天津高溫?zé)o氧烘箱產(chǎn)生故障

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-07-14

DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐(YAMATO)


潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。


特點(diǎn):

● MAX工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓(光刻膠PI、PBO固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

● 采用耐熱高性能高效過濾器,箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級(jí),可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。

● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達(dá)時(shí)間短,N2消耗量極低。

● 通過磁密封保持高氣密性,并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。

● 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)。

● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。

● 液晶觸摸屏操作,自動(dòng)/手動(dòng)兩種運(yùn)行模式。


安全性:

● 擁有門檢測(cè)開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮?dú)鈮毫z測(cè)、氮?dú)饬髁繖z測(cè)、冷卻水流量檢測(cè)、漏水傳感器、過電流漏電保護(hù)開關(guān)等安裝裝置。


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烘干設(shè)備介紹


一、人性化的箱體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì):

1、單開門結(jié)構(gòu),取放物料方便。

2、高質(zhì)量不銹鋼內(nèi)膽,使用安全。鋼板外體,造型大方、新穎。

3、耐高溫風(fēng)機(jī)和合理風(fēng)道構(gòu)成熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),保證室內(nèi)溫度均勻性。

4、體積小,重量輕,利用率高,方便放置實(shí)驗(yàn)室、產(chǎn)線的任何位置。

5、玻璃門可視窗,可隨時(shí)觀察箱內(nèi)產(chǎn)品烘烤情況。

二、控溫精確,電氣合理安全

1、智能PID溫控器控溫,控溫精確。

2、電氣控制元器件均采用國(guó)內(nèi)**品牌。

3、電氣線路設(shè)計(jì)新穎,合理布線,安全可靠。

4、箱體頂部為電氣控制柜,方便于集中檢查維修。 浙江雅瑪拓高溫?zé)o氧烘箱高溫?zé)o氧烘箱,就選浚和(上海)儀器有限公司,用戶的信賴之選,歡迎您的來電!

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氣氛爐抽真空效果不佳解決辦法


一、檢查氣氛爐自身的密封性

      檢查一下爐殼,砌體,爐門及所有外界連接零件如風(fēng)扇,熱電偶,輻射管,推拉料機(jī)等處的密封性是否正常;

二、檢查氣氛爐真空泵

      真空泵的好壞決定于其機(jī)械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量,使用真空泵時(shí)必須把它保護(hù)好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機(jī)溶劑時(shí),有機(jī)溶劑會(huì)被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓,從而降低了抽空效能,如果是酸性氣體,那就會(huì)腐蝕油泵,如果是水蒸氣就會(huì)使油成乳濁液而抽壞真空泵。

無(wú)氧烘箱與普通工業(yè)烘箱的比較

      無(wú)氧烘箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備等的高溫潔凈和無(wú)氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。


一、無(wú)氧烘箱與普通工業(yè)烘箱在結(jié)構(gòu)上的區(qū)別

      無(wú)氧烘箱會(huì)對(duì)內(nèi)箱進(jìn)行滿焊,同時(shí)做密封處理,這樣充入的惰性氣體就不會(huì)泄露,同時(shí)保證了內(nèi)部的無(wú)氧環(huán)境。而普通烘箱內(nèi)箱雖然也是滿焊,但是沒有做密封處理。


二、無(wú)氧烘箱與普通工業(yè)烘箱在控制系統(tǒng)上的區(qū)別

      無(wú)氧烘箱需要增加氮?dú)饪刂葡到y(tǒng),同時(shí)需要有延時(shí)加熱功能,就是說在加熱之前進(jìn)行延時(shí)充氮,以此來保證加熱時(shí)箱內(nèi)已經(jīng)形成無(wú)氧環(huán)境,避免高溫氧化。當(dāng)然,一些其他的控制技術(shù)包括雙流量充氮省能源控制等方式也被許多用戶采納,即雙流量+延時(shí)加熱,大流量氮?dú)獬淙?,延時(shí)加熱,當(dāng)箱內(nèi)充滿氮?dú)夂?,自?dòng)切換為小流量以此節(jié)省氮?dú)狻?而普通烘箱則沒有這些功能。 浚和(上海)儀器有限公司是一家專業(yè)提供高溫?zé)o氧烘箱的公司,有想法可以來我司咨詢!

