安徽高溫?zé)o氧烘箱固化半導(dǎo)體晶圓

無氧烘箱與普通工業(yè)烘箱的比較

      無氧烘箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。

一、無氧烘箱與普通工業(yè)烘箱在結(jié)構(gòu)上的區(qū)別

      無氧烘箱會對內(nèi)箱進行滿焊，同時做密封處理，這樣充入的惰性氣體就不會泄露，同時保證了內(nèi)部的無氧環(huán)境。而普通烘箱內(nèi)箱雖然也是滿焊，但是沒有做密封處理。

二、無氧烘箱與普通工業(yè)烘箱在控制系統(tǒng)上的區(qū)別

      無氧烘箱需要增加氮氣控制系統(tǒng)，同時需要有延時加熱功能，就是說在加熱之前進行延時充氮，以此來保證加熱時箱內(nèi)已經(jīng)形成無氧環(huán)境，避免高溫氧化。當(dāng)然，一些其他的控制技術(shù)包括雙流量充氮省能源控制等方式也被許多用戶采納，即雙流量+延時加熱，大流量氮氣充入，延時加熱，當(dāng)箱內(nèi)充滿氮氣后，自動切換為小流量以此節(jié)省氮氣。 而普通烘箱則沒有這些功能。 浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫?zé)o氧烘箱，有需要可以聯(lián)系我司哦！安徽高溫?zé)o氧烘箱固化半導(dǎo)體晶圓

DNN630C厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格（YAMATO）

1、方式：氮氣置換+ 強制送風(fēng)循環(huán)

2、性能：

①使用溫度范圍：室溫+50～360℃

②溫度調(diào)節(jié)精度：±0.5℃（at360℃）

③溫度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX溫度到達時間：約80分鐘

⑤氧濃度：20ppm 以下

⑥氧濃度到達時間：≤ 25分（250L/min 氮氣）

3、構(gòu)成：

①內(nèi)裝：不銹鋼板

②外裝：冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝

③斷熱材：硅酸鋁棉

④加熱方式：不銹鋼加熱管

⑤加熱功率：主加熱器9KW

⑥N2預(yù)熱：1KW

⑦冷卻機構(gòu)：不銹鋼冷卻水換熱器

4、控制器：

①溫度控制方式：PID控制

②溫度控制器：液晶觸摸屏+PLC

③運行功能：手動定值運行、自動程序運行

④程序模式：程序運行9個，每個程序可設(shè)置9步（可擴展）

⑤附加功能：操作員等級認證

⑥加熱器回路控制：SSR驅(qū)動

⑦傳感器：K型熱電偶（溫度控制及過升防止器）

5、安全裝置：門檢測開關(guān)、過升防止器、氧濃度異常、N2 預(yù)熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2 流量檢測、風(fēng)機過載檢測、過電流漏電保護開關(guān)等 雅瑪拓高溫?zé)o氧烘箱高溫烘烤高溫?zé)o氧烘箱，就選浚和(上海)儀器有限公司，用戶的信賴之選，歡迎您的來電！

烘箱安裝要求及檢查調(diào)整

1、安置地點要求：

①地面須水平

②通風(fēng)須良好，落塵量較少

③不要放置在潮濕地方

④不要暴露在易燃或腐蝕性氣體下（特殊烤箱除外）

⑤盡可能使可燃物遠離

⑥環(huán)境溫度匆過高

2、安置間隔要求：

①理想操作環(huán)境機身各方距墻60公分以上

②理想操作環(huán)境機身與機身間隔60公分以上

3、電源安裝要求：

①請依電器銘板上所訂之電源規(guī)格接電

②電壓變動率必須在額定值±5%內(nèi)

