湖北高溫?zé)o氧烘箱固化半導(dǎo)體晶圓

DTN630C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO)

規(guī)格：

①內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：660×500×660

②外形尺寸（寬×深×高mm）：1300×1000×1750

③內(nèi)容積：216L

④棚板層數(shù)/層間距：19層/30mm

⑤排氣口：40KF法蘭

⑥氮?dú)馊肟冢篟c1/2

⑦冷卻水入口：Rc3/4

⑧熱水出口：Rc3/4，2個(gè)

⑨電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 19A

⑩重量：約1100kg

選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機(jī)/ 運(yùn)行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能

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使用高溫爐應(yīng)該選擇儲(chǔ)備哪些備件？

1、加熱元件和隔熱屏

      加熱元件和隔熱屏蔽作為手頭備件是特別重要的，因?yàn)樗鼈兪歉邷貭t的心臟，具有許多不同的大小和配置，往往又不是一個(gè)容易儲(chǔ)存的部件。這些部件會(huì)隨著時(shí)間的推移緩慢降解，具體取決于它們所接觸到的溫度、氣體和污染物。檢查加熱器和屏蔽工作效率的一個(gè)簡(jiǎn)單方法，是將給定溫度下熱區(qū)的用電量與操作手冊(cè)中列出的功耗進(jìn)行比較。如果總體KVA使用量增加，或者電壓和電流與這些數(shù)字嚴(yán)重偏離，則可能表示加熱器有一定損耗。溫度均勻性測(cè)試還可以提供有關(guān)加熱區(qū)狀況的重要數(shù)據(jù)。

2、傳感器

  熱電偶通常是用于測(cè)量溫度的主要傳感器。雖然它們通常被護(hù)套延長(zhǎng)壽命，但隨著時(shí)間的推移，它們?nèi)菀灼疲枰ㄆ诟鼡Q，以確保準(zhǔn)確的反饋溫度。真空和壓力傳感器也需要定期檢查精度和性能。許多用戶都有一個(gè)校準(zhǔn)計(jì)劃來做到這一點(diǎn)。

3、密封

  密封件相對(duì)便宜，建議在進(jìn)行維護(hù)時(shí)更換，以確保真空完整性。對(duì)于正壓運(yùn)轉(zhuǎn)的爐子，室內(nèi)氣廢氣閥是另一個(gè)應(yīng)作為備用物品保留的物品。這些閥門可能暴露于許多揮發(fā)性物質(zhì)，它們往往聚集在這個(gè)閥門上，通過他們冷卻排出爐體。 山東高溫?zé)o氧烘箱規(guī)格參數(shù)浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫?zé)o氧烘箱，有想法的不要錯(cuò)過哦！

C1-007厭氧高溫氣氛爐（YAMATO）

●用途：電子元器件高溫處理工藝。

●用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。

●MAX工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下。

●程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能，有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式。

●快速升溫、降溫，降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

●配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等。

●在安全方面，配置了自動(dòng)過升防止、過升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ?/span>

●常、氮?dú)饬髁慨惓?、過電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置。

室溫+30～360℃ 規(guī)格參數(shù)：

溫度范圍室溫：+30～360℃

溫度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

溫度上升時(shí)間：60min（室溫→360℃）

溫度下降時(shí)間：90min（360℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間：約45分鐘

運(yùn)轉(zhuǎn)功能：定值運(yùn)轉(zhuǎn)、程序運(yùn)轉(zhuǎn)

裝備：氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

室溫+50～600℃ 規(guī)格參數(shù)：

溫度范圍室溫：室溫+50～600℃

溫度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

溫度上升時(shí)間：90min（室溫→600℃）

溫度下降時(shí)間：120min（600℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間：約45分鐘

運(yùn)轉(zhuǎn)功能：定值運(yùn)轉(zhuǎn)、程序運(yùn)轉(zhuǎn)

裝備：氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐(YAMATO)

潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

■特點(diǎn)：

● MAX工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

● 采用耐熱高性能高效過濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級(jí)，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。

● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短，N2消耗量極低。

● 通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。

● 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。

● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。

● 液晶觸摸屏操作，自動(dòng)/手動(dòng)兩種運(yùn)行模式。

■安全性：

● 擁有門檢測(cè)開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮?dú)鈮毫z測(cè)、氮?dú)饬髁繖z測(cè)、冷卻水流量檢測(cè)、漏水傳感器、過電流漏電保護(hù)開關(guān)等安裝裝置。

浚和(上海)儀器有限公司是一家專業(yè)提供高溫?zé)o氧烘箱的公司，有想法的可以來電咨詢！

DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO)

規(guī)格：

①內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：660×500×660

②外形尺寸（寬×深×高mm）：1450×1060×1960

③內(nèi)容積：216L

④棚板層數(shù)/層間距：19層/30mm

⑤排氣口：40KF法蘭

⑥氮?dú)馊肟冢篟c1/2

⑦冷卻水入口：Rc3/4

⑧熱水出口：Rc3/4，2個(gè)

⑨電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 27A

⑩重量：約1100kg

選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機(jī)/ 運(yùn)行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能

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浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫?zé)o氧烘箱，期待您的光臨！浙江高溫?zé)o氧烘箱DTN430C

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DNN430C厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格（YAMATO）

規(guī)格：

內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（寬×深×高mm）：1090×950×1540

內(nèi)容積：91L

棚板層數(shù)/層間距：12層/30mm

排氣口：40KF法蘭

氮?dú)馊肟冢篟c1/2

冷卻水入口：Rc3/4

熱水出口：Rc3/4，2個(gè)

電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 16A

重量：約800kg

選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機(jī)/ 運(yùn)行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能

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湖北高溫?zé)o氧烘箱固化半導(dǎo)體晶圓

浚和（上海）儀器有限公司是一家供應(yīng)國內(nèi)外先進(jìn)儀器和設(shè)備的專業(yè)供應(yīng)商和服務(wù)商，致力于為客戶提供專業(yè)的定制化解決方案。多年來，持續(xù)為醫(yī)藥、化工、高校、科研單位、檢測(cè)院等多個(gè)行業(yè)提供先進(jìn)的產(chǎn)品和專業(yè)的服務(wù)。

浚和在不斷引進(jìn)國內(nèi)外先進(jìn)儀器設(shè)備的同時(shí)，結(jié)合行業(yè)和市場(chǎng)需求，加強(qiáng)和客戶之間的溝通，并與國際上多家**儀器設(shè)備制造商保持著長(zhǎng)期穩(wěn)定的合作關(guān)系，不定期地與合作商進(jìn)行技術(shù)交流，努力加強(qiáng)自身技術(shù)力量。公司配備了數(shù)名有著多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)人員，依靠雄厚的技術(shù)實(shí)力、科學(xué)合理的配置方案、專業(yè)的安裝調(diào)試和周到的售后服務(wù)，得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品包括：等離子清洗機(jī)、真空泵、噴霧干燥器、數(shù)字PCR、高壓滅菌鍋、培養(yǎng)箱、切片機(jī)、水分測(cè)定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時(shí)，公司還提供專業(yè)的技術(shù)服務(wù)，如設(shè)備的維護(hù)、驗(yàn)證等。

浚和儀器將始終以行業(yè)特點(diǎn)為立足點(diǎn)，以客戶需求為導(dǎo)向，不斷地提高自身專業(yè)技術(shù)能力，不停地完善客戶服務(wù)質(zhì)量，在發(fā)展中保持創(chuàng)新的精神，力求與客戶共同進(jìn)步，為行業(yè)的發(fā)展作出不懈的努力。