浙江銅蝕刻液剝離液商家

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-07-07

    例如即使為50/50μm以下的線/間距、推薦10/10~40/40μm的線/間距也能除去抗蝕劑。實(shí)施例以下,舉出實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明,但本發(fā)明不受這些實(shí)施例任何限定。實(shí)施例1抗蝕劑的剝離液的制備:將以下的表1中記載的成分在水中混合、溶解而制備抗蝕劑的剝離液?!颈?】(mol/l)氫氧化鉀氫氧化鈉異丙基溶纖劑硅酸鉀本發(fā)明組成:(1)基板制作方法為了提**膜抗蝕劑一基材間的密合,將覆銅層疊板(古河電工(株式會(huì)社)制:ccl:電解銅箔gts35μm箔)通過粗化處理(jcu制:ebakemuneobrownnbsii、蝕刻量μm)使表面粗度成為ra約μm。其后,使用干膜抗蝕劑(日立化成制:rd-1225(sap用):25μm厚)實(shí)施從層壓到圖案曝光、顯影。向本基板以15μm厚實(shí)施鍍銅(jcu制:cu-britevl)后,切出50×50mm2作為試驗(yàn)片。需要說明的是,該試驗(yàn)片是在一片上具有以下的表2的l/s的圖案部分和黏性部分的試驗(yàn)片。(2)圖案基板上殘留的抗蝕劑的評(píng)價(jià)方法上述評(píng)價(jià)方法中將噴涂運(yùn)行時(shí)間固定在4分鐘,按照以下的評(píng)價(jià)基準(zhǔn)評(píng)價(jià)l/s=20/20~40/40μm的圖案部分有無剝離殘?jiān)?。將其結(jié)果示于表2。<剝離殘?jiān)脑u(píng)價(jià)基準(zhǔn)>(分?jǐn)?shù))(內(nèi)容)1:無殘?jiān)?:有極少量殘?jiān)?。哪家公司的剝離液的有售后?浙江銅蝕刻液剝離液商家

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    實(shí)施例1~6:按照表1配方將二甲基亞砜、一乙醇胺、四甲基氫氧化銨、硫脲類緩蝕劑、聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑、n-甲基吡咯烷酮和去離子水混合,得到用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。表1:注:含量中不滿100wt%的部分由去離子水補(bǔ)足余量。以cna披露的光刻膠剝離液作為對(duì)照例,與實(shí)施例1~6所得用于疊層晶圓的光刻膠剝離液進(jìn)行比較試驗(yàn),對(duì)面積均為300cm2的疊層晶圓上的光刻膠進(jìn)行剝離并分別測(cè)定剝離周期、金屬鍍層的腐蝕率和過片量(剝離的面壁數(shù)量)。對(duì)比情況見表2:表2:剝離周期/s金屬腐蝕率/ppm過片量/片實(shí)施例1130~15015376實(shí)施例2130~15016583實(shí)施例3130~15017279實(shí)施例4130~15015675實(shí)施例5130~15016372實(shí)施例6130~15017681對(duì)照例180~20022664由表2可知,本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液通過加入硫脲類緩蝕劑和聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,使剝離效率有明顯的提升,對(duì)金屬腐蝕率降低20%以上,而且讓過片量提高10%以上。以上所述的*是本發(fā)明的一些實(shí)施方式。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。合肥天馬用的蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹剝離液的主要成分是什么?

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    701、油墨放置箱;702、油墨加壓器;703、高壓噴頭;704、防濺射擋板;705、印刷輥;8、膠面剝離結(jié)構(gòu);801、收卷調(diào)速器;802、收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī);803、輥固定架;804、膠水盛放箱;805、點(diǎn)膠頭;806、卷邊輥;807、膠面收卷輥;9、電加熱箱;10、熱風(fēng)噴頭;11、干燥度感應(yīng)器;12、電氣控制箱;13、液晶操作面板。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖對(duì)本**技術(shù)作進(jìn)一步說明:如圖1-圖4所示,一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,包括主支撐架1、橫向支架2、伺服變頻電機(jī)3、電機(jī)減速箱4、印刷品放置箱6、表面印刷結(jié)構(gòu)7、膠面剝離結(jié)構(gòu)8,所述主支撐架1上方設(shè)置有所述橫向支架2,所述橫向支架2上方設(shè)置有所述伺服變頻電機(jī)3,所述伺服變頻電機(jī)3上方設(shè)置有所述電機(jī)減速箱4,所述電機(jī)減速箱4上方安裝有印刷品傳送帶5,所述印刷品傳送帶5一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱6,所述印刷品放置箱6一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)7,所述表面印刷結(jié)構(gòu)7上方設(shè)置有油墨放置箱701,所述油墨放置箱701下方安裝有油墨加壓器702,所述油墨加壓器702下方安裝有高壓噴頭703,所述高壓噴頭703一側(cè)安裝有防濺射擋板704,所述防濺射擋板704下方安裝有印刷輥705,所述表面印刷結(jié)構(gòu)7一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8。

