廣州蝕刻液推薦廠家

來源: 發(fā)布時間:2023-11-03

    本實(shí)用涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置。背景技術(shù):近年來,人們對半導(dǎo)體裝置、液晶顯示器的需求量不斷增加的同時,對于這些裝置所具有的配線、電極等的微小化、高性能化的要求也越來越嚴(yán)格,而蝕刻的效果能直接導(dǎo)致電路板制造工藝的好壞,影響高密度細(xì)導(dǎo)線圖像的精度和質(zhì)量,為了解決蝕刻液組合物蝕刻鋁材料過程中,對蝕刻速率慢、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的多層配線的半導(dǎo)體裝置的配線的斷路、短路,得到較高的成品率,為保證其穩(wěn)定性及蝕刻的平滑度及精度,在蝕刻液中需要加入多種組分,而常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合?,F(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置密封性差,連接安裝步驟繁瑣,還需要使用工具才能進(jìn)行連接安裝或拆卸,而且現(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置沒有過濾的部件,蝕刻液中的各組份蝕刻液雜質(zhì)含量多,且多種強(qiáng)酸直接共混存在較大的安全隱患,裝置不夠完善,難以滿足現(xiàn)代社會的需求。所以,如何設(shè)計(jì)高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,成為我們當(dāng)前需要解決的問題。鋁蝕刻液的配方是什么?廣州蝕刻液推薦廠家

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    所述制備裝置主體的內(nèi)部中間部位活動連接有高效攪拌裝置,所述制備裝置主體的一側(cè)中間部位嵌入連接有翻折觀察板,所述制備裝置主體的底端固定連接有裝置底座,所述裝置底座的內(nèi)部底部固定連接有成品罐,所述裝置底座的頂端一側(cè)固定連接有鹽酸裝罐,所述裝置底座的頂端另一側(cè)固定連接有硝酸裝罐,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部頂部中間部位活動連接有旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部頂部兩側(cè)活動連接有震蕩彈簧件,所述震蕩彈簧件的頂端固定連接有運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組,所述運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組的頂端電性連接有控制面板,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部中間部位固定連接有致密防腐桿,所述致密防腐桿的內(nèi)部內(nèi)側(cè)貫穿連接有攪動孔,所述鹽酸裝罐的內(nèi)部一側(cè)嵌入連接有嵌入引流口,所述嵌入引流口的一端固定連接有負(fù)壓引流器,所述負(fù)壓引流器的一端固定連接有注入量控制容器,所述注入量控制容器的內(nèi)部內(nèi)側(cè)固定連接有注入量觀察刻度線,所述注入量控制容器的一側(cè)嵌入連接有限流銷。推薦的,所述翻折觀察板的內(nèi)部頂部活動連接有觀察窗翻折滾輪,所述觀察窗翻折滾輪的底端活動連接有內(nèi)嵌觀察窗。推薦的,所述鹽酸裝罐的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗。推薦的,所述裝置底座的內(nèi)部兩側(cè)緊密焊接有加固支架。廣州蝕刻液推薦廠家蝕刻液的大概費(fèi)用大概是多少?

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    所述液位計(jì)7安裝于所述分離器的外表面。液位計(jì)7安裝在方便工作人員查看的位置,有利于提高工作人員工作的效率。在一個實(shí)施例中,如圖1所示,所述液位開關(guān)9為控制閥,設(shè)置于所述濾液出口2處??刂崎y為內(nèi)螺紋截止閥,通過旋轉(zhuǎn)操縱盤實(shí)現(xiàn)閥門的開關(guān),這種閥結(jié)構(gòu)簡單,維修方便,工作行程小,啟閉時間短,使用壽命長。在一個實(shí)施例中,如圖2所示,所述分離器的側(cè)壁上設(shè)有多個視鏡10。分離器側(cè)壁上設(shè)置的視鏡10可以幫助工作人員輔助判斷液位計(jì)7的工作狀況。在一個實(shí)施例中,如圖1所示,所述加熱器11為盤管式加熱器。盤管式加熱器的受熱更加均勻,加熱效率更高。在一個實(shí)施例中,如圖1所示,所述分離器底部為錐體形狀。分離器底部設(shè)置成錐體形狀更有利于濾液排出,不會殘留在分離器內(nèi)。以上所述是本實(shí)用新型的推薦實(shí)施方式,本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于上述實(shí)施例,凡屬于本實(shí)用新型思路下的技術(shù)方案均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型原理前提下的若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