③為避免電擊意外發(fā)生，機臺本身必須接地（依電工法規(guī)第三種接地法實施對地電阻100Ω以下）

④不可將有漏電斷路器烤箱與無此裝置烤箱共用接線線路

4、水平調(diào)整：

①機臺定位后，須調(diào)整水平

5、電源接線：

機臺定位完成后，可由機臺后方電源電纜線，并依接線端子板上之標(biāo)示規(guī)格完成電源接線之工作

6、送風(fēng)馬達調(diào)整

C1-007厭氧高溫氣氛爐（YAMATO）

●用途：電子元器件高溫處理工藝。

●用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。

●MAX工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下。

●程序運轉(zhuǎn)功能，有自動/手動兩種操作模式。

●快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

●配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等。

●在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異

●常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。

室溫+30～360℃ 規(guī)格參數(shù)：

溫度范圍室溫：+30～360℃

溫度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

溫度上升時間：60min（室溫→360℃）

溫度下降時間：90min（360℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時間：約45分鐘

運轉(zhuǎn)功能：定值運轉(zhuǎn)、程序運轉(zhuǎn)

裝備：氮氣導(dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計等

內(nèi)尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

室溫+50～600℃ 規(guī)格參數(shù)：

溫度范圍室溫：室溫+50～600℃

溫度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

溫度上升時間：90min（室溫→600℃）

溫度下降時間：120min（600℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時間：約45分鐘

運轉(zhuǎn)功能：定值運轉(zhuǎn)、程序運轉(zhuǎn)

裝備：氮氣導(dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計等

內(nèi)尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

浚和(上海)儀器有限公司是一家專業(yè)提供高溫?zé)o氧烘箱的公司，有想法可以來我司咨詢！

DTN630C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO)

規(guī)格：

①內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：660×500×660

②外形尺寸（寬×深×高mm）：1300×1000×1750

③內(nèi)容積：216L

④棚板層數(shù)/層間距：19層/30mm

⑤排氣口：40KF法蘭

⑥氮氣入口：Rc1/2

⑦冷卻水入口：Rc3/4

⑧熱水出口：Rc3/4，2個

⑨電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 19A

⑩重量：約1100kg

選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能

------------- 浚和(上海)儀器有限公司高溫?zé)o氧烘箱值得用戶放心。天津高溫?zé)o氧烘箱DTN450C

浚和(上海)儀器有限公司為您提供高溫?zé)o氧烘箱，歡迎您的來電哦！安徽高溫?zé)o氧烘箱固化半導(dǎo)體晶圓

DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO)

規(guī)格：

①內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：660×500×660

②外形尺寸（寬×深×高mm）：1450×1060×1960

③內(nèi)容積：216L

④棚板層數(shù)/層間距：19層/30mm

⑤排氣口：40KF法蘭

⑥氮氣入口：Rc1/2

⑦冷卻水入口：Rc3/4

⑧熱水出口：Rc3/4，2個

⑨電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 27A

⑩重量：約1100kg

選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能

-------------

安徽高溫?zé)o氧烘箱固化半導(dǎo)體晶圓

浚和（上海）儀器有限公司是一家供應(yīng)國內(nèi)外先進儀器和設(shè)備的專業(yè)供應(yīng)商和服務(wù)商，致力于為客戶提供專業(yè)的定制化解決方案。多年來，持續(xù)為醫(yī)藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業(yè)提供先進的產(chǎn)品和專業(yè)的服務(wù)。

浚和在不斷引進國內(nèi)外先進儀器設(shè)備的同時，結(jié)合行業(yè)和市場需求，加強和客戶之間的溝通，并與國際上多家**儀器設(shè)備制造商保持著長期穩(wěn)定的合作關(guān)系，不定期地與合作商進行技術(shù)交流，努力加強自身技術(shù)力量。公司配備了數(shù)名有著多年行業(yè)經(jīng)驗的技術(shù)人員，依靠雄厚的技術(shù)實力、科學(xué)合理的配置方案、專業(yè)的安裝調(diào)試和周到的售后服務(wù)，得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經(jīng)營產(chǎn)品包括：等離子清洗機、真空泵、噴霧干燥器、數(shù)字PCR、高壓滅菌鍋、培養(yǎng)箱、切片機、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時，公司還提供專業(yè)的技術(shù)服務(wù)，如設(shè)備的維護、驗證等。

浚和儀器將始終以行業(yè)特點為立足點，以客戶需求為導(dǎo)向，不斷地提高自身專業(yè)技術(shù)能力，不停地完善客戶服務(wù)質(zhì)量，在發(fā)展中保持創(chuàng)新的精神，力求與客戶共同進步，為行業(yè)的發(fā)展作出不懈的努力。