安全四氟化碳優(yōu)化價格

來源: 發(fā)布時間:2020-02-13

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子蝕刻氣體,也可以廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產(chǎn),鋁合金門窗制造、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。同時,由于四氟化碳的化學(xué)穩(wěn)定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業(yè);如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。安全四氟化碳優(yōu)化價格

根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù),2019 年硅晶圓的出貨面積為 118.1 億平方英寸,營收達(dá)112億美元,均為較高水平。2013-2018年半導(dǎo)體市場規(guī)模的平均增長率達(dá)8.9%,2020 年半導(dǎo)體下游需求可能會受**影響,但從中長期看,隨著 5G 技術(shù)、新能源汽車、云服務(wù)器等市場的增長,有望帶動行業(yè)進(jìn)入新的增長期。作為半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中占比第二高的材料,電子特氣的需求也有望不斷提升。邏輯芯片和存儲芯片為集成電路主要增長動力。根據(jù) WSTS 的數(shù)據(jù),集成電路是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中主要的市場,規(guī)模占比維持在 80%以上。


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2019-2025年中國四氟化碳市場調(diào)查研究及發(fā)展前景趨勢分析報告是對四氟化碳行業(yè)進(jìn)行的闡述和論證,對四氟化碳研究過程中所獲取的資料進(jìn)行系統(tǒng)的整理和分析,通過圖表、統(tǒng)計結(jié)果及文獻(xiàn)資料,或以縱向的發(fā)展過程,或橫向類別分析提出論點(diǎn)、分析論據(jù),進(jìn)行論證。2019-2025年中國四氟化碳市場調(diào)查研究及發(fā)展前景趨勢分析報告如實(shí)地反映了四氟化碳行業(yè)客觀情況,一切敘述、說明、推斷、引用恰如其分,文字、用詞表達(dá)準(zhǔn)確,概念表述科學(xué)化。



在常溫常壓下四氟化碳為無色無臭有輕微醚味的氣體,在空氣中不燃燒,具有可壓縮性,揮發(fā)性較高,是一種比較穩(wěn)定的有機(jī)化合物。但是在高溫時,或與可燃?xì)怏w一同燃燒時,會分解出的氟化物。

在900℃時,不與銅、鎳、鎢、鉬反應(yīng),*在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產(chǎn)生氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa時,水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。



然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產(chǎn)生氟化物。

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽氧氣的混合體,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-O2反應(yīng)離子刻蝕時,通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。



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四氟化碳不燃燒,有低毒性和窒息性。安全四氟化碳優(yōu)化價格

由碳與氟反應(yīng),或一氧化碳與氟反應(yīng),或碳化硅與氟反應(yīng),或氟石與石油焦在電爐里反應(yīng),或二氟二氯甲烷與氟化氫反應(yīng),或四氯化碳與氟化銀反應(yīng),或四氯化碳與氟化氫反應(yīng),都能生成四氟化碳。四氯化碳與氟化氫的反應(yīng)在填有氫氧化鉻的高溫鎳管中進(jìn)行,反應(yīng)后的氣體經(jīng)水洗、堿洗除去酸性氣體,再通過冷凍,用硅膠除去氣體中的水分,經(jīng)精餾而得成品。

預(yù)先稱取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的單質(zhì)硅粉,置于鎳盤中,使硅和碳化硅充分接觸后,將鎳盤放入蒙乃爾合金反應(yīng)管中,向反應(yīng)管內(nèi)通入氟氣,氟氣先和單質(zhì)硅反應(yīng),反應(yīng)放熱后,氟開始和碳化硅進(jìn)行反應(yīng),通入等體積的干燥氮?dú)庖韵♂尫鷼猓狗磻?yīng)繼續(xù)進(jìn)行,生成氣體通過液氮冷卻的鎳制捕集器冷凝,然后慢慢地氣化后,將其通過裝有氫氧化鈉溶液的洗氣瓶除去四氟化硅,隨后通過硅膠和五氧化二磷干燥塔得到**終產(chǎn)品。



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