嘉興性價(jià)比高的減薄用清洗劑溶劑

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-03-28

    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時(shí),值得指出的時(shí),所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽,所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽,對(duì)應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對(duì)應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個(gè)所述固定塊,所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,通過(guò)將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi),從而實(shí)現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過(guò)所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定,同時(shí),通過(guò)所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置,可實(shí)現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié),從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時(shí)放置不同尺寸的玻璃進(jìn)行減薄處理。實(shí)施例五一般的,對(duì)于實(shí)施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu),可通過(guò)調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。蘇州好的減薄用清洗劑的公司。嘉興性價(jià)比高的減薄用清洗劑溶劑

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    若干所述側(cè)支撐件44固定設(shè)置在所述固定板423的端面上;所述固定板423兩端均設(shè)置有至少兩個(gè)固定卡塊427,所述固定卡塊427一般設(shè)置為矩形橫截面結(jié)構(gòu),便于所述固定板423端面的朝向定位;對(duì)應(yīng)的,所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有固定槽426,當(dāng)所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的所述固定槽426內(nèi)時(shí),設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的端面對(duì)應(yīng)所述豎直平板421上的所述側(cè)支撐件44,且設(shè)置所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設(shè)置在所述底支撐件43的兩側(cè),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述盛放部?jī)?nèi)玻璃的支撐限位。其中,如圖3所示,所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實(shí)施方式為,所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425,所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣,所述固定槽426對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427設(shè)置為u型槽,從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427的尺寸設(shè)置,使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動(dòng)。在本實(shí)施方式中,兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,同一所述水平槽424多只設(shè)置一個(gè)所述固定卡塊427。廣州減薄用清洗劑訂做價(jià)格選擇高效減薄用清洗劑,為您的生產(chǎn)線注入新活力。

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    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過(guò)程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷??蛇x地,本發(fā)明實(shí)施例中通過(guò)光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤(pán)10。當(dāng)然,本發(fā)明并不限于此,在其他實(shí)施例中,待加工部件20和托盤(pán)10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定?;诖?,如圖2所示,本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設(shè)置在托盤(pán)10底部,用于對(duì)托盤(pán)10進(jìn)行加熱,以使待加工部件20與托盤(pán)10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤(pán)10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤(pán)10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤(pán)10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合,鍵合時(shí)間20min。本發(fā)明實(shí)施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來(lái)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說(shuō)明的是。

    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復(fù)移動(dòng),所述主厚度測(cè)量?jī)x32測(cè)量玻璃厚度并且將關(guān)于測(cè)得厚度的信息實(shí)時(shí)發(fā)送到所述控制器;當(dāng)測(cè)得玻璃厚度達(dá)到預(yù)設(shè)目標(biāo)厚度時(shí),所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動(dòng)。一般的,在所述腔室31內(nèi),減薄處理的具體工藝參數(shù)為:所述玻璃加工治具4的往復(fù)運(yùn)動(dòng)中單程單向時(shí)間設(shè)置為~4s,來(lái)回往復(fù)一次時(shí)間設(shè)置為3s~8s,往復(fù)移動(dòng)幅度設(shè)置約為180mm左右;所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設(shè)置為1500lpm~2400lpm,在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設(shè)置為20℃~40℃;在上述參數(shù)下,玻璃的酸蝕速率一般在μm/min~μm/min,可有效實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃的整體減薄處理。s2,完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機(jī),所述控制器進(jìn)行次減薄厚度確認(rèn)操作;具體的,通過(guò)設(shè)置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測(cè)量?jī)x,進(jìn)行檢測(cè)厚度比較,從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作,當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí),所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進(jìn)行再次減薄處理。s3,所述玻璃加工治具4移動(dòng)至所述第三沖洗區(qū)2進(jìn)行減薄后終清洗。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好?

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    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時(shí)去除噴淋液,從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測(cè)量數(shù)據(jù)。一般的,所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值,所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測(cè)量?jī)x,所述輔助厚度測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測(cè)量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度,所述輔助厚度測(cè)量?jī)x將測(cè)得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的設(shè)置可降低所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測(cè)量玻璃厚度時(shí)異常操作而造成的玻璃減薄缺陷,所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動(dòng)。所述控制器基于所述輔助厚度測(cè)量?jī)x測(cè)得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否正確工作。一般的,從所述輔助厚度測(cè)量?jī)x接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍,則所述控制器確定所述主厚度測(cè)量?jī)x32無(wú)法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒(méi)有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下,所述控制器發(fā)出警報(bào)來(lái)通知管理者,所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異??赡苁菚簳r(shí)的。嘉興性價(jià)比高的減薄用清洗劑溶劑