南京天馬用的蝕刻液蝕刻液產(chǎn)品介紹

來源: 發(fā)布時間:2023-10-23

    silane)系偶聯(lián)劑和水,上述硅烷系偶聯(lián)劑使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。此外,提供一種選擇硅烷系偶聯(lián)劑的方法,其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法,其特征在于,選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。發(fā)明效果本發(fā)明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優(yōu)異的硅烷系偶聯(lián)劑的效果。此外,本發(fā)明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發(fā)生的工序不良的圖。圖4是示出能夠?qū)?dnand閃存制造工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯(lián)劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯(lián)劑的aeff值與蝕刻程度。華星光電用的哪家的蝕刻液?南京天馬用的蝕刻液蝕刻液產(chǎn)品介紹

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    以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風刀裝置40的該***風刀41下端部的方向移動。該風刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,該風刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的***風刀41,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風刀42,其中該***風刀41與該第二風刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向,以使該基板20上該藥液51減少,其中該氣體43遠離該***風刀41與該第二風刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。此外,請一并參閱圖8與圖9所示,為本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔的態(tài)樣,當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會往該復數(shù)個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖8所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,亦可達到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外。安慶天馬用的蝕刻液蝕刻液價格蘇州口碑好的蝕刻液公司。

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    12、伸縮桿;13、圓環(huán)塊;14、連接桿;15、回流管;16、增壓泵;17、一號排液管;18、一號電磁閥;19、抽氣泵;20、排氣管;21、集氣箱;22、二號排液管;23、二號電磁閥;24、傾斜板;25、活動板;26、蓄水箱;27、進水管;28、抽水管;29、三號電磁閥;30、控制面板。具體實施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。請參閱圖1-5,本發(fā)明提供一種技術(shù)方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體1,裝置主體1內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板2,分隔板2左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板3,承載板3上端表面放置有電解池4,電解池4內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜5,裝置主體1上端表面靠近右側(cè)安裝有進液漏斗6,進液漏斗6上設(shè)置有過濾網(wǎng)7,裝置主體1內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進液管8,進液管8左端連接有伸縮管9,伸縮管9下端安裝有噴頭10,裝置主體1上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸11,液壓缸11下端安裝有伸縮桿12。

    本發(fā)明涉及回收處理技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。背景技術(shù):廢銅蝕刻液含有可回收的金屬,所以需要進行回收處理,目前通用的做法是,使用化學方法回收廢液內(nèi)的銅,或提煉成硫酸銅產(chǎn)品,工藝落后,銅回收不徹底,處理的經(jīng)濟效益不明顯,有二次污染污染物排放,一旦處理不當往外排放,勢必對水體生態(tài)系統(tǒng)造成大的沖擊。市場上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡單的對蝕刻液進行回收處理,不能對蝕刻液進行循環(huán)電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉(zhuǎn)化不充分,而且蝕刻液導入到電解池中會對電解池造成沖擊,進而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會產(chǎn)生有害氣體而影響空氣環(huán)境,也不能在回收結(jié)束后對裝置內(nèi)部進行清理,為此,我們提出一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的市場上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡單的對蝕刻液進行回收處理,不能對蝕刻液進行循環(huán)電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉(zhuǎn)化不充分,而且蝕刻液導入到電解池中會對電解池造成沖擊,進而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會產(chǎn)生有害氣體而影響空氣環(huán)境。蝕刻液使用時要注意什么?

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    內(nèi)嵌觀察窗402通過觀察窗翻折滾輪401內(nèi)嵌入裝置內(nèi)部,工作人員可通過內(nèi)嵌的透明窗對內(nèi)部的制備狀況進行實時查看,從而很好的體現(xiàn)了該裝置的實時性。推薦的,鹽酸裝罐7的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗9,在進行制備時需要向鹽酸裝罐7內(nèi)倒入一定比例的熱水進行均勻調(diào)和,由于熱水與鹽酸接觸會產(chǎn)生較為劇烈的反應(yīng),濺出容易傷害工作人員,通過設(shè)置熱水流入漏斗9,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內(nèi),從而很好的減小了發(fā)生反應(yīng)的劇烈程度,很好的起到了保護作用。推薦的,裝置底座5的內(nèi)部兩側(cè)緊密焊接有加固支架10,由于制備裝置為一體化裝置,承載設(shè)備較多,質(zhì)量較重,對底座會產(chǎn)生較大的壓力,通過設(shè)置加固支架10,加固支架10為連接在兩側(cè)底座支柱的三角結(jié)構(gòu),利用三角結(jié)構(gòu)穩(wěn)定原理對裝置底座5起到了很好的加固效果。推薦的,制備裝置主體1的兩端緊密貼合有防燙隔膜11,由于制備裝置在進行制備時會發(fā)***熱反應(yīng),使得裝置外殼穩(wěn)定較高,工作人員直接接觸有燙傷風險,通過設(shè)置防燙隔膜11,防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料,能夠很好的防止工作人員被燙傷,很好的體現(xiàn)了該裝置的防燙性。推薦的,高效攪拌裝置2是由內(nèi)部頂部中間部位的旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12。哪家公司的蝕刻液是比較劃算的?揚州銅蝕刻液蝕刻液什么價格

蝕刻液的技術(shù)指標哪家比較好?南京天馬用的蝕刻液蝕刻液產(chǎn)品介紹

    為本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,以及其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,在本實用新型其二較佳實施例中,開設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,例如:圖4中所示的w1,其中w1大于圖3的w或圖5的w2,其中w2大于w,而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時,則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請參閱圖6與圖7所示,為本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖,以及擋液板結(jié)構(gòu)運作局部放大圖,其中本實用新型的蝕刻設(shè)備1設(shè)置于一濕式蝕刻機的一槽體(圖式未標示)內(nèi),該蝕刻設(shè)備1包括有一如上所述的擋液板結(jié)構(gòu)10、一輸送裝置30、一基板20,以及一風刀裝置40,其中本實用新型主要借由具有復數(shù)個宣泄孔121的擋液板結(jié)構(gòu)10搭配該風刀裝置40的硬體設(shè)計,有效使該風刀裝置40吹出的氣體43得以由該復數(shù)個宣泄孔121宣泄。南京天馬用的蝕刻液蝕刻液產(chǎn)品介紹