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渦輪分子泵操作程序
由于渦輪分子泵的種類和型號(hào)是多種多樣的，每種泵的操作方式由制造廠家提供，渦輪分子泵的操作*簡單、*便宜的方法是同時(shí)啟動(dòng)渦輪分子泵和前級(jí)泵，當(dāng)渦輪分子泵加速到正常轉(zhuǎn)速時(shí)，同時(shí)也預(yù)抽完了該系統(tǒng)，在此初始高壓強(qiáng)預(yù)抽階段，油蒸汽的返流是不可能的。因?yàn)檫@時(shí)系統(tǒng)內(nèi)氣體處于粘滯流或?qū)恿鳡顟B(tài)，排出氣體的密度大，可阻擋任何碳?xì)浠衔锏姆肿酉驕u輪分子泵方向返流。當(dāng)達(dá)到分子流態(tài)時(shí)，渦輪分子泵已進(jìn)入正常速度運(yùn)轉(zhuǎn)，在泵高壓縮比的情況下運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，就可防止了油蒸汽的返流。
渦輪分子泵的前級(jí)泵由一個(gè)電紐開關(guān)控制，兩泵可同時(shí)啟動(dòng)和停車。
在某些快速循環(huán)的系統(tǒng)中，也沒有足夠的時(shí)間，使渦輪分子泵在每一個(gè)循環(huán)周期內(nèi)，由于時(shí)間短來不及達(dá)到正常的運(yùn)轉(zhuǎn)速度。在這種情況下，就不能隨工作循環(huán)去周期性地開啟渦輪分子泵。此時(shí)渦輪分子泵就不得不連續(xù)的運(yùn)轉(zhuǎn)，前級(jí)泵粗抽真空室，很快就能達(dá)到渦輪分子泵的啟動(dòng)壓力，就可以很快打開主閥，渦輪分子泵可以在相對高的壓力下工作（節(jié)約了時(shí)間）也可使粗抽管道返流降到*低程度。
如果系統(tǒng)需要有粗抽管道，操作不當(dāng)也有可能出現(xiàn)返流問題，若是將系統(tǒng)粗抽到太低的壓力，粗抽管道內(nèi)就會(huì)出現(xiàn)分子流態(tài)。則粗抽泵的油蒸汽就有可能返流到真空室。當(dāng)壓力低于100～200 μmHg（13.33～26.66Pa）時(shí)，就會(huì)出現(xiàn)這種返流。
當(dāng)真空室粗抽適度后就關(guān)閉粗抽閥門，而粗抽泵還在繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，粗抽管道內(nèi)的壓力降低了會(huì)出現(xiàn)分子流狀態(tài)。碳?xì)浠衔飼?huì)出現(xiàn)返流，并凝結(jié)在粗抽閥蓋上或閥的密封處。當(dāng)粗抽閥再打開時(shí)，這些凝結(jié)物就有可能離開閥蓋或密封處而返流向真空室一側(cè)。在下一個(gè)高真空循環(huán)周期中這些油蒸汽就會(huì)遷移到真空室內(nèi)而遭到污染。
為了解決粗抽造成的返流問題，主要是在前級(jí)管道中避免分子流態(tài)的發(fā)生，以防油蒸汽返流。當(dāng)前級(jí)管道中達(dá)到前級(jí)壓力時(shí)，關(guān)閉粗抽閥對粗抽管道內(nèi)充氣（用一個(gè)充氣閥和一個(gè)可控漏孔），然后關(guān)閉粗抽泵。因而粗抽管道內(nèi)就不可能出現(xiàn)分子流態(tài)，防止了返流。
使用渦輪分子泵時(shí)，通常可不用粗抽管道。如在快速循環(huán)的系統(tǒng)中，不設(shè)粗抽管道，可以選用那些耐大氣沖擊的渦輪分子泵。能直接從大氣壓力下對真空室進(jìn)行抽真空。
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