浙江零界高效異質(zhì)結(jié)PECVD

異質(zhì)結(jié)電池HJT是HeterojunctionTechnology的縮寫，是一種N型單晶雙面電池，具有工藝簡(jiǎn)單、發(fā)電量高、度電成本低的優(yōu)勢(shì)。異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池使用晶體硅片進(jìn)行載流子傳輸和吸收，并使用非晶/或微晶薄硅層進(jìn)行鈍化和結(jié)的形成。頂部電極由透明導(dǎo)電氧化物（TCO）層和金屬網(wǎng)格組成。異質(zhì)結(jié)硅太陽(yáng)能電池已經(jīng)吸引了很多人的注意，因?yàn)樗鼈兛梢赃_(dá)到很高的轉(zhuǎn)換效率，可達(dá)26.3%，由隆基團(tuán)隊(duì)對(duì)HJT極限效率進(jìn)行更新為28.5%，同時(shí)使用低溫度加工，通常整個(gè)過(guò)程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓，同時(shí)保持高產(chǎn)量。釜川高效異質(zhì)結(jié)電池濕法制絨設(shè)備全線采用臭氧工藝，降低了運(yùn)營(yíng)材料成本。浙江零界高效異質(zhì)結(jié)PECVD

光伏異質(zhì)結(jié)電池整線裝備，產(chǎn)業(yè)機(jī)遇：方向清晰：HJT技術(shù)工藝流程短、功率衰減低、輸出功率穩(wěn)定、雙面發(fā)電增益高、未來(lái)主流技術(shù)方向；時(shí)間明確：HJT平均量產(chǎn)效率已超過(guò)PERC瓶頸（25%），行業(yè)對(duì)HJT電池投入持續(xù)加大，電池商業(yè)化已逐漸成熟；機(jī)遇可期：設(shè)備與耗材是HJT規(guī)?；年P(guān)鍵，降本增效是不變的主題，具備HJT整線整合能力的供應(yīng)商優(yōu)勢(shì)明顯。當(dāng)前HJT生產(chǎn)成本約：硅片占比約50%，銀漿占比約25%，靶材約6%左右；當(dāng)前HJT設(shè)備成本約：清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、絲網(wǎng)印刷，設(shè)備投資額占比分別約10%、50%、25%和15%。浙江零界高效異質(zhì)結(jié)PECVD光伏異質(zhì)結(jié)可以應(yīng)用在各種表面上，如玻璃、塑料等，具有廣泛的應(yīng)用前景。

高效異質(zhì)結(jié)電池整線解決方案，TCO的作用：在形成a-Si:H/c-Si異質(zhì)結(jié)后，電池被用一個(gè)~80納米的透明導(dǎo)電氧化物接觸。~80納米薄的透明導(dǎo)電氧化物（TCO）層和前面的金屬網(wǎng)格。透明導(dǎo)電氧化物通常是摻有Sn的InO（ITO）或摻有Al的ZnO。通常，TCO也被用來(lái)在電池的背面形成一個(gè)介電鏡。因此，為了理解和優(yōu)化整個(gè)a-Si:H/c-Si太陽(yáng)能電池，還必須考慮TCO對(duì)電池光電性能的影響。由于其高摻雜度，TCO的電子行為就像一個(gè)電荷載流子遷移率相當(dāng)?shù)偷慕饘?，而TCO/a-Si:H結(jié)的電子行為通常被假定為類似于金屬-半導(dǎo)體結(jié)。  TCO的功函數(shù)對(duì)TCO/a-Si:H/c-Si結(jié)構(gòu)中的帶狀排列以及電荷載流子在異質(zhì)結(jié)上的傳輸起著重要作用。此外，TCO在大約10納米薄的a-Si:H上的沉積通常采用濺射工藝；在此，應(yīng)該考慮到在該濺射工藝中損壞脆弱的a-Si:H/c-Si界面的可能性，并且在工藝優(yōu)化中必須考慮到。

