螺桿真空泵

由于水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中指示的方向順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的上部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的下部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。螺桿真空泵

羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。VP0645真空泵哪里有賣(mài)真空泵抽速的抽氣量是彌補(bǔ)漏氣率的參數(shù)。

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備。傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，通過(guò)同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開(kāi)有冷卻水通道，用來(lái)冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤(rùn)滑，軸承和殼體內(nèi)部通過(guò)密封件來(lái)密封以達(dá)到無(wú)油的效果。干式螺桿真空泵同無(wú)油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤(rùn)滑上結(jié)構(gòu)類(lèi)似，一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上，目前通用的是直連電機(jī)，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng)。

當(dāng)真空泵中的葉輪順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵。

往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)的活塞，活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)來(lái)完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件，以及機(jī)座、曲軸箱、動(dòng)密封和靜密封等輔助部件。運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而形成抽氣過(guò)程，此時(shí)被抽容器中的氣體經(jīng)過(guò)吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到右位置時(shí)，氣缸左腔內(nèi)就完全充滿(mǎn)了氣體。液環(huán)泵屬于粗真空泵，在我國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著很大的市場(chǎng)。螺桿真空泵

真空泵泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染。螺桿真空泵

在實(shí)際應(yīng)用中，微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的：一類(lèi)是排氣很順暢，直通大氣；另一類(lèi)是排氣阻力較大，比如在排氣管路上有閥、細(xì)小彎管、大阻尼傳感器、非專(zhuān)門(mén)用的消音器、在液面以下排氣、氣體排往密閉或半密閉容器等。在現(xiàn)代設(shè)計(jì)制造中，把面對(duì)不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對(duì)待。"排氣口允許較大阻力Por值"這一參數(shù)就是標(biāo)定泵的排氣能力，讓我們可以用嚴(yán)格的技術(shù)手段確定選型是否恰當(dāng)。簡(jiǎn)單地說(shuō)，對(duì)于排氣阻力大的系統(tǒng)，我們的選型范圍是：FM系列、FAA系列、PCF系列；對(duì)于排氣阻力小的系統(tǒng)，選型范圍是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。螺桿真空泵

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