多定位閘閥ALUMINUM GATE VALVE

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點：其閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過精心防護處理，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring），通過三重預(yù)防方式有效切斷粉末（Powder），從而延長閥門驅(qū)動及使用壽命。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動方式中的 Shield 功能，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部，同時具備三重保護驅(qū)動保護環(huán)，可延長 GV 壽命的 Shield 方法，并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備。此外，擋板與閥體之間的距離小于 1mm，能夠強力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成，充分考慮了其復(fù)原力，并通過 Viton 粉末熱壓工藝制成。而三重保護保護環(huán)的主要功能則包括：AL 材料的重量減輕和保護環(huán)內(nèi)部照明的改善、保護環(huán)內(nèi)部流速的增加以及三元環(huán)的應(yīng)用確保了驅(qū)動性能的提升。正確安裝、定期維護以及遵守制造商指南對于這些閥門的性能發(fā)揮和使用壽命至關(guān)重要。多定位閘閥ALUMINUM GATE VALVE

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，氣動多位置閘閥，氣動多定位閘閥，多定位插板閥，Pneumatic Multi Position 其特點是1，全開和關(guān)閉位置使用帶有位置發(fā)射器的氣動電磁閥進行控制；2，所有位置控制都由控制器進行操作。1)控制類型-全開：高速閘門全開操作-全閉：高速閘門全閉操作-位置（POS.）控制：將閘門移動到設(shè)定的位置值；2)操作時間-完全打開?完全關(guān)閉：<2秒（取決于速度控制器設(shè)置)-位置（POS。）控制： 0%?100%工作，<MAX18秒（偏差： < ±0.5%）。微泰氣動多位置閘閥，氣動多定位閘閥，多定位插板閥，Pneumatic Multi Position，有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。閘閥UMC微泰高壓閘閥的特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:隔離泵。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，插板閥，氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥-按產(chǎn)品尺寸和法蘭類型排列-ID為1.5英寸至30英寸，ISO、CF&JIS和ASA法蘭等-現(xiàn)有手動閘閥的鎖定功能（Exist Manual GV of Locking Function）。微泰氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點：閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都進行了防護處理，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預(yù)防方式切斷粉末（Powder），延長閥門驅(qū)動和使用壽命。三重預(yù)防驅(qū)動方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部，有三重保護驅(qū)動保護環(huán)，長久延長GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導(dǎo)體T公司、M公司和I公司Utility設(shè)備。擋板與閥體的距離小于1mm，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料，考慮了復(fù)原力，并采用Viton粉末熱壓制成。三重保護保護環(huán)的主要功能說明-AL材料的重量減輕和保護環(huán)內(nèi)部照明的改善-保護環(huán)內(nèi)部流速的增加-三元環(huán)應(yīng)用確保驅(qū)動性能。高壓閘閥按閥桿螺紋的位置分外螺紋式、內(nèi)螺紋式、法蘭、焊接等。按介質(zhì)的流向分，有直通式、直流式和角式。

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點：首先，它已向中國臺灣的 Micron、UMC、AKT 等，新加坡的 Micron、Global Foundries，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體，日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨，且品質(zhì)得到認(rèn)可，同時完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。其次，該閘閥采用陶瓷球機構(gòu)，具有良好的抗沖擊和震動性能，保證可使用 25 萬次，且檢修方便，維護成本較低。它無 Particle 產(chǎn)生，采用陶瓷球不會有腐蝕和顆粒產(chǎn)生。此外，它還具有屏蔽保護功能，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm，能有效防止粉末侵入閥內(nèi)，壽命為半永久性。其保護環(huán)設(shè)計也很獨特，Protecrion Ring 通過流速上升設(shè)計防止粉末凝固，并通過打磨（研磨）工藝防止粉末堆積。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。閘閥的結(jié)構(gòu)緊湊，閥門剛性好，通道流暢，流阻數(shù)小，密封面采用不銹鋼和硬質(zhì)合金，使用壽命長。全真空可嵌入閘閥角控制閥

這些真空閥可以手動、氣動或電子方式驅(qū)動，從而可以根據(jù)具體應(yīng)用進行多功能控制。多定位閘閥ALUMINUM GATE VALVE

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，一、控制系統(tǒng)閘閥?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。二、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu)，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值，保持一致的真空壓力。三、多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能，以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。其特點之一是能夠遠(yuǎn)程檢查閥門狀態(tài)，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝。多定位閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域。采用手動調(diào)節(jié)控制裝置控制，用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉，以調(diào)節(jié)壓力。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。多定位閘閥ALUMINUM GATE VALVE