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    圖1為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖；圖5為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發(fā)明的思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。本發(fā)明實施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12，當然，本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等，托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應室13內(nèi)進行拋光和減薄反應。其中，托盤10，可選為石英托盤，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對待加工表面進行拋光。質(zhì)量比較好的減薄用清洗劑的公司找誰？顯示面板用減薄用清洗劑批量定制

    圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖中數(shù)字表示：1-轉(zhuǎn)換區(qū)；2-沖洗區(qū)；3-蝕刻區(qū)；4-玻璃加工治具；31-腔室；32-主厚度測量儀；33-噴淋組件；41-底座；42-支撐架；43-底支撐件；44-側(cè)支撐件；421-豎直平板；422-側(cè)板；423-固定板；424-水平槽；425-豎直槽；426-固定槽；427-固定卡塊；428-定位槽；429-定位孔；431-支撐條；432-第二支撐條；433-連接部；434-接觸部；435-磁性件；436-第二磁性件；437-限位孔；438-限位塊；439-第二限位塊。具體實施方式以下結(jié)合附圖，對本發(fā)明上述的和另外的技術特征和優(yōu)點作更詳細的說明。實施例一如圖1所示，圖1為所述玻璃減薄設備的結(jié)構(gòu)視圖；本發(fā)明中所述玻璃減薄設備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3，所述沖洗區(qū)2設置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間，豎直容納在玻璃加工治具4中的多個玻璃通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中，在所述沖洗區(qū)2中進行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理。南京哪里減薄用清洗劑商家減薄清洗劑，采用科技，為您帶來好的清潔效果。

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    產(chǎn)生不良次品；同時由于所述側(cè)支撐件44的移動，可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動，從而實現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的，所述底座41和實施支撐架42上均設置有若干流通孔，所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內(nèi)。實施例四所述支撐架42包括對應設置的架體和第二架體，所述架體和所述第二架體均固定設置在所述底座41上，所述架體包括平行對應設置的兩豎直平板421，所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應兩側(cè)板422，所述架體和所述第二架體形成盛放部，玻璃設置在所述盛放部內(nèi)；所述側(cè)板422和所述豎直平板421可均固定設置于所述底座41上，也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設置有若干所述側(cè)支撐件44，且所述側(cè)支撐件44對應所述底支撐件43設置。較佳的，所述架體上固定設置有若干固定孔，所述側(cè)支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應所述固定孔上固定設置；所述第二架體上設置有調(diào)節(jié)槽，對應所述調(diào)節(jié)槽還設置有固定板423，所述固定板423的兩端分別設置在對應兩所述側(cè)板422的所述調(diào)節(jié)槽上，并可在所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)調(diào)節(jié)移動，從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。減薄用清洗劑的的概費用是多少？

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    本發(fā)明提供如下技術方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對所述待加工表面進行拋光；磁轉(zhuǎn)子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進行機械研磨，對所述待加工表面進行減薄?？蛇x地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作，以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄?？蛇x地，所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層，以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨?？蛇x地，所述研磨層為金屬氧化物層，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地，還包括：熱板，設置于所述托盤底部，用于對所述托盤進行加熱，以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定?？蛇x地，所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤上，所述待加工部件包括inp基晶圓；通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光；通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進行機械研磨。顯示面板用減薄用清洗劑批量定制