正規(guī)四氟化碳高性價比的選擇

來源: 發(fā)布時間:2020-03-01

隨著我國經濟結構調整,新興產業(yè),特別是計算機、消費電子、通信等產業(yè)規(guī)模持續(xù)增長,拉動了對上游集成電路需求。近幾年我國從國家信息安全戰(zhàn)略層面不斷加大對集成電路產業(yè)的政策支持力度,同時,伴隨國內集成電路技術的積累,國內近幾年集成電路產業(yè)規(guī)模持續(xù)增長,2014年至2019年期間復合增長率達到13.45%,2019年的產值已達到1494.8億。另一方面,隨著半導體制程節(jié)點的進一步縮小,每片晶圓的成本越來越高,特種氣體的消耗量也逐漸增多。邏輯芯片隨著制程節(jié)點的縮小,特種氣體消耗量增長率達20%,存儲芯片特種氣體消耗量增長率為1%。


之后再用四氟化碳進行清洗電路上的油墨再烘干,等工藝。正規(guī)四氟化碳高性價比的選擇

作為關鍵性原材料,特種電子氣體的產品質量對下游產業(yè)影響很大,例如對晶圓加工生產商而言,若生產用的氣體產品發(fā)生質量問題,將導致整條生產線產品報廢,造成巨額損失。因此,精密化程度非常高的大規(guī)模集成電路廠商對氣體供應商的選擇都會非常審慎和嚴格。國內外企業(yè)市場份額占比懸殊的主要緣由之一便是難以在短期內彌補的技術差距。特種電子氣體生產是一個系統工程,涉及到氣體的深度提純技術、痕量雜質分析檢測技術、氣瓶的內表面處理技術、尾氣的處理技術等。


江浙滬安全四氟化碳常溫常壓下穩(wěn)定,避免強氧化劑、易燃或可燃物。

半導體材料屬于高技術壁壘行業(yè),特別是晶圓制造材料,技術要求高,生產難度大。目前,半導體材料**產品大多集中在美國、日本、德國、韓國、中國臺灣等國家和地區(qū)生產商。國內由于起步晚,技術積累不足,整體處于相對落后的狀態(tài)。目前,國內半導體材料主要集中在中低端領域,**產品基本被國外生產商壟斷。如硅片,2017年全球五大硅片廠商占據了全球94%的市場份額。

近年來國內半導體材料生產商加大了研發(fā)投入,大力推進半導體材料的研發(fā)及生產,力爭實現國產替代。目前在部分細分領域,已經突破國外壟斷,實現規(guī)?;┴洝H鏑MP拋光材料的**企業(yè)安集科技,公司化學機械拋光液已在130-28nm技術節(jié)點實現規(guī)?;N售,主要應用于國內8英寸和12英寸主流晶圓產線;濺射靶材**江豐電子,16納米技術節(jié)點實現批量供貨,同時7納米技術節(jié)點也實現供貨。


四氟化碳和氧氣瓶在高溫下不反映,四氟化碳是現階段電子光學制造業(yè)中使用量較大的低溫等離子蝕刻工藝汽體,其高純度氣及四氟化碳高純度氣配高純氧氣的混合體,可市場應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢塑料薄膜原材料的蝕刻工藝。針對硅和二氧化硅管理體系,選用CF4-H2反映正離子刻蝕時,根據調整二種汽體的占比,能夠得到45:1的可選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅塑料薄膜時很有效。不良影響簡述危險因素類型:GB2.2類不燃氣體入侵方式:吸進身心健康傷害:吸進高濃的四氟化碳出現呼吸不暢、嘔吐等室息病癥。目前對于R14制冷劑的生產、銷售以及在新制冷設備上的初裝、售后設備上的再添加均沒有限制。

國內空分企業(yè)與特氣企業(yè)分明,業(yè)務上構筑各自壁壘。國內氣體公司包括氣體為的空分企業(yè),主要是以管道氣為主的現場制氣項目,可能更適合林德模式切入特種氣體,作為氣體綜合服務商的角色,進行空分和特氣資源的整合。作為空分巨頭,內生進行特氣技術和產品的開發(fā),難度相對較大且所需時間周期較長,未來更多或以業(yè)務合作或收購的模式開展相關業(yè)務,相關企業(yè)的優(yōu)勢在于資金實力和體量優(yōu)勢。特氣企業(yè)的優(yōu)勢在于對細化特氣產品的技術積淀,以及對相應產品在下游客戶的認證壁壘,目前來看,國內空分企業(yè)和特氣企業(yè)不存在直接的競爭。


然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產生氟化物。華東正規(guī)四氟化碳優(yōu)化價格

用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體及制冷劑。正規(guī)四氟化碳高性價比的選擇

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子蝕刻氣體,也可以廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產,鋁合金門窗制造、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。同時,由于四氟化碳的化學穩(wěn)定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業(yè);如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。正規(guī)四氟化碳高性價比的選擇