安徽哪里有試驗箱

來源: 發(fā)布時間:2022-09-03

下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設(shè)計。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點(diǎn)1.后門設(shè)計熱風(fēng)電機(jī)2.降溫時風(fēng)機(jī)開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的。試驗箱如何發(fā)揮重要作用呢?安徽哪里有試驗箱

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1.爐膛氣氛:2路空氣,流量計量程為7~70L/min,每路流量可調(diào)節(jié);2.排氣系統(tǒng):在爐膛頂部設(shè)置一個排氣囪,用于廢氣排放。二、傳動系統(tǒng)1.傳動方式:升降式2.傳動類型:電動推桿傳動3.容積:20L三、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu):無2.產(chǎn)品降溫:隨爐降溫四、安全保護(hù)1.升、降、停按鈕:載料臺的升、降、??刂?.報警指示:超溫、斷偶、過載、超程、偏差等聲光報警3.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min五、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測量:采用B分度熱偶測量2.控制方式:高性能移相調(diào)壓+SCR晶閘管模塊控制2.1當(dāng)測量溫度超過設(shè)定的安全值時,斷加熱,并報警2.2當(dāng)測量溫度超過目標(biāo)溫度達(dá)到限制偏差值時,報警3.控制儀表:采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多項報警保護(hù)功能。生產(chǎn)試驗箱制造試驗箱生產(chǎn)廠家哪家好?合肥真萍科技告訴您。

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使用高溫鐘罩爐有特定的操作方法,需按照標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)范進(jìn)行,下面是真萍科技的鐘罩爐的使用注意事項。在使用高溫鐘罩爐時,其升溫要緩慢地用逐漸進(jìn)步電壓的方法進(jìn)行。留意不要超過安全溫度,避免焚毀電熱絲。將物料放入爐膛時,切勿碰及熱電偶,因伸入爐膛內(nèi)的熱電偶熱端在高溫下易于折斷。將金屬以及其它礦藏放入高溫鐘罩爐爐內(nèi)加熱時,有必要置于耐高溫的瓷坍渦或瓷皿中,或墊以耐火泥板或石棉板,避免與爐膛粘連在一起。不要讓高溫鐘罩爐受潮,以防漏電。

下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規(guī)降溫)。試驗箱如何選擇?合肥真萍科技告訴您。

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下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱,使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時更易。2.低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當(dāng)HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能)3.溫度與PLC聯(lián)動保護(hù)功能(當(dāng)PLC沒有啟動程序時,加溫功能啟動不了,相反加溫功能啟動時,PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能,發(fā)出警報)4.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無縫焊接(避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害)試驗箱廠家直銷定制,價格從優(yōu)。高低溫低壓試驗箱多少錢

試驗箱怎樣使用?合肥真萍告訴您。安徽哪里有試驗箱

無氧干燥箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。下面為大家簡單介紹一下無氧干燥箱。1.技術(shù)指標(biāo)與基本配置:1.1使用溫度:RT~260℃,極限溫度:300℃;1.2爐膛腔數(shù):2個,上下布置;1.3爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:K分度1.4溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀;2.氧含量(配氧分析儀):2.1高溫狀態(tài)氧含量:≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量:≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度:±1℃;2.3溫度均勻度:±2%℃(260℃平臺);安徽哪里有試驗箱

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