吉林高分辨率灰度光刻3D微納加工

來源: 發(fā)布時間:2022-01-20

現(xiàn)代光電設備在系統(tǒng)的復雜化與小型化得到了巨大改進。一種應用需求為使用定制的透鏡陣列來準直和投射來自線性排列的邊緣發(fā)射激光二極管以形成復合激光線。消費類相機和投影模塊中的微型光學元件通常需要多個元件才能滿足性能規(guī)格。復雜的組裝對于需要組合成具有微米間距的線性陣列提出了額外的挑戰(zhàn)。塑料模型元件可以提供特殊的曲率需求,盡管可用的折射率會導致高度彎曲的表面產生球面像差,從而抑制準直性能。硅灰度光刻技術可以在單個高折射率表面上實現(xiàn)復雜的透鏡形狀,同時還可以在多個孔之間提供精確的對準和間距。多孔徑透鏡陣列設計用于沿快軸準直激光,并在慢軸上提供±3°發(fā)散角。陣列中的每個元素還包含偏心和衍射項,以偏置主光線角并與發(fā)散的光錐重疊以形成連續(xù)的激光線。Nanoscribe的雙光子灰度光刻激光直寫技術(2GL ?)可用于工業(yè)領域2.5D微納米結構原型母版制作。吉林高分辨率灰度光刻3D微納加工

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作為歐盟光子計算項目PHOENICS(2020Horizont歐盟地平線科研項目)的成員,Nanoscribe攜手德國明斯特大學,與全球光子計算領域的**一起,展開了為期四年的科研項目,以實現(xiàn)超高寬帶的高能效千兆計算處理能力,用于新一代人工智能(AI)應用的計算平臺。Nanoscribe將為光子封裝技術開發(fā)新的硬件和軟件解決方案。各種不同光子平臺都有著不同類型的光子耦合接口,而這正是光子封裝系統(tǒng)工業(yè)化的主要困難和挑戰(zhàn)。雙光子無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX作為硬件載體框架,并計劃建立一個先進的平臺,成為下一代光子封裝技術的行業(yè)榜樣。湖南灰度光刻無掩光刻Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司帶您一起了解雙光子灰度光刻系統(tǒng)的應用。

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QuantumXshape是一款真正意義上的全能機型?;陔p光子聚合技術,該激光直寫系統(tǒng)不只是快速成型制作的特別好的機型,同時適用于基于晶圓上的任何亞微米精度的2.5D及3D形狀的規(guī)?;a。QuantumXshape在3D微納加工領域非常出色的精度,比肩于Nanoscribe公司在表面結構應用上突破性的雙光子灰度光刻(2GL®)。全新的QuantumXshape的高精度有賴于其高能力的體素調制比和超精細處理網格,從而實現(xiàn)亞體素的尺寸控制。此外,受益于雙光子灰度光刻對體素的微調,該系統(tǒng)在表面微結構的制作上可達到超光滑,同時保持高精度的形狀控制。

微透鏡陣列對表面質量和形貌要求比較高,因此對制備工藝提出了很嚴格的要求??蒲腥藛T提出了許多方法來實現(xiàn)具有高表面質量的微透鏡陣列的高效制備,比如針對柔性材料的熱壓印成型方法實現(xiàn)了大面積微透鏡陣列;利用灰度光刻工藝和轉印方法在柔性的聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)襯底上實現(xiàn)了微透鏡陣列;利用光刻和熱回流方式實現(xiàn)了基于聚二甲基硅氧烷材料的微透鏡陣列等。上述方法可以實現(xiàn)具有較高表面質量的微透鏡陣列,但通常需要使用復雜的工藝和步驟。此外,這些微透鏡基質通常為軟質材料,材料本身的機械抗性和耐酸堿的能力比較差。相對而言,透明硬脆材料例如石英、藍寶石等由于其極高的硬度和極強的化學穩(wěn)定性,在光學窗口、光學元件等方面的應用更加廣。因此,如何制備具有高表面質量的透明硬脆材料微透鏡陣列等微光學元件成為研究人員研究的焦點。Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)Quantum X適用于制造微光學衍射以及折射元件。

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德國Nanoscribe公司在2019慕尼黑光博會展 LASER World of Photonics上發(fā)布了全新工業(yè)級雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng) Quantum X ,并榮獲創(chuàng)新獎。該系統(tǒng)是世界first基于雙光子灰度光刻技術(2GL®)的精密加工微納米打印系統(tǒng),可應用于折射和衍射微光學。該系統(tǒng)的面世表示著Nanoscribe已進軍現(xiàn)代微加工工業(yè)領域。具有全自動化系統(tǒng)的Quantum X無論從外形或者使用體驗上都更符合現(xiàn)代工業(yè)需求。這項技術的關鍵是在高速掃描下使激光功率調制和動態(tài)聚焦定位達到準同步,這種智能方法能夠輕松控制每個掃描平面的體素大小,并在不影響速度的情況下,使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面。該技術將灰度光刻的性能與雙光子聚合的精確性和靈活性結合,使其同時具備高速打印,完全設計自由度和超高精度的特點。從而滿足了復雜增材制造對于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求。如需了解德國Nanoscribe雙光子灰度光刻技術,請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。吉林德國灰度光刻無掩光刻

Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司為您講解高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng)。吉林高分辨率灰度光刻3D微納加工

納米紋理在納米技術中起著越來越重要的作用。近期的研究表明,可以通過空間調節(jié)其納米級像素的高度來進一步增強其功能。但是,實現(xiàn)該概念非常具有挑戰(zhàn)性,因為它需要對納米像素進行“灰度”打印,其中,納米像素高度的精度需要控制在幾納米之內。只有少數(shù)幾種方法(例如,灰度光刻或掃描束光刻)可以滿足這種嚴格的要求,但通常其成本較高,并且它們中的大多數(shù)需要化學開發(fā)過程。因此,具有高垂直和水平分辨率的可重構灰度納米像素打印技術受到高度追捧。吉林高分辨率灰度光刻3D微納加工

納糯三維科技(上海)有限公司是一家作為Nanoscribe在中國全資子公司,納糯三維科技(上海)有限公司可進行三維打印科技領域內的技術開發(fā),技術轉讓,技術咨詢,技術服務,三維打印設備,光電機一體化設備和相關零配件的批發(fā),進出口,傭金代理,并提供相關配套服務,貿易信息咨詢,企業(yè)管理咨詢。的公司,是一家集研發(fā)、設計、生產和銷售為一體的專業(yè)化公司。納糯三維深耕行業(yè)多年,始終以客戶的需求為向導,為客戶提供***的PPGT2,Quantum X系列,雙光子微納激光直寫系統(tǒng),雙光子微納光刻系統(tǒng)。納糯三維致力于把技術上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產品上的貼心,為用戶帶來良好體驗。納糯三維始終關注自身,在風云變化的時代,對自身的建設毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使納糯三維在行業(yè)的從容而自信。