顯微式激光干涉儀廠家有哪些

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-09-17

激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動(dòng)靈活的特點(diǎn),用12v電源,其耗電量極低,干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步、不需要切換,任何人都能簡(jiǎn)單操作,非常適合大批量快速檢測(cè)。激光干涉儀成為眾多光學(xué)冷加工廠商的夢(mèng)想與追求,擁有一臺(tái)激光干涉儀,就擁有世界先進(jìn)的檢測(cè)手段,就擁有令人信服的檢測(cè)結(jié)果,就能證明可以生產(chǎn)先進(jìn)的產(chǎn)品。激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量,普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域,已經(jīng)成為人類認(rèn)知世界的重要工具。激光干涉儀的維護(hù):儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)。顯微式激光干涉儀廠家有哪些

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激光干涉儀作為數(shù)控機(jī)床精度常用的檢測(cè)工具,能對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行線性測(cè)量、直線度測(cè)量、平面度測(cè)量、角度測(cè)量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進(jìn)行測(cè)量。其中線性測(cè)量功能通過(guò)機(jī)床運(yùn)行一段直線插補(bǔ)程序,能檢測(cè)線性坐標(biāo)軸的定位精度、重復(fù)定位精度,反向間隙等其線性測(cè)長(zhǎng)精度可達(dá)到±0.5ppm(0~40℃),線性測(cè)量長(zhǎng)可以達(dá)到80m,較高線性測(cè)長(zhǎng)分辨率0.001μm,較高測(cè)量速度240m/min。對(duì)于不同的數(shù)控機(jī)床,檢測(cè)的曲線各不相同,其完善的軟件功能通過(guò)對(duì)不同的曲線進(jìn)行分析,能夠?qū)⒂绊憴C(jī)床精度的原因列出來(lái),數(shù)控機(jī)床維修人員能夠很直觀通過(guò)分析圖形和數(shù)據(jù),了解到機(jī)床在哪些方面存在誤差,這樣就為調(diào)整和數(shù)控機(jī)床維修提供了充分的數(shù)據(jù)支持和指導(dǎo),縮短數(shù)控機(jī)床維修時(shí)間,提高數(shù)控機(jī)床維修的效率。湖南機(jī)床設(shè)備激光干涉儀用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測(cè)。

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激光干涉儀具有有線性測(cè)量鏡組、角度測(cè)量鏡組、平面度測(cè)量組件、直線度測(cè)量組件、垂直度測(cè)量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等,實(shí)際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測(cè)量需要。比如角度測(cè)量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測(cè)量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。同時(shí),激光干涉儀各個(gè)測(cè)量鏡組也可以在別的測(cè)量工作中使用,常見(jiàn)的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達(dá)到改變光路,方便測(cè)量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測(cè)量技巧,在滿足測(cè)量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。

隨著數(shù)控機(jī)床應(yīng)用的普及,采用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測(cè)已經(jīng)成為目前公認(rèn)的高效、高精度的檢測(cè)方法。激光干涉儀測(cè)量原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測(cè)量光束)則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒(méi)有變化時(shí),探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的工具。

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激光干涉儀初步調(diào)整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過(guò)“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時(shí)透過(guò)“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶,若在此過(guò)程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個(gè)過(guò)程,往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。激光干涉儀配有各種附件。湖南機(jī)床設(shè)備激光干涉儀

激光干涉儀可直接用于高精度、大 尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。顯微式激光干涉儀廠家有哪些

激光干涉儀常見(jiàn)故障及解決方法:開(kāi)機(jī)無(wú)顯示:1、是否接上電源打開(kāi)開(kāi)關(guān)。2、顯示器是否切換到BNC模式。視場(chǎng)不完整:1、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭是否旋到位。2、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭星點(diǎn)是否與尋星窗口中間的黑點(diǎn)重合。高度調(diào)節(jié)不明顯:檢查高度調(diào)節(jié)旋鈕是否鎖緊。干涉條紋暗:調(diào)節(jié)干涉儀上的亮度調(diào)節(jié)旋鈕。干涉條紋亂:檢查標(biāo)準(zhǔn)鏡頭與被測(cè)透鏡表面是否干凈。被測(cè)鏡片星點(diǎn)像找不到:調(diào)整鏡片的中心,看鏡片是否放置的傾斜。條紋亮暗閃動(dòng):調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的圓形圖像。顯微式激光干涉儀廠家有哪些