深圳半導(dǎo)體減薄用清洗劑生產(chǎn)

    本發(fā)明涉及玻璃減薄技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種玻璃減薄設(shè)備。背景技術(shù)：隨著便攜式電子器件的發(fā)展，手機(jī)、平板等便攜式電子器件越來越纖細(xì)化及薄型化，因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板，目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設(shè)備的反應(yīng)槽中，然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時(shí)間，使玻璃減薄液與玻璃反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)玻璃減薄。目前的浸泡式減薄法中，反應(yīng)產(chǎn)物會(huì)懸浮于玻璃減薄液中，然后再粘附在玻璃上，造成不良品；并且，這種方法容易造成蝕刻不均，導(dǎo)致進(jìn)行減薄后還需要進(jìn)行拋光處理，提高了制備成本。鑒于上述缺陷，本發(fā)明創(chuàng)作者經(jīng)過長(zhǎng)時(shí)間的研究和實(shí)踐終于獲得了本發(fā)明。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：為解決上述技術(shù)缺陷，本發(fā)明采用的技術(shù)方案在于，提供一種玻璃減薄設(shè)備，包括蝕刻區(qū)，用于對(duì)豎直容納在玻璃加工治具中的多個(gè)玻璃進(jìn)行減薄處理；沖洗區(qū)，用于所述玻璃加工治具上的玻璃進(jìn)行減薄前清潔和減薄后清潔；轉(zhuǎn)換區(qū)，用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區(qū)中，并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區(qū)卸載到外部；制動(dòng)組件。減薄清洗劑，采用獨(dú)特工藝，輕松去除頑固涂層。深圳半導(dǎo)體減薄用清洗劑生產(chǎn)

    銅清洗劑品牌四輝科技系列清洗系列是否危險(xiǎn)化學(xué)品否是否進(jìn)口否產(chǎn)地廣東東莞主營(yíng)產(chǎn)品：工業(yè)清洗劑表面處理劑研磨液拋光設(shè)備東莞市四輝表面處理有限公司所在地：廣東東莞在線詢價(jià)東莞凈徹供應(yīng)銅光亮劑系列鍍銅光亮劑堿銅清洗劑類別銅光亮劑型號(hào)JC-031主要用途除油執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)CAS2016主營(yíng)產(chǎn)品：設(shè)備油污清洗劑金屬除油除銹劑除垢除銹劑水處理殺菌滅藻劑￥東莞市凈徹清洗劑科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價(jià)供應(yīng)溫州甌北閥門酸洗清洗光亮劑主營(yíng)產(chǎn)品：其他化學(xué)試劑工業(yè)用清洗劑其他加工助劑生化試劑￥溫州奧洋金屬表面處理有限公司所在地：浙江溫州在線詢價(jià)銅拋光光亮清洗劑是否進(jìn)口否產(chǎn)地液體類別酸性清洗液型號(hào)JPL-809品牌捷普利產(chǎn)品名稱銅光亮清洗劑主營(yíng)產(chǎn)品：五金材料化工產(chǎn)品研發(fā)銷售￥惠州市捷普利電子科技有限公司所在地：廣東惠州在線詢價(jià)【貽順】供應(yīng)多用途的金屬擦亮劑洗銅水銅擦亮劑產(chǎn)品名稱金屬擦亮劑品牌貽順系列工業(yè)清洗劑是否危險(xiǎn)化學(xué)品是是否進(jìn)口否產(chǎn)地廣州主營(yíng)產(chǎn)品：金屬表面處理劑金屬工藝液工業(yè)用清洗劑信息化學(xué)產(chǎn)品￥廣州市貽順化工有限公司所在地：廣東廣州在線詢價(jià)銅清洗光亮工藝銅怎么洗亮類別酸性清洗液型號(hào)OY-54主要用途銅清洗光亮執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó)。無錫半導(dǎo)體減薄用清洗劑銷售價(jià)格哪家的減薄用清洗劑成本價(jià)比較低？

    將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地，將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠，如az4620光刻膠，然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠，如az4620光刻膠，之后，將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上，將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。s102：通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光；s103：通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中，s102和s103可以交替進(jìn)行，也就是說，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時(shí)間后，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)，并控制噴頭噴涂拋光液，停止噴涂拋光液后，再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中，通過磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作，實(shí)現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個(gè)過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達(dá)到20μm，拋光面ra＜2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。

    在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，拋光液110的主要成分包括：碳化硅顆粒，顆粒直徑為50nm～200nm，體積比為3％～5％；次氯酸鹽，體積比為30％～40％；氫溴酸，體積比為5％～7％，di水，體積比50～60％。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，如圖3所示，磁轉(zhuǎn)子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)120和位于柱狀磁性結(jié)構(gòu)120的底部平面的研磨層121，以通過研磨層121對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。當(dāng)然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，可以根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的磁轉(zhuǎn)子形狀?？蛇x地，研磨層121為金屬氧化物層，進(jìn)一步可選地，金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地，研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實(shí)施例中，如圖4所示，磁轉(zhuǎn)子12沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn)，如沿逆時(shí)針或順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，并且，磁轉(zhuǎn)子12的長(zhǎng)度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑，以對(duì)整個(gè)待加工表面進(jìn)行研磨。本發(fā)明實(shí)施例中，拋光減薄裝置還包括控制部件?？刂撇考c磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11相連，用于控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作，以對(duì)待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。其中，控制部件通過脈沖方式控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作?？蛇x地，控制部件控制磁轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)速為80rpm～200rpm。哪里可以買到玻璃清洗劑；

    所述控制器進(jìn)行第二次減薄厚度確認(rèn)操作；具體的，通過設(shè)置于所述第三沖洗區(qū)2的第二輔助厚度測(cè)量?jī)x進(jìn)行厚度檢測(cè)，從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作，當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí)，所述玻璃加工治具4可再次進(jìn)入所述蝕刻區(qū)3內(nèi)進(jìn)行減薄處理。所述主厚度測(cè)量?jī)x32設(shè)置在其中對(duì)玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區(qū)3中并且實(shí)時(shí)測(cè)量玻璃厚度，使得玻璃可更準(zhǔn)確地具有目標(biāo)厚度；所述輔助厚度測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中，并且再次測(cè)量經(jīng)歷過減薄處理的玻璃的厚度，因此可以檢查設(shè)置在所述蝕刻區(qū)3中的所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否無法正確工作，并且使減薄玻璃的缺陷率降至；且所述輔助厚度測(cè)量?jī)x可提前測(cè)量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃的厚度，因此可以檢查設(shè)置在蝕刻區(qū)3中的主厚度測(cè)量?jī)x32是否無法正確工作；所述第二輔助厚度測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述第三沖洗區(qū)2，從而在減薄后清洗終完成后，再次進(jìn)行厚度檢測(cè)，從而檢測(cè)預(yù)從所述玻璃減薄生產(chǎn)線運(yùn)出的玻璃是否符合標(biāo)準(zhǔn)，并進(jìn)一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明而言是說明性的，而非限制性的。本專業(yè)技術(shù)人員理解，在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對(duì)其進(jìn)行許多改變，修改，甚至等效，但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。去除多余涂層，減薄用清洗劑是您不可或缺的好幫手。臺(tái)州市面上哪家減薄用清洗劑配方技術(shù)

如何挑選一款適合自己的減薄用清洗劑？深圳半導(dǎo)體減薄用清洗劑生產(chǎn)

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