深圳什么剝離液銷售價格

來源: 發(fā)布時間:2023-06-20

    本發(fā)明涉及剝離液技術(shù)領(lǐng)域:,更具體的說是涉及一種光刻膠剝離液再生方法。背景技術(shù)::電子行業(yè)飛速發(fā)展,光刻膠應(yīng)用也越來越***。在半導(dǎo)體元器件制造過程中,經(jīng)過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材,才能再進(jìn)行下道工序。因此,光刻膠的剝離質(zhì)量也有直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量。而隨著電子行業(yè)的發(fā)展以及高世代面板的面世,光刻膠剝離液的使用越來越多。剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質(zhì),而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,對環(huán)境、資源等都造成了比較大的影響。有鑒于此,申請人研發(fā)出以下的對使用后的光刻膠剝離液回收及再生方法。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的是提供一種光刻膠剝離液再生方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:本申請公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質(zhì)量組分:光刻膠剝離液再生方法,包括以下步驟:s1:回收剝離液新液使用后的剝離液廢液,將剝離液廢液經(jīng)過蒸餾、加壓工序,得出剝離液廢液的純化液體;純化液體中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物;s2:制備添加劑。哪家剝離液質(zhì)量比較好一點(diǎn)?深圳什么剝離液銷售價格

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    在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺的***種結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺的工作方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式目前剝離液機(jī)臺在工作時,如果過濾剝離光阻時產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要剝離液機(jī)臺內(nèi)的所有工作單元,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進(jìn)行剝離制程,使得機(jī)臺需頻繁停線以更換過濾器,極大的降低了生產(chǎn)效率。請參閱圖1,圖1為本申請實(shí)施例提供的過濾液機(jī)臺100的***種結(jié)構(gòu)示意圖。本申請實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺100,包括:依次順序排列的多級腔室10、每一級所述腔室10對應(yīng)連接一存儲箱20;過濾器30,所述過濾器30的一端設(shè)置通過***管道40與當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接;其中,至少在***管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門開關(guān)60。具體的,圖1所示出的是閥門開關(guān)60設(shè)置在***管道40上的示例圖。深圳什么剝離液銷售價格剝離液的的性價比、質(zhì)量哪家比較好?

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濕電子化學(xué)品位于電子信息產(chǎn)業(yè)偏中上游的材料領(lǐng)域。濕電子化學(xué)品上游是基 礎(chǔ)化工產(chǎn)品,下游是電子信息產(chǎn)業(yè)(信息通訊、消費(fèi)電子、家用電器、汽車電子、 LED、平板顯示、太陽能電池、**等領(lǐng)域)。濕電子化學(xué)品的生產(chǎn)工藝主要采用物 理的提純技術(shù)及混配技術(shù),將工業(yè)級的化工原料提純?yōu)槌瑑舾呒兓瘜W(xué)試劑,并按照 特定的配方混配為具有特定功能性的化學(xué)試劑。濕電子化學(xué)品行業(yè)是精細(xì)化工和電 子信息行業(yè)交叉的領(lǐng)域,其行業(yè)特色充分融入了兩大行業(yè)的自身特點(diǎn),具有品種多、 質(zhì)量要求高、對環(huán)境潔凈度要求苛刻、產(chǎn)品更新?lián)Q代快、產(chǎn)品附加值高、資金投入 量大等特點(diǎn),是化工領(lǐng)域相當(dāng)有發(fā)展前景的領(lǐng)域之一。