光伏異質(zhì)結(jié)和PN結(jié)都是半導(dǎo)體器件中常見(jiàn)的結(jié)構(gòu)，但它們的區(qū)別在于其形成的原因和應(yīng)用場(chǎng)景。PN結(jié)是由兩種不同摻雜的半導(dǎo)體材料（P型和N型）形成的結(jié)構(gòu)。在PN結(jié)中，P型半導(dǎo)體中的電子和N型半導(dǎo)體中的空穴會(huì)在結(jié)區(qū)域發(fā)生復(fù)合，形成一個(gè)空穴富集區(qū)和一個(gè)電子富集區(qū)，從而形成一個(gè)電勢(shì)壘。PN結(jié)的主要應(yīng)用包括二極管、光電二極管等。光伏異質(zhì)結(jié)是由兩種不同材料的半導(dǎo)體形成的結(jié)構(gòu)，其中一種材料的帶隙比另一種材料大。在光伏異質(zhì)結(jié)中，當(dāng)光子進(jìn)入結(jié)區(qū)域時(shí)，會(huì)激發(fā)出電子和空穴，從而形成電子空穴對(duì)。由于材料的帶隙不同，電子和空穴會(huì)在結(jié)區(qū)域形成電勢(shì)壘，從而產(chǎn)生電壓和電流。光伏異質(zhì)結(jié)的主要應(yīng)用是太陽(yáng)能電池。因此，PN結(jié)和光伏異質(zhì)結(jié)的區(qū)別在于其形成的原因和應(yīng)用場(chǎng)景。PN結(jié)主要用于電子學(xué)器件，而光伏異質(zhì)結(jié)則主要用于光電器件。異質(zhì)結(jié)電池能夠提供更高的能量轉(zhuǎn)換效率，有助于降低光伏發(fā)電的成本，提高電力系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)性。

高效異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)流程中使用的設(shè)備，PECVD 1.等離子化學(xué)氣相沉積（PlasmaEnhancedCVD，PECVD）是指利用輝光放電的物理作用來(lái)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)的CVD技術(shù)；2.異質(zhì)結(jié)非晶硅薄膜沉積是采用RPECVD技術(shù)，射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（RFPlasma-EnhancedChemicalVaporDeposition,RPECVD），是PECVD的另外一種技術(shù)。它是利用射頻能量使反應(yīng)氣體等離子化。優(yōu)點(diǎn)：低溫成膜（300-350℃），對(duì)基片影響小，避免了高溫帶來(lái)的膜層晶粒粗大；l低壓下形成薄膜厚度及成分較均勻、膜層致密、內(nèi)應(yīng)力小，不易產(chǎn)生裂紋；l擴(kuò)大CVD應(yīng)用范圍，特別是在不同基片上制備金屬薄膜、非晶態(tài)無(wú)機(jī)薄膜等，薄膜的附著力大于普通CVD。異質(zhì)結(jié)電池提升了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率、良率和產(chǎn)能，并極大降低了生產(chǎn)成本。浙江零界高效異質(zhì)結(jié)PECVD

釜川提供高效異質(zhì)結(jié)電池整線設(shè)備濕法制絨設(shè)備、PVD、PECVD、電鍍銅設(shè)備等。浙江零界高效異質(zhì)結(jié)PECVD

高效異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池使用晶體硅片進(jìn)行載流子傳輸和吸收，并使用非晶/或微晶薄硅層進(jìn)行鈍化和結(jié)的形成。頂部電極由透明導(dǎo)電氧化物（TCO）層和金屬網(wǎng)格組成。異質(zhì)結(jié)硅太陽(yáng)能電池已經(jīng)吸引了很多人的注意，因?yàn)樗鼈兛梢赃_(dá)到很高的轉(zhuǎn)換效率，可達(dá)26.3%，相關(guān)團(tuán)隊(duì)對(duì)HJT極限效率進(jìn)行更新為28.5%，同時(shí)使用低溫度加工，通常整個(gè)過(guò)程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓，同時(shí)保持高產(chǎn)量。異質(zhì)結(jié)電池具備光電轉(zhuǎn)化效率提升潛力高、更大的降成本空間、更高的雙面率、可有效降低熱損失、更低的光致衰減、制備工藝簡(jiǎn)單等特點(diǎn)，為光伏領(lǐng)域帶來(lái)了新的希望。浙江零界高效異質(zhì)結(jié)PECVD