雙級(jí)羅茨真空泵代理公司

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-10-07

分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場(chǎng)合的需要。德邁克節(jié)能科技,依托強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù),推動(dòng)真空泵行業(yè)向更加綠色、高效的方向發(fā)展。雙級(jí)羅茨真空泵代理公司

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旋片式真空泵具有結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動(dòng)小等優(yōu)點(diǎn)。所以,它適用于作擴(kuò)散泵的前級(jí)泵,而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用。例如:質(zhì)譜儀器,冰箱流水線,真空冷凍干燥機(jī)等。羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?,須有前?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi),有較大的抽速,對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機(jī)組的主泵,需要用前級(jí)泵輔助。如:水環(huán)式真空泵,滑閥真空泵,立式無(wú)油真空泵,分子真空泵等。國(guó)內(nèi)比較大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為20000L/S?;ち_茨真空泵代理公司真空泵油是一種專(zhuān)門(mén)為真空設(shè)備上的真空泵而研制的潤(rùn)滑油,分礦物油和合成油兩種。

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國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨真空泵進(jìn)展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì),實(shí)際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn),所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。

擴(kuò)散泵:以低壓高速蒸汽流(油或汞等蒸汽)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作??煞譃椋孩僮詢艋瘮U(kuò)散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專(zhuān)門(mén)的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵②分餾式擴(kuò)散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強(qiáng)較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強(qiáng)較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴,它是一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。真空泵節(jié)能先鋒,就選德邁克。

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真空泵油的光滑性:摩擦面的磨擦磨損、外表疲倦磨損以及腐蝕磨損等,都與光滑條件有關(guān)。表現(xiàn)佳的真空泵油有利于抑止腐蝕磨損;能夠有效地減輕粘著磨損和外表疲倦磨損;流體光滑劑對(duì)摩擦面具有清洗作用,也可減輕磨擦磨損。降低摩擦阻力以節(jié)約能源,減少磨損,以延長(zhǎng)機(jī)械壽命。真空泵油的降溫冷卻性能降低摩擦面的溫度是光滑的一個(gè)重要作用。摩擦面運(yùn)動(dòng)時(shí)必需克制摩擦力而作功,耗費(fèi)在克制摩擦力上的功全部轉(zhuǎn)化為熱量,其結(jié)果將惹起摩擦面溫度上升。摩擦熱的大小與光滑狀態(tài)有關(guān),粘度高的熱量比較大,粘度低的熱量比較小,而邊境摩擦的熱量則介于兩者之間。由此可見(jiàn),用適宜粘度的真空泵油不只能夠完成液體光滑,減少摩擦熱的產(chǎn)生,而且還能夠?qū)⒛Σ翢峒皶r(shí)地帶出泵體外。價(jià)格實(shí)惠不會(huì)卡泵的干泵。單級(jí)旋片式真空泵供應(yīng)企業(yè)

不斷追求創(chuàng)新,德邁克真空泵在節(jié)能技術(shù)方面取得重大突破,確保每一次抽氣操作都能實(shí)現(xiàn)更高的能效比。雙級(jí)羅茨真空泵代理公司

水真空環(huán)泵和其它類(lèi)型的機(jī)械真空泵相比有如下優(yōu)點(diǎn):水真空環(huán)泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,制造精度要求不高,容易加工。另外它結(jié)構(gòu)緊湊,泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高,一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián),無(wú)須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。而且壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過(guò)程溫度變化很小。由于泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬磨擦表面,無(wú)須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑,而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來(lái)完成。吸氣均勻,工作平穩(wěn)可靠,操作簡(jiǎn)單,維修方便。雙級(jí)羅茨真空泵代理公司