有所述側支撐件44的端面對應所述豎直平板421上的所述側支撐件44,且設置所述側支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設置在所述底支撐件43的兩側,從而實現(xiàn)對所述盛放部內(nèi)玻璃的支撐限位。其中,如圖3所示,所述側板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實施方式為,所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425,所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣,所述固定槽426對應所述固定卡塊427設置為u型槽,從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對應所述固定卡塊427的尺寸設置,使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動。在本實施方式中,兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設置有所述側支撐件44,同一所述水平槽424多只設置一個所述固定卡塊427。輕松去除過厚涂層,減薄用清洗劑是您理想的選擇。蘇州顯示面板用減薄用清洗劑商家

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