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    故所述控制器在從所述輔助厚度測(cè)量?jī)x接收的玻璃厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍時(shí)，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3，并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理，以將玻璃處理為目標(biāo)厚度。同時(shí)通過所述輔助厚度測(cè)量?jī)x提前測(cè)量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測(cè)量?jī)x32檢測(cè)的初始厚度作對(duì)比，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否失靈，從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的檢測(cè)數(shù)據(jù)判斷是否需再次進(jìn)入所述腔室31。具體的，當(dāng)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x檢測(cè)厚度與所述主厚度測(cè)量?jī)x32檢測(cè)的初始檢測(cè)厚度不在公差范圍之內(nèi)，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈；在當(dāng)后期減薄后所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的檢測(cè)厚度不符合目標(biāo)厚度時(shí)，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32非暫時(shí)失靈，所述控制器警報(bào)提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi)，而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出，并等待所述主厚度測(cè)量?jī)x32的維修完成。實(shí)施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為：s1，將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1內(nèi)，經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉(zhuǎn)移至所述蝕刻區(qū)3，所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理；具體的，在所述蝕刻區(qū)3中進(jìn)行減薄處理期間。減薄用清洗劑的的概費(fèi)用是多少？嘉興清洗效果好的減薄用清洗劑哪里買

    在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，拋光液110的主要成分包括：碳化硅顆粒，顆粒直徑為50nm～200nm，體積比為3％～5％；次氯酸鹽，體積比為30％～40％；氫溴酸，體積比為5％～7％，di水，體積比50～60％。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，如圖3所示，磁轉(zhuǎn)子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)120和位于柱狀磁性結(jié)構(gòu)120的底部平面的研磨層121，以通過研磨層121對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。當(dāng)然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，可以根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的磁轉(zhuǎn)子形狀。可選地，研磨層121為金屬氧化物層，進(jìn)一步可選地，金屬氧化物層包括三氧化二鋁層?？蛇x地，研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實(shí)施例中，如圖4所示，磁轉(zhuǎn)子12沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn)，如沿逆時(shí)針或順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，并且，磁轉(zhuǎn)子12的長(zhǎng)度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑，以對(duì)整個(gè)待加工表面進(jìn)行研磨。本發(fā)明實(shí)施例中，拋光減薄裝置還包括控制部件?？刂撇考c磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11相連，用于控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作，以對(duì)待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。其中，控制部件通過脈沖方式控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作?？蛇x地，控制部件控制磁轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)速為80rpm～200rpm。廣州哪里減薄用清洗劑配方技術(shù)如何正確使用減薄用清洗劑的。

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