半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤

微泰，精湛的超精密加工技術(shù)，可達到微米級加工，充分考慮材料的特殊性加工超平整零件，平整度公差小于 3 um零件精密加工的關(guān)鍵在于確保高水平的精度和質(zhì)量，并確保與既定尺寸的偏差小實現(xiàn)。 精密加工的半導(dǎo)體晶圓真空卡盤的平面度公差不超過 3 μm，并通過三維接觸測量儀進行全數(shù)檢查和系統(tǒng)質(zhì)量的管材，為全球客戶提供精密加工。 鋁（AL5052、AL6061、AL7075）、不銹鋼（SUS304、SUS316、SUS630）。 銅、鎢、鈦和蒙奈爾合金（MONEL）。 處理聚醚醚酮 (PEEK)、聚甲醛 (POM) 和聚酰亞胺 (PI) 等材料，需要精密加工。使用高難度材料，如無氧高導(dǎo)銅 (OFHC)制造半導(dǎo)體精密零件。超精密飛秒激光技術(shù)是一種高精度、非接觸、非熱效應(yīng)的加工方法，適用于各種材料的微細加工。半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤

現(xiàn)有物理切削技術(shù),接觸式加工,磨損基石，需要切削油,加工后需要清洗納秒激光加工有以下問題：細微裂紋，熔化-再凝固產(chǎn)生熱變形，表面物性發(fā)生變化，周圍會產(chǎn)生多個顆粒飛秒激光打磨：改善現(xiàn)有打磨技術(shù)的問題-熱影響極小，可以局部加工-不需要切削油和化學(xué)藥劑-細微裂紋極少化表面物理特性變化少，在不改變物性值的情況下，提高表面粗糙度。高功率激光打磨：測量高度→獲取高度數(shù)據(jù)→轉(zhuǎn)換成面數(shù)據(jù)→去除表面凸起中等功率，利用中等功率激光可以刻畫低功率時具有，清洗效果；拋光效果（也有去除微孔邊緣毛刺的效果）拋光后，[AOI（自動光學(xué)檢查）]對孔不良進行檢測（手動或自動）（光學(xué)相機掃描儀）材料的邊緣測量和修正材料位置誤差。加工部件激光光學(xué)系統(tǒng)位移傳感器、光學(xué)相機、防撞傳感器滑門及外蓋實用程序系統(tǒng)控制系統(tǒng)該激光加工設(shè)備環(huán)保，有利于工藝自動化，本公司通過各工序的聯(lián)動及生產(chǎn)自動化，推進智能工廠化，成為超精密激光加工系統(tǒng)領(lǐng)域全球企業(yè)，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰救毡炯夹g(shù)超精密真空板由于精度高的緣故，超精密加工常應(yīng)用在光學(xué)元件。也會應(yīng)用在機械工業(yè)。

微泰，采用先進的飛秒激光的高速螺旋鉆削自主技術(shù)，進行半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。還可以進行MAX10度角的倒錐孔和各種幾何形狀的微孔，飛秒激光利用相對較短的激光脈沖，熱損傷很小，加工對象沒有物性變形層，表面平整，實現(xiàn)超精密微孔加工。MLCC 層壓的真空板相同區(qū)域內(nèi)可加工不規(guī)則位置的孔；可以混合加工不規(guī)則尺寸，孔間距可達 0.3 μm ；可加工多達 800,000 個孔，用于MLCC印刷吸膜板，MLCC疊層吸膜板，吸附板。

微泰，利用自主自主技術(shù)，飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID（電解在線砂輪修正技術(shù)），飛秒激光拋光技術(shù)，生產(chǎn)各種超精密零部件。有三星電子，LG電子等諸多企業(yè)的業(yè)績。攝像頭模組的拾取工具，治具。特別是超薄，超鋒利的鏡頭切割器，光滑無毛邊地切割塑料鏡片的澆口，占韓國塑料鏡頭切割刀片90%以上的市場，精密要求極高的攝像機傳感器與IC、PCB進行熱壓接合用治具，也占韓國90%以上市場。有問題請聯(lián)系  上海安宇泰環(huán)保科技有限公司總代理激光超精密加工的對象范圍很寬，包括幾乎所有的金屬材料和非金屬材料，適于材料的打孔、焊接、表面改性等。

我公司利用自主技術(shù)，飛秒激光螺旋鉆孔技術(shù)，可以在各種金屬，陶瓷，藍寶石，超硬材料，PCD上加工各種形狀的微孔，MIN可加工5微米的孔，MIN孔距可做到0.3微米，而且可以對孔壁進行拋光，使之孔壁光滑。飛秒激光不同于納秒激光，微孔平整，熱變形和物理變形很小。這是納秒激光加工件，這是飛秒激光加工件。我公司飛秒激光螺旋鉆孔技術(shù)為電子，光學(xué)，機械，化學(xué)，醫(yī)療等不同行業(yè)的高精度微孔需求，提供高精度加工服務(wù)。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?，利用韓國先進技術(shù)，飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID（電解在線砂輪修正技術(shù)），飛秒激光拋光技術(shù)，生產(chǎn)各種超精密零部件。MLCC方面有三星電機，日本村田等很多企業(yè)的業(yè)績，是韓國三星主要供應(yīng)商。主要生產(chǎn)：1，MLCC吸膜板，2，各種MLCC刀具，刀片。3，MLCC掩模板 陣列遮罩板 。4，測包機分度盤。5，各種MLCC設(shè)備精密零件。MLCC吸膜板，用于在 MLCC 疊層機和印刷機上，通過抽真空移動 0.8 微米的生陶瓷片。MLCC吸膜板與MLCC切割刀片在韓國，技術(shù)和質(zhì)量方面有壓倒性優(yōu)勢，有問題請聯(lián)系  上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰境芗庸さ木缺葌鹘y(tǒng)的精密加工提高了一個以上的數(shù)量級。日本技術(shù)超精密真空板

超快激光采用的超短脈沖激光是利用場效應(yīng)進行加工，不僅可以達到更高的精度，并且不會對材料表面造成損傷。半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤

微泰提供半導(dǎo)體精密元件精密制造和供應(yīng)機械設(shè)備（包括半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、生物電池、新能源電池、航空航天和羅機器人）所需的所有精密部件和模型。 根據(jù)客戶的需求，提出改進功能的想法和設(shè)計，以及生產(chǎn)、質(zhì)量控制和檢測系統(tǒng)的高效集成基礎(chǔ)設(shè)施、材料和部件。 通過與國內(nèi)外設(shè)備制造商的合作，我們能夠以高速度、高質(zhì)量和有競爭力的優(yōu)化成本提供客戶滿意的產(chǎn)品。尺寸：MCT 5 ~ 6.5 英寸。 CNC 6 ~ 10 英寸， 旋銑  材料:AL5052, AL6061, AL7075, SUS304, SUS316,SUS630, Copper, Tungsten, Titanium, Monel, POM,PEEK。半導(dǎo)體精密元件特性：保持嚴格的公差，因此零件的制造非常精確，并需要高加工能力，以便與指定公差的偏差小。 在整個加工過程中進行嚴格的質(zhì)量控制，識別和糾正零件的規(guī)格和偏差，從而制造出高質(zhì)量的精密零件。半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