剝離液是一種通用濕電子化學(xué)品,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì),同時(shí)防止對(duì)襯底層造成破壞。剝離液是集成電路、分立器件、顯示面板、太陽能電池等生產(chǎn)濕法工藝制造的關(guān)鍵性電子化工材料,下游應(yīng)用領(lǐng)域***,但整體應(yīng)用需求較低,因此市場規(guī)模偏小。

剝離液應(yīng)用在太陽能電池中,對(duì)于剝離液的潔凈度要求較低,*需達(dá)到G1等級(jí),下游客戶主要要天合、韓華、通威等;應(yīng)用到面板中,通常要達(dá)到G2、G3等級(jí),且高世代線對(duì)于剝離液的要求要高于低世代線,下游客戶有京東方、中星光電;在半導(dǎo)體中的應(yīng)用可分等級(jí),在8英寸及以下的晶圓制造中,對(duì)于剝離液的要求達(dá)到G3、G4水平,大硅片、12英寸晶元等**產(chǎn)品要達(dá)到G5水平。 哪家的剝離液的價(jià)格優(yōu)惠?

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    腔室10及過濾器30可以采用與現(xiàn)有技術(shù)相同的設(shè)計(jì)。處于剝離制程中的玻璃基板,按照玻璃基板傳送方向從當(dāng)前腔室101開始逐級(jí)由各腔室10向玻璃基板供給剝離液以進(jìn)行剝離制程。剝離液從當(dāng)前腔室101進(jìn)入相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20,在剝離液的水平面超過預(yù)設(shè)高度后流入過濾器30,再經(jīng)過過濾器30的過濾將過濾后的剝離液傳送至下一級(jí)腔室102內(nèi)。其中,薄膜碎屑70一般為金屬碎屑或ito碎屑。其中,如圖2所示,圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。閥門開關(guān)60設(shè)置在***管道40及第二管道50上。在過濾器30被阻塞時(shí),關(guān)閉位于過濾器30兩側(cè)的***管道40及第二管道50上的閥門開關(guān)60,可以保證當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20內(nèi)剝離液不會(huì)流出,同時(shí)下一級(jí)腔室102內(nèi)的剝離液也不會(huì)流出。在一些實(shí)施例中,請(qǐng)參閱圖3,圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。過濾器30包括多個(gè)并列排布的子過濾器301,所述***管道40包括多個(gè)***子管道401,每一所述***子管道401與一子過濾器301連通,且所述多個(gè)***子管道401與當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連通。在一些實(shí)施例中,第二管道50包括公共子管道501及多個(gè)第二子管道502,每一所述第二子管道502與一子過濾器301連通。剝離液蝕刻后的樣貌形態(tài)。合肥天馬用的蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹

什么制程中需要使用剝離液。浙江銅蝕刻液剝離液商家

    每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通,所述公共子管道501與所述下一級(jí)腔室102連通。其中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一***子管道301上。在一些實(shí)施例中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一***子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實(shí)施例中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第二子管道502上。具體的,閥門開關(guān)60的設(shè)置位置可以設(shè)置在連接過濾器30的任意管道上,在此不做贅述。在一些實(shí)施例中,請(qǐng)參閱圖4,圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。第二管道50包括多個(gè)第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,且每一所述第三子管道503與所述下一級(jí)腔室連通102。其中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第三子管道503上。本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái),包括:依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱;過濾器,所述過濾器的一端設(shè)置通過***管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級(jí)腔室連接;其中,至少在***管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)。通過閥門開關(guān)控制連接每一級(jí)腔室的過濾器相互獨(dú)立,從而在過濾器被阻塞時(shí)通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程,提高生產(chǎn)效率。浙江銅蝕刻液剝離液商家

蘇州博洋化學(xué)股份有限公司成立于1999-10-25年,在此之前我們已在高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液行業(yè)中有了多年的生產(chǎn)和服務(wù)經(jīng)驗(yàn),深受經(jīng)銷商和客戶的好評(píng)。我們從一個(gè)名不見經(jīng)傳的小公司,慢慢的適應(yīng)了市場的需求,得到了越來越多的客戶認(rèn)可。公司主要經(jīng)營高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液,公司與高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液行業(yè)內(nèi)多家研究中心、機(jī)構(gòu)保持合作關(guān)系,共同交流、探討技術(shù)更新。通過科學(xué)管理、產(chǎn)品研發(fā)來提高公司競爭力。公司與行業(yè)上下游之間建立了長久親密的合作關(guān)系,確保高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液在技術(shù)上與行業(yè)內(nèi)保持同步。產(chǎn)品質(zhì)量按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行研發(fā)生產(chǎn),絕不因價(jià)格而放棄質(zhì)量和聲譽(yù)。在市場競爭日趨激烈的現(xiàn)在,我們承諾保證高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液質(zhì)量和服務(wù),再創(chuàng)佳績是我們一直的追求,我們真誠的為客戶提供真誠的服務(wù),歡迎各位新老客戶來我公司參觀指導(dǎo)。