    etchingamount)的相互關(guān)系的圖表。具體實(shí)施方式本發(fā)明人確認(rèn)了用于氮化物膜去除工序用蝕刻液組合物的具有防蝕能力的添加劑在滿足特定參數(shù)值時能夠使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜且不損傷氧化物膜的效果極大化,從而完成了本發(fā)明。本發(fā)明包括選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*將氮化物膜選擇性去除的能力優(yōu)異的添加劑的方法、由此選擇的添加劑、包含上述添加劑的蝕刻液組合物以及利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。本發(fā)明中,蝕刻對象膜可以為氮化物膜,保護(hù)對象膜可以為氧化物膜。此外,本發(fā)明的上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。<蝕刻液組合物>具體而言,本發(fā)明可以包含磷酸、添加劑和水,上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。本發(fā)明的上述添加劑的特征在于,使上述添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以(參照以下數(shù)學(xué)式)滿足。本發(fā)明中,各添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量和添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量的例子示于表3中。此外,由此計(jì)算的各添加劑的aeff值和與此有關(guān)的蝕刻程度的例示示于表2中。參照上述結(jié)果,可以確認(rèn)到上述添加劑的aeff值推薦滿足。如何正確使用蝕刻液。

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    所述液位計(jì)連接有液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個實(shí)施例中,所述分離器的側(cè)壁上設(shè)有多個視鏡。在其中一個實(shí)施例中,所述液位計(jì)安裝于所述分離器的外表面。在其中一個實(shí)施例中,所述液位開關(guān)為控制閥,設(shè)置于所述濾液出口處。在其中一個實(shí)施例中,所述加熱器為盤管式加熱器。在其中一個實(shí)施例中,所述分離器底部為錐體形狀。上述,利用加熱器對含銅蝕刻液進(jìn)行加熱,使其達(dá)到閃蒸要求的溫度,將加熱好的含銅蝕刻液輸送至分離器,經(jīng)過減壓閥及真空泵減壓,含銅蝕刻液在分離器內(nèi)發(fā)生閃蒸,產(chǎn)生大量蒸汽,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,通過除霧組件和除沫組件可以防止大液滴從蒸汽出口飛出,減小產(chǎn)品損失。附圖說明圖1是本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)施例的外觀示意圖。圖中:1、液體入口;2、濾液出口;3、除霧組件;4、除沫組件;5、蒸汽出口;6、液相氣相溫度傳感器;7、液位計(jì);8、壓力傳感器;9、液位開關(guān);10、視鏡;11、加熱器;12、減壓閥;13、真空泵。具體實(shí)施方式在一個實(shí)施例中,如圖1所示,一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器11,所述分離器設(shè)有液體入口1、蒸汽出口5及濾液出口2,所述液體入口1用于將加熱器11產(chǎn)生的液體輸入至分離器中。哪家蝕刻液質(zhì)量比較好一點(diǎn)?南京天馬用的蝕刻液蝕刻液配方技術(shù)

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    也很難保證拖車在地磅頂部不移動。在地磅的頂部平臺中設(shè)置有兩條卡塊40,卡塊與平臺之間形成一插槽,在地磅的頂部設(shè)置有包括氣缸50和壓緊塊60的氣動夾緊機(jī)構(gòu),壓緊塊位于插槽中,氣缸的伸縮桿與壓緊塊固連。拖車的邊緣沿插槽插入后,氣缸帶動壓緊塊下行將拖車緊緊壓在地磅的頂部。實(shí)施例二本實(shí)施例基于實(shí)施例一。如圖2所示,在拖車的頂部設(shè)置有一圈圍設(shè)在儲存罐外部的護(hù)欄70,以防止其它物品碰撞儲存罐。實(shí)施例三本實(shí)施例基于實(shí)施例一。如圖3所示,在拖車的頂部設(shè)置有一集液盒,儲存罐安裝在集液盒80中,過濾器的出液管及灌裝頭的快速接頭從儲存罐中拔出時滴落的鋁蝕刻液,由集液盒進(jìn)行收集。實(shí)施例四本實(shí)施例基于實(shí)施例一。如圖4所示,拖車的頂部于儲存罐的旁側(cè)設(shè)置有集液腔室22,過濾器的出液管及灌裝頭的快速接頭從儲存罐中拔出時滴落的鋁蝕刻液被集液腔室內(nèi)收集。綜上所述,將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐,并采用液壓升降式拖車帶著儲存罐在鋁蝕刻液生產(chǎn)車間與自動灌裝車間之中周轉(zhuǎn),如此便可為鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備配備全自動灌裝線,即提高了單瓶灌裝精度和效率,又降低了企業(yè)的人力成本投入;而且,將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐。廣州蝕刻液推薦廠家