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真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造，廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示，LCD,CMOS,IC，醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的技術(shù)指標(biāo)。1.無塵等級：Class100：（符合FED-STD209E標(biāo)準(zhǔn)：0.3um≤300個0.5≤100個）2.溫度范圍：+60℃~+250℃（極限溫度350℃）3.溫度均勻性：±2℃（空箱測試）4.溫度精確度：±1℃（空箱測試）5.設(shè)備型號規(guī)格:450*450*450；450*600*450；600*800*600；600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000;合肥真萍與您分享網(wǎng)帶爐發(fā)揮的重要作用。浙江大型網(wǎng)帶爐專賣

光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。安徽烘銀網(wǎng)帶爐批發(fā)選擇網(wǎng)帶爐應(yīng)該注意什么？合肥真萍科技告訴您。

真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造，廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示，LCD,CMOS,IC，醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.烘箱總體由箱體部分，電氣控制柜部分，電加熱部分，風(fēng)道部分，塵埃物過濾部分，N2進(jìn)氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，功能實用。2.外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵。3.內(nèi)膽材料：采進(jìn)口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺本身灰塵的產(chǎn)生。4.保溫材料：采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充，有效的防止了熱能浪費。5.電熱部分：采用進(jìn)口覆套式電熱器（SHEATHEDHEATER）無塵無氧化電熱發(fā)生器。6.風(fēng)道部分：整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A，(特殊風(fēng)道設(shè)計)過濾效果可達(dá)99.99%,Class100。

一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個數(shù)1個7.控溫點數(shù)2點8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度±1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度±6℃（恒溫800℃,1h）二、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護(hù)4.報警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報警保護(hù)5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min，在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。合肥真萍科技的網(wǎng)帶爐，值得推薦。

下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱，使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時更易。2.低液報警裝置，采用紅外液體感測器，能及時靈敏給出指令（當(dāng)HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能）3.溫度與PLC聯(lián)動保護(hù)功能（當(dāng)PLC沒有啟動程序時，加溫功能啟動不了，相反加溫功能啟動時，PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能，發(fā)出警報）4.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料，整體使用無縫焊接（避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害）網(wǎng)帶爐哪家好，推薦合肥真萍科技。浙江大型網(wǎng)帶爐專賣

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下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動度：0.5℃4.真空泵：油泵或無油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài)）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產(chǎn)品所需而定烘烤時間），為正常工作周期不含降溫時間（因降溫時間為常規(guī)降溫）。浙江大型網(wǎng)帶爐專賣