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    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此，在其他實(shí)施例中，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定?；诖耍鐖D2所示，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設(shè)置在托盤10底部，用于對(duì)托盤10進(jìn)行加熱，以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，之后，將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上，將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。本發(fā)明實(shí)施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，來對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說明的是。性價(jià)比高的減薄用清洗劑的公司。嘉興哪家減薄用清洗劑銷售價(jià)格

    圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖中數(shù)字表示：1-轉(zhuǎn)換區(qū)；2-沖洗區(qū)；3-蝕刻區(qū)；4-玻璃加工治具；31-腔室；32-主厚度測(cè)量?jī)x；33-噴淋組件；41-底座；42-支撐架；43-底支撐件；44-側(cè)支撐件；421-豎直平板；422-側(cè)板；423-固定板；424-水平槽；425-豎直槽；426-固定槽；427-固定卡塊；428-定位槽；429-定位孔；431-支撐條；432-第二支撐條；433-連接部；434-接觸部；435-磁性件；436-第二磁性件；437-限位孔；438-限位塊；439-第二限位塊。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點(diǎn)作更詳細(xì)的說明。實(shí)施例一如圖1所示，圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖；本發(fā)明中所述玻璃減薄設(shè)備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3，所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間，豎直容納在玻璃加工治具4中的多個(gè)玻璃通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中，在所述沖洗區(qū)2中進(jìn)行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理。廣州性價(jià)比高的減薄用清洗劑哪里買減薄清洗劑，專業(yè)解決涂層過厚難題，提高產(chǎn)品良率。

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    從而在玻璃側(cè)部提供支撐效果，通過所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44實(shí)現(xiàn)玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撐穩(wěn)定效果。較佳的，所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44可均采用ptfe材質(zhì)。較佳的，所述側(cè)支撐件44設(shè)置為叉狀型結(jié)構(gòu)，即所述側(cè)支撐件44包括兩叉腳，所述玻璃側(cè)邊邊緣設(shè)置于兩所述叉腳間，兩所述叉腳在一端連接，兩所述叉腳間距離從連接端向非連接端的方向逐漸增大，兩所述叉腳間的大距離大于玻璃的厚度，限制玻璃兩對(duì)應(yīng)側(cè)部邊緣的兩所述側(cè)支撐件44之間的水平距離大于玻璃兩側(cè)部邊緣之間的水平距離，即當(dāng)玻璃通過兩側(cè)的所述側(cè)支撐件44進(jìn)行支撐限制時(shí)，玻璃的兩側(cè)部邊緣在兩所述叉腳間空間內(nèi)均具有一定的調(diào)整間隙，從而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，玻璃的兩側(cè)部邊緣相較于所述側(cè)支撐件44進(jìn)行一定的位置移動(dòng)，從而避免所述側(cè)支撐件44長(zhǎng)期于玻璃的同一位置接觸緊貼。所述側(cè)支撐件44的結(jié)構(gòu)設(shè)置，使所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)沿直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)的過程中，所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點(diǎn)發(fā)生變化，從而避免所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點(diǎn)因所述側(cè)支撐件44的長(zhǎng)期接觸造成接觸點(diǎn)無法被噴淋液噴淋，若接觸點(diǎn)無法被噴淋，易造成玻璃的減薄缺陷。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好？

    7保質(zhì)期24主營(yíng)產(chǎn)品：工業(yè)清洗劑空調(diào)清洗劑水處理藥劑除銹除油劑￥所在地：四川眉山在線詢價(jià)供應(yīng)鋁材防氧劑、銅保護(hù)劑、銅清洗劑產(chǎn)品名稱銅保護(hù)劑品牌FABLE/福邦系列36是否危險(xiǎn)化學(xué)品否是否進(jìn)口否主營(yíng)產(chǎn)品：工業(yè)潤(rùn)滑油自行車潤(rùn)滑油鐘表加工潤(rùn)滑油防水油食品級(jí)油格林潤(rùn)滑科技（惠州）有限公司所在地：廣東惠州在線詢價(jià)KRB-206環(huán)保鋁、銅清洗劑鋁制品清洗劑強(qiáng)除油無腐蝕不變色類別堿性清洗液型號(hào)KRB-206主要用途金屬表面除油脫脂執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó)標(biāo)企標(biāo)CAS略主營(yíng)產(chǎn)品：切削液除銹劑防銹油防銹劑清洗劑除油粉中性除油除銹劑￥武漢科瑞博科技有限公司所在地：湖北武漢在線詢價(jià)生產(chǎn)廠家提供銅及其合金高效清洗劑1分鐘快速油污清洗劑分類銅清洗劑型號(hào)HWJ-781品牌輝煒佳PH值8-9保質(zhì)期18CAS無主營(yíng)產(chǎn)品：陶化劑硅烷處理劑脫漆劑鈍化劑￥東莞市輝煒佳金屬科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價(jià)供應(yīng)銷售環(huán)保型銅化學(xué)拋光劑如銅化學(xué)拋光劑，銅酸洗工藝，銅拋光劑，銅清洗劑，銅本色清洗，銅氧化皮清洗分類精密電子儀器清洗劑型號(hào)Q810PH值保質(zhì)期。減薄用清洗劑的人概費(fèi)用是多少？臺(tái)州顯示面板用減薄用清洗劑主要作用

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    圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12，當(dāng)然，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等，托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng)。其中，托盤10，可選為石英托盤，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。嘉興哪家減薄用清洗劑銷售價(jià)格