吉林手動探針臺

手動探針臺規(guī)格描述（以實驗室常見的儀準ADVANCED八寸，六寸探針臺為例）：探針臺載物臺平整度：5μm探針臺右側標配顯微鏡升降機構，可抬高顯微鏡，便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側標配升降器,可快速升降臺面8mm，并具備鎖定功能探針臺右下方標配精調旋轉輪，可微調控制臺面升降范圍25mm（客戶有特殊需求，可以增大范圍），精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式，中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉，旋轉角度可微調，微調精度為0.1度，標配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動，移動范圍為150mmor200mm，移動精度為1μm載物臺具備快速導入導出功能。探針卡沒焊到位，是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮，使針尖偏離壓點區(qū)。吉林手動探針臺

探針臺工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態(tài)，所以對需要調整的工作臺應有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓的專業(yè)人員完成。浙江全自動探針臺要多少錢探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置，檢查針的牢固性。

“精確度”是探測儀器基本的指針，涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個層面。首先，必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片，載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅動晶圓托盤，并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位；其次，必須具備動態(tài)監(jiān)控機制，確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性；后，必須對高產(chǎn)出的進階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結果。整體而言，針腳和墊片之間的相應精確度應在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮，為了強化更小晶粒定位的精確性，需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作，以避免無謂的產(chǎn)出損失。

探針測試臺x-y工作臺的分類：縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類，即：平面電機型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大，所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論，應區(qū)別對待。半導體設備價值普遍較高，一條先進半導體生產(chǎn)線投資中，設備價值約占總投資規(guī)模的75%以上。

電纜安裝探針既可以手動使用，也可以與多軸探針定位器一起使用。與典型的探針臺不同，這些探針足夠大，操作員可以手動使用，非常可靠。探針定位器的位置精度和可重復性更高，而且本身可以放置，便于進行測試。與探針臺不同，同軸電纜安裝探針和定位器可以在工程師或技術人員的典型測試臺上用作網(wǎng)絡分析儀、信號發(fā)生器、頻譜分析儀、示波器和其他用于射頻/微波、毫米波和高速數(shù)字應用的配件。電纜安裝射頻探針的占位面積小、無損壞，并且具有非侵入式設計，可在高密度應用中進行測試，例如天線陣列、超材料、分形天線、微帶傳輸線、緊湊組件以及具有微小表面安裝包裝組件的印刷電路板。通常探針是由鎢制成的，它如果長期不用，針尖要形起氧化。吉林手動探針臺

探針臺是半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝等行業(yè)的測試設備。吉林手動探針臺

自動化探針臺搭配測試機能夠對出廠晶圓片的電氣參數(shù)、光學參數(shù)進行測試，根據(jù)測試結果評定上一道工序的工藝質量，并指導下一道工序。從全球市場看，半導體探針臺設備行業(yè)集中度較高，目前主要由國外廠商主導，行業(yè)呈現(xiàn)較高壟斷的競爭格局。鑒于自動化探針臺是光、機、電高度一體化的產(chǎn)品，國內(nèi)在這一方向研究幾乎為零，市場主要被一些國外的大公司壟斷。2017年投產(chǎn)X系列半自動探針臺并成功推向市場，成功填補國內(nèi)該研發(fā)生產(chǎn)領域的空白。吉林手動探針臺

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