高采樣速率光譜共焦的原理

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-08-28

光譜共焦技術(shù)是一種高精度、非接觸的光學(xué)測(cè)量技術(shù),將軸向距離與波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立了一套編碼規(guī)則。作為一種亞微米級(jí)、迅速精確測(cè)量的傳感器,基于光譜共焦技術(shù)的傳感器已廣應(yīng)用于表面微觀形狀 、厚度測(cè)量 、位移測(cè)量、在線監(jiān)控和過程管控等工業(yè)測(cè)量領(lǐng)域。隨著光譜共焦傳感技術(shù)的不斷發(fā)展,它在微電子、線寬測(cè)量、納米測(cè)試、超精密幾何量測(cè)量和其他領(lǐng)域的應(yīng)用將會(huì)更加廣。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來,無(wú)需軸向掃描,可以直接利用波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)軸向距離信息,大幅提高測(cè)量速度。光譜共焦技術(shù)在醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用;高采樣速率光譜共焦的原理

高采樣速率光譜共焦的原理,光譜共焦

光譜共焦傳感器可以提供結(jié)合高精度和高速的新現(xiàn)代技術(shù)。這些特性使這些多功能距離和位移傳感器非常適合工業(yè) 4.0 的高要求。在工業(yè) 4.0 的世界中,傳感器必須能夠進(jìn)行高速測(cè)量并提供高精度結(jié)果,以確??煽康馁|(zhì)量保證。光學(xué)測(cè)量技術(shù)是非接觸式的,于目標(biāo)材料分開和表面特性,因此它們對(duì)生產(chǎn)和檢測(cè)過程變得越來越重要。這是“實(shí)時(shí)”生產(chǎn)過程中的一個(gè)主要優(yōu)勢(shì),在這種過程中,觸覺測(cè)量技術(shù)正在發(fā)揮其極限,尤其是當(dāng)目標(biāo)位于難以接近的區(qū)域時(shí)。光譜共焦傳感器提供突破性的技術(shù)、高精度和高速度。此外,共焦色差測(cè)量技術(shù)允許進(jìn)行距離測(cè)量、透明材料的多層厚度測(cè)量、強(qiáng)度評(píng)估以及鉆孔和凹槽內(nèi)的測(cè)量。測(cè)量過程是無(wú)磨損的、非接觸式的,并且實(shí)際上與表面特性無(wú)關(guān)。由于測(cè)量光斑尺寸極小 ,即使是非常小的物體也能被檢測(cè)到。因此,共焦色度測(cè)量技術(shù)適用于在線質(zhì)量控制。高精度光譜共焦安裝注意事項(xiàng)光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同材料的位移測(cè)量,包括金屬、陶瓷、塑料等;

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譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測(cè)量?jī)x器,主要應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究和質(zhì)量控制等領(lǐng)域。特別是在工業(yè)制造中,比如汽車工業(yè)的發(fā)動(dòng)機(jī)制造領(lǐng)域,氣缸內(nèi)壁的精度對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)的性能和可靠性有著直接的影響。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,提供高精度和高分辨率的數(shù)據(jù),制造商得以更好地掌握產(chǎn)品質(zhì)量并提高生產(chǎn)效率。它利用激光共焦成像原理,能夠準(zhǔn)確測(cè)量金屬內(nèi)壁表面形貌,包括凹凸、微觀結(jié)構(gòu)和表面粗糙度等參數(shù)。這些數(shù)據(jù)對(duì)保證發(fā)動(dòng)機(jī)氣缸內(nèi)壁的精密性和一致性非常重要,從而保障發(fā)動(dòng)機(jī)性能和長(zhǎng)期可靠性。此外 在科學(xué)研究領(lǐng)域,光譜共焦位移傳感器也扮演關(guān)鍵角色,幫助研究者進(jìn)一步了解各種材料的微觀特性和表面形態(tài),推動(dòng)材料科學(xué)、工程技術(shù)進(jìn)步和開發(fā)創(chuàng)新應(yīng)用。

在容器玻璃生產(chǎn)過程中,圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征,需要進(jìn)行檢查。任何有缺陷的容器都會(huì)被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中。為了實(shí)現(xiàn)快速的非接觸式測(cè)量,并確保不損壞瓶子,需要高處理速度。對(duì)于這種測(cè)量任務(wù),光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測(cè)量并通過EtherCAT接口實(shí)時(shí)輸出數(shù)據(jù) ,厚度校準(zhǔn)功能允許在傳感器的整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)進(jìn)行精確的厚度測(cè)量。此外,自動(dòng)曝光控制可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同玻璃顏色的測(cè)量的穩(wěn)定性。光譜共焦技術(shù)可以對(duì)生物和材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析。

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光譜共焦測(cè)量原理通過使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。工廠校準(zhǔn)為每個(gè)波長(zhǎng)分配了一定的偏差(特定距離)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長(zhǎng)才能用于測(cè)量。從目標(biāo)表面反射的這種光通過共焦孔徑到達(dá)光譜儀,該光譜儀檢測(cè)并處理光譜變化。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用共焦原理進(jìn)行測(cè)量。共焦測(cè)量提供納米分辨率并且?guī)缀跖c目標(biāo)材料分開運(yùn)行。在傳感器的測(cè)量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了一個(gè)非常小的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測(cè)量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面,以及測(cè)量窄孔、小間隙和空腔 。光譜共焦位移傳感器的工作原理是通過激光束和光纖等光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)的。非接觸式光譜共焦測(cè)量?jī)x

它通過對(duì)物體表面反射光的光譜分析,實(shí)現(xiàn)對(duì)物體表面位移變化的測(cè)量。高采樣速率光譜共焦的原理

隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展,人們對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的要求越來越高,希望能夠生產(chǎn)出具有精度高、適應(yīng)性強(qiáng)、實(shí)時(shí)無(wú)損檢測(cè)等特性的位移傳感器,光譜共焦位移傳感器的出現(xiàn),使問題得到了解決,它是一種非接觸式光電位移傳感器,測(cè)量精度可達(dá)亞微米級(jí)甚至于更高,對(duì)背景光,環(huán)境光源等雜光的抗干擾能力強(qiáng),適應(yīng)性強(qiáng),且其在體積方面具有小型化的特點(diǎn),因此應(yīng)用前景十分大量。光學(xué)色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一,鏡頭組性能參數(shù)對(duì)位移傳感器的測(cè)量精度與分辨率起著決定性的作用 。高采樣速率光譜共焦的原理