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    所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側(cè)壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內(nèi)之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時實時測量玻璃的厚度，并且將關(guān)于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器。所述控制器實時確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達(dá)到目標(biāo)厚度。如果確定玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度，則所述控制器停止對玻璃進行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動至所述沖洗區(qū)2內(nèi)。實施例三所述玻璃加工治具4經(jīng)所述控制器的控制實現(xiàn)在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)運動，進而通過所述玻璃加工治具4的自身結(jié)構(gòu)實現(xiàn)所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動，從而實現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分接觸，提高玻璃在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；具體的，所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42，所述支撐架42固定設(shè)置在所述底座41上；所述底座41上設(shè)置有底支撐件43，所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸，在玻璃底部提供支撐效果；所述支撐架42上設(shè)置有側(cè)支撐件44，所述側(cè)支撐件44限制玻璃側(cè)部邊緣位置。高效、環(huán)保的減薄用清洗劑，為您的生產(chǎn)帶來綠色變化。上海哪里減薄用清洗劑批量定制

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    來對所述待加工表面進行減薄?？蛇x地，還包括：在所述磁轉(zhuǎn)子運行一段時間后，更換所述磁轉(zhuǎn)子?？蛇x地，將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上?？蛇x地，對所述待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后，還包括：對所述待加工部件進行清洗；采用特定溶液對所述光刻膠進行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點：本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤固定待加工部件，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光，采用磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對待加工表面進行機械研磨，來對所述待加工表面進行減薄，由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件如inp基晶圓的機械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時，值得指出的時，所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式，具體的，所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽，所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽，對應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板，所述安裝板對應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個所述固定塊，所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi)，從而實現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置，從而實現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定，同時，通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置，可實現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié)，從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃，并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的，對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu)，可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示，圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。減薄清洗劑，助您輕松打造高精度產(chǎn)品，滿足客戶需求。

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    經(jīng)減薄處理后的玻璃可再次進入所述沖洗區(qū)2以經(jīng)歷減薄后清潔并且通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載到外部；所述玻璃減薄設(shè)備還設(shè)置有制動組件，通過所述制動組件實現(xiàn)所述玻璃加工治具4從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述蝕刻區(qū)3的減薄前移動，以及從所述蝕刻區(qū)3經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的減薄后移動。在本實施例中，圖1內(nèi)并排設(shè)置有2個所述玻璃減薄設(shè)備，所述沖洗區(qū)2包括沖洗區(qū)2、第二沖洗區(qū)2和第三沖洗區(qū)2，所述第二沖洗區(qū)2設(shè)置于所述沖洗區(qū)2和所述第三沖洗區(qū)2之間，所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述轉(zhuǎn)換區(qū)1之間，所述第三沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述蝕刻區(qū)3之間。所述轉(zhuǎn)換區(qū)1可升降的折疊式結(jié)構(gòu)，從而便于所述玻璃加工治具4在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的放置或卸下。較佳的，所述轉(zhuǎn)換區(qū)1還設(shè)置有裝卸臂，通過所述裝卸臂可實現(xiàn)對所述玻璃加工治具4的上下料，以及單片玻璃的拿取檢測。實施例二如圖2所示，圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖；所述蝕刻區(qū)3包括腔室31、主厚度測量儀32、噴淋組件33和控制器；所述噴淋組件33在所述腔室31中對設(shè)置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加減薄處理，所述主厚度測量儀32實時測量在所述腔室31內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度。上海哪里減薄用清洗劑批量定制