    所述抽真空氣體修飾法包括如下步驟:將將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中,對密閉空間抽真空至光刻膠抗粘層氣化,保持1分鐘以上,直接取出襯底。進(jìn)一步的改進(jìn),所述襯底為硅、氧化硅、石英、玻璃、氮化硅、碳化硅、鈮酸鋰、金剛石、藍(lán)寶石或ito制成。進(jìn)一步的改進(jìn),所述步驟(2)對襯底修飾的試劑包括hmds和十三氟正辛基硅烷;對襯底修飾的試劑鍍在襯底表面。進(jìn)一步的改進(jìn),所述所述光刻膠包括pmma,zep,瑞紅膠,az膠,納米壓印膠和光固化膠。進(jìn)一步的改進(jìn),所述光刻膠厚度為1nm-100mm進(jìn)一步的改進(jìn),所述光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓的方法為電子束曝光,離子束曝光,聚焦離子束曝光,重離子曝光,x射線曝光,等離子體刻蝕,紫外光刻,極紫外光刻,激光直寫或納米壓印。進(jìn)一步的改進(jìn),所述黏貼層為pdms,紫外固化膠,熱釋放膠,高溫膠帶,普通膠帶,pva,纖維素或ab膠。上述選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法制備的微納結(jié)構(gòu)用于微納制造,光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué),生物領(lǐng)域,mems領(lǐng)域,nems領(lǐng)域。本發(fā)明的有益效果在于,解決了現(xiàn)有負(fù)性光刻膠加工效率低,難于去膠,去膠過程中損傷襯底,對于跨尺度結(jié)構(gòu)的加工過程中加工精度和效率的矛盾等問題。哪家公司的剝離液的有售后?

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    上述組分中,酰胺是用于溶解光刻膠;醇醚是用于潤濕、膨潤、溶解光刻膠的;環(huán)胺與鏈胺,用于滲透、斷開光刻膠分子間弱結(jié)合力;緩蝕劑,用于降低對金屬的腐蝕速度;潤濕劑,能夠增強(qiáng)親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的步驟s3中重新制備剝離液新液,制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物,其中重新制備新液時,加入的純化液體質(zhì)量分?jǐn)?shù)為:70%-95%,加入的添加劑質(zhì)量分?jǐn)?shù)為:5%-10%;加入的酰胺化合物質(zhì)量分?jǐn)?shù)為:0-15%;加入的醇醚化合物質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0-5%。在制備過程中額外加入酰胺化合物以及醇醚化合物是為了調(diào)節(jié)中心制備的剝離液新液中各組分的質(zhì)量分?jǐn)?shù),將配比調(diào)節(jié)到更優(yōu)的比例,使得剝離液新液的效果更好。經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明對剝離液廢液進(jìn)行加壓、蒸餾等處理,得出純化液體,該純化液體中所含的物質(zhì)是剝離液新液中所含有的某些組分,而通過預(yù)先制備添加劑,可以在得出純化液體后直接加入添加劑以及原材料,重新配備剝離液新液,使得剝離液廢液得以循環(huán)再生,減少資源的浪費(fèi)以及對環(huán)境的危害。ITO剝離液的配方是什么?池州江化微的蝕刻液剝離液什么價格

剝離液的技術(shù)指標(biāo)哪家比較好?深圳什么剝離液銷售價格

    本申請涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種剝離液機(jī)臺及其工作方法。背景技術(shù):剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減,lift-off先形成光阻并圖案化,再在光阻上成膜,移除光阻的同時,沉積在光阻上的膜層也被剝離,從而完成膜層的圖形化,通過該制程可以實(shí)現(xiàn)兩次光刻合并為一次以達(dá)到光罩縮減的目的?,F(xiàn)有技術(shù)中,由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬,ito(氧化銦錫)等用于制備tft的膜層),在剝離光阻的同時薄膜碎屑被帶入剝離液(stripper)中,大量的薄膜碎屑將會導(dǎo)致剝離液機(jī)臺中的過濾器(filter)堵塞,從而導(dǎo)致機(jī)臺無法使用,并且需要停止所有剝離液機(jī)臺的工作,待將filter清理后再次啟動,降低了生產(chǎn)效率。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本申請實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺及其工作方法,可以提高生產(chǎn)效率。本申請實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應(yīng)連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設(shè)置通過***管道與當(dāng)前級腔室對應(yīng)的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在所述***管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)。在一些實(shí)施例中。深圳什么剝離液銷售價格

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