高低溫試驗(yàn)箱怎么樣

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-08-30

本篇介紹專(zhuān)業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡(jiǎn)單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。試驗(yàn)箱有什么特點(diǎn)?合肥真萍科技告訴您。高低溫試驗(yàn)箱怎么樣

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下面為大家介紹一下石墨盤(pán)真空烤盤(pán)爐的用途和設(shè)計(jì)。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤(pán)爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤(pán)或石英盤(pán))上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1.后門(mén)設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2.降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開(kāi)啟,同時(shí)兩端降溫封頭開(kāi)啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過(guò)氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的。徐州大型試驗(yàn)箱合肥真萍科技建材為您提供專(zhuān)業(yè)的試驗(yàn)箱定制服務(wù)。

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真空烘箱是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點(diǎn)。1.長(zhǎng)方體工作室,使有效容積達(dá)到相當(dāng)大,微電腦溫度控制器,精確控溫。2.鋼化、防彈雙層玻璃門(mén)觀察工作室內(nèi)物體,一目了然。3.箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門(mén)封圈,確保箱內(nèi)高真空度4.工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。

電熱鼓風(fēng)烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車(chē)、航空、通訊塑膠、機(jī)械、食品、化工、化學(xué)品、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風(fēng)烤箱的技術(shù)參數(shù)。產(chǎn)品類(lèi)型:數(shù)顯微電腦控制電源電壓:AC220V±10%50Hz±2%溫控范圍:室溫+10℃-250℃溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng)率:≤±0.5℃溫度均勻度:≤±2℃輸入功率:500W內(nèi)膽尺寸(mm):W300×D300×H270外形尺寸(mm):W580×D480×H440載物托架:2塊定時(shí)范圍:0-9999分鐘試驗(yàn)箱如何發(fā)揮重要作用?合肥真萍告訴您。

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下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱,使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時(shí)更易。2.低液報(bào)警裝置,采用紅外液體感測(cè)器,能及時(shí)靈敏給出指令(當(dāng)HMDS液過(guò)低時(shí)發(fā)出報(bào)警及及時(shí)切斷工作起動(dòng)功能)3.溫度與PLC聯(lián)動(dòng)保護(hù)功能(當(dāng)PLC沒(méi)有啟動(dòng)程序時(shí),加溫功能啟動(dòng)不了,相反加溫功能啟動(dòng)時(shí),PLC程序不按正常走時(shí)也及時(shí)切斷工作功能,發(fā)出警報(bào))4.整個(gè)箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無(wú)縫焊接(避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對(duì)人體的傷害)使用試驗(yàn)箱能給人們帶來(lái)便利嗎?杭州高低溫恒定濕熱試驗(yàn)箱

試驗(yàn)箱的運(yùn)作原理是什么?高低溫試驗(yàn)箱怎么樣

使用高溫鐘罩爐有特定的操作方法,需按照標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)范進(jìn)行,下面是真萍科技的鐘罩爐的使用注意事項(xiàng)。在使用高溫鐘罩爐時(shí),其升溫要緩慢地用逐漸進(jìn)步電壓的方法進(jìn)行。留意不要超過(guò)安全溫度,避免焚毀電熱絲。將物料放入爐膛時(shí),切勿碰及熱電偶,因伸入爐膛內(nèi)的熱電偶熱端在高溫下易于折斷。將金屬以及其它礦藏放入高溫鐘罩爐爐內(nèi)加熱時(shí),有必要置于耐高溫的瓷坍渦或瓷皿中,或墊以耐火泥板或石棉板,避免與爐膛粘連在一起。不要讓高溫鐘罩爐受潮,以防漏電。高低溫試驗(yàn)箱怎么樣