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    所述主厚度測(cè)量?jī)x32布置在所述腔室31的側(cè)壁附近。所述主厚度測(cè)量?jī)x32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內(nèi)之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量玻璃的厚度，并且將關(guān)于測(cè)得厚度的信息發(fā)送到所述控制器。所述控制器實(shí)時(shí)確定從所述主厚度測(cè)量?jī)x32接收的玻璃的厚度是否達(dá)到目標(biāo)厚度。如果確定玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度，則所述控制器停止對(duì)玻璃進(jìn)行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動(dòng)至所述沖洗區(qū)2內(nèi)。實(shí)施例三所述玻璃加工治具4經(jīng)所述控制器的控制實(shí)現(xiàn)在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而通過(guò)所述玻璃加工治具4的自身結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分接觸，提高玻璃在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；具體的，所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42，所述支撐架42固定設(shè)置在所述底座41上；所述底座41上設(shè)置有底支撐件43，所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸，在玻璃底部提供支撐效果；所述支撐架42上設(shè)置有側(cè)支撐件44，所述側(cè)支撐件44限制玻璃側(cè)部邊緣位置。蘇州質(zhì)量好的減薄用清洗劑的公司聯(lián)系方式。嘉興好用的減薄用清洗劑推薦貨源

    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過(guò)程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中通過(guò)光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此，在其他實(shí)施例中，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定?；诖?，如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設(shè)置在托盤10底部，用于對(duì)托盤10進(jìn)行加熱，以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，之后，將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上，將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。本發(fā)明實(shí)施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，來(lái)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說(shuō)明的是。臺(tái)州中芯國(guó)際用減薄用清洗劑聯(lián)系方式減薄清洗劑，采用科技，為您帶來(lái)好的清潔效果。

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    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時(shí)，值得指出的時(shí)，所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式，具體的，所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽，所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽，對(duì)應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板，所述安裝板對(duì)應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個(gè)所述固定塊，所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，通過(guò)將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過(guò)所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定，同時(shí)，通過(guò)所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置，可實(shí)現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié)，從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃，并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時(shí)放置不同尺寸的玻璃進(jìn)行減薄處理。實(shí)施例五一般的，對(duì)于實(shí)施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu)，可通過(guò)調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示，圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。減薄清洗劑，讓您的產(chǎn)品更加完美，滿足高精度要求。臺(tái)州哪家公司減薄用清洗劑商家

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    本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光；磁轉(zhuǎn)子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作，以對(duì)所述待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。可選地，所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層，以通過(guò)所述研磨層對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。可選地，所述研磨層為金屬氧化物層，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層?？蛇x地，還包括：熱板，設(shè)置于所述托盤底部，用于對(duì)所述托盤進(jìn)行加熱，以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定?？蛇x地，所述待加工部件與所述托盤通過(guò)光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤上，所述待加工部件包括inp基晶圓；通過(guò)噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光；通過(guò)磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。嘉興好用的減薄用清洗劑推薦貨源