蘇州清洗效果好的減薄用清洗劑價格

來源: 發(fā)布時間:2024-03-21

    在本發(fā)明的一個實(shí)施例中,拋光液110的主要成分包括:碳化硅顆粒,顆粒直徑為50nm~200nm,體積比為3%~5%;次氯酸鹽,體積比為30%~40%;氫溴酸,體積比為5%~7%,di水,體積比50~60%。本發(fā)明的一個實(shí)施例中,如圖3所示,磁轉(zhuǎn)子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)120和位于柱狀磁性結(jié)構(gòu)120的底部平面的研磨層121,以通過研磨層121對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。當(dāng)然,本發(fā)明并不僅限于此,在其他實(shí)施例中,可以根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的磁轉(zhuǎn)子形狀。可選地,研磨層121為金屬氧化物層,進(jìn)一步可選地,金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地,研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實(shí)施例中,如圖4所示,磁轉(zhuǎn)子12沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn),如沿逆時針或順時針方向旋轉(zhuǎn),并且,磁轉(zhuǎn)子12的長度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑,以對整個待加工表面進(jìn)行研磨。本發(fā)明實(shí)施例中,拋光減薄裝置還包括控制部件??刂撇考c磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11相連,用于控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作,以對待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。其中,控制部件通過脈沖方式控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作??蛇x地,控制部件控制磁轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)速為80rpm~200rpm。減薄用清洗劑的的參考價格大概是多少?蘇州清洗效果好的減薄用清洗劑價格

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    所述控制器進(jìn)行第二次減薄厚度確認(rèn)操作;具體的,通過設(shè)置于所述第三沖洗區(qū)2的第二輔助厚度測量儀進(jìn)行厚度檢測,從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作,當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時,所述玻璃加工治具4可再次進(jìn)入所述蝕刻區(qū)3內(nèi)進(jìn)行減薄處理。所述主厚度測量儀32設(shè)置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區(qū)3中并且實(shí)時測量玻璃厚度,使得玻璃可更準(zhǔn)確地具有目標(biāo)厚度;所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中,并且再次測量經(jīng)歷過減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在所述蝕刻區(qū)3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作,并且使減薄玻璃的缺陷率降至;且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在蝕刻區(qū)3中的主厚度測量儀32是否無法正確工作;所述第二輔助厚度測量儀設(shè)置在所述第三沖洗區(qū)2,從而在減薄后清洗終完成后,再次進(jìn)行厚度檢測,從而檢測預(yù)從所述玻璃減薄生產(chǎn)線運(yùn)出的玻璃是否符合標(biāo)準(zhǔn),并進(jìn)一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發(fā)明的較佳實(shí)施例,對本發(fā)明而言是說明性的,而非限制性的。本專業(yè)技術(shù)人員理解,在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對其進(jìn)行許多改變,修改,甚至等效,但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。揚(yáng)州哪家減薄用清洗劑技術(shù)指標(biāo)減薄清洗劑,輕松應(yīng)對各種涂層挑戰(zhàn),讓您的工作更輕松。

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    降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。由于本發(fā)明實(shí)施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進(jìn)行了固定,因此,對待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后,還包括:對待加工部件進(jìn)行清洗;采用特定溶液對光刻膠進(jìn)行腐蝕,以將待加工部件與托盤分離。具體地,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進(jìn)行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮?dú)獯蹈?。之后,將清洗后的待加工部?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例提供的方法,還包括:在磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時間后,更換磁轉(zhuǎn)子。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后,可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子,以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處,各個實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實(shí)施例公開的裝置而言,由于其與實(shí)施例公開的方法相對應(yīng),所以描述的比較簡單,相關(guān)之處參見方法部分說明即可。對所公開的實(shí)施例的上述說明。

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    經(jīng)減薄處理后的玻璃可再次進(jìn)入所述沖洗區(qū)2以經(jīng)歷減薄后清潔并且通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載到外部;所述玻璃減薄設(shè)備還設(shè)置有制動組件,通過所述制動組件實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述蝕刻區(qū)3的減薄前移動,以及從所述蝕刻區(qū)3經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的減薄后移動。在本實(shí)施例中,圖1內(nèi)并排設(shè)置有2個所述玻璃減薄設(shè)備,所述沖洗區(qū)2包括沖洗區(qū)2、第二沖洗區(qū)2和第三沖洗區(qū)2,所述第二沖洗區(qū)2設(shè)置于所述沖洗區(qū)2和所述第三沖洗區(qū)2之間,所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述轉(zhuǎn)換區(qū)1之間,所述第三沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述蝕刻區(qū)3之間。所述轉(zhuǎn)換區(qū)1可升降的折疊式結(jié)構(gòu),從而便于所述玻璃加工治具4在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的放置或卸下。較佳的,所述轉(zhuǎn)換區(qū)1還設(shè)置有裝卸臂,通過所述裝卸臂可實(shí)現(xiàn)對所述玻璃加工治具4的上下料,以及單片玻璃的拿取檢測。實(shí)施例二如圖2所示,圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖;所述蝕刻區(qū)3包括腔室31、主厚度測量儀32、噴淋組件33和控制器;所述噴淋組件33在所述腔室31中對設(shè)置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加減薄處理,所述主厚度測量儀32實(shí)時測量在所述腔室31內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好?寧波什么是減薄用清洗劑聯(lián)系方式

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    且所述限位塊438和所述第二限位塊439均可在所述限位孔437內(nèi)移動,通過所述連接部433的限位效果,避免所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力作用下產(chǎn)生脫離,從而使所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力和所述連接部433的限位力作用下保持平衡。一般的,所述位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置為圓柱型,從而便于所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述限位孔437內(nèi)的移動。當(dāng)放置于所述底支撐件43上的玻璃受到?jīng)_擊或振動時,所述支撐條431可相對于所述第二支撐條432作水平方向的偏移移動,或所述限位塊438和所述第二限位塊439均在所述限位孔437內(nèi)移動,使所述支撐條431可相對于所述第二支撐條432作豎直方向的移動,從而可實(shí)現(xiàn)對各個方向上沖擊力或振動的吸收緩沖效果,提高玻璃的安全性。較佳的,所述限位塊438和所述第二限位塊439可設(shè)置為螺釘,所述限位孔437寬度配合所述螺釘?shù)穆菁y直徑設(shè)置,在所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置螺紋孔,通過將所述限位塊438和所述第二限位塊439與所述螺紋孔螺紋連接,從而實(shí)現(xiàn)所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述支撐條431和所述第二支撐條432上的固定。通過將所述限位塊438和所述第二限位塊439設(shè)置為螺釘。蘇州清洗效果好的減薄用清洗劑價格