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C1-008 潔凈厭氧高溫氣氛爐(YAMATO)


用途:光刻工藝后段,光刻膠固化。

●MAX工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度20ppm以下。

●程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能,有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式。

●快速升溫、降溫,降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

●配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等。

●全不銹鋼材質(zhì)。

●在安全方面,配置了自動(dòng)過升防止、過升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ惓?、氮?dú)饬髁慨惓!⑦^電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置。



室溫+30~360℃ 規(guī)格參數(shù):

溫度范圍:室溫+30~360℃

溫度分布精度:±4.0℃(at 360℃)

溫度上升時(shí)間:60min(室溫→360℃)

溫度下降時(shí)間:90min(360℃→50℃)

氧濃度:20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間:約45分鐘

潔凈度:100級(jí)

裝備:氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸:W600×D600×H600mm

電源:3相 AC380V


室溫室溫+50~500℃ 規(guī)格參數(shù):

溫度范圍:室溫+50~500℃

溫度分布精度:±8.0℃(a500℃)

溫度上升時(shí)間:90min(室溫→500℃)

溫度下降時(shí)間:120min(500℃→50℃)

氧濃度:20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間:約45分鐘

潔凈度:100級(jí)

裝備:氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸:W600×D600×H600mm

電源:3相 AC380V



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C1-007厭氧高溫氣氛爐(YAMATO)


●用途:電子元器件高溫處理工藝。

●用途:光刻工藝后段,光刻膠固化。

●MAX工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下。

●程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能,有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式。

●快速升溫、降溫,降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

●配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等。

●在安全方面,配置了自動(dòng)過升防止、過升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ?/span>

●常、氮?dú)饬髁慨惓!⑦^電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置。


室溫+30~360℃ 規(guī)格參數(shù):

溫度范圍室溫:+30~360℃

溫度分布精度:±4.0℃(at 360℃)

溫度上升時(shí)間:60min(室溫→360℃)

溫度下降時(shí)間:90min(360℃→50℃)

氧濃度:20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間:約45分鐘

運(yùn)轉(zhuǎn)功能:定值運(yùn)轉(zhuǎn)、程序運(yùn)轉(zhuǎn)

裝備:氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸:W600×D600×H600mm

電源:3相 AC380V



室溫+50~600℃ 規(guī)格參數(shù):

溫度范圍室溫:室溫+50~600℃

溫度分布精度:±8.0℃(at 600℃)

溫度上升時(shí)間:90min(室溫→600℃)

溫度下降時(shí)間:120min(600℃→50℃)

氧濃度:20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間:約45分鐘

運(yùn)轉(zhuǎn)功能:定值運(yùn)轉(zhuǎn)、程序運(yùn)轉(zhuǎn)

裝備:氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸:W600×D600×H600mm

電源:3相 AC380V



天津高溫?zé)o氧烘箱產(chǎn)生故障

浚和(上海)儀器有限公司是一家供應(yīng)國(guó)內(nèi)外先進(jìn)儀器和設(shè)備的專業(yè)供應(yīng)商和服務(wù)商,致力于為客戶提供專業(yè)的定制化解決方案。多年來,持續(xù)為醫(yī)藥、化工、高校、科研單位、檢測(cè)院等多個(gè)行業(yè)提供先進(jìn)的產(chǎn)品和專業(yè)的服務(wù)。

浚和在不斷引進(jìn)國(guó)內(nèi)外先進(jìn)儀器設(shè)備的同時(shí),結(jié)合行業(yè)和市場(chǎng)需求,加強(qiáng)和客戶之間的溝通,并與國(guó)際上多家**儀器設(shè)備制造商保持著長(zhǎng)期穩(wěn)定的合作關(guān)系,不定期地與合作商進(jìn)行技術(shù)交流,努力加強(qiáng)自身技術(shù)力量。公司配備了數(shù)名有著多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)人員,依靠雄厚的技術(shù)實(shí)力、科學(xué)合理的配置方案、專業(yè)的安裝調(diào)試和周到的售后服務(wù),得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品包括:等離子清洗機(jī)、真空泵、噴霧干燥器、數(shù)字PCR、高壓滅菌鍋、培養(yǎng)箱、切片機(jī)、水分測(cè)定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等,目前主要合作品牌有:日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時(shí),公司還提供專業(yè)的技術(shù)服務(wù),如設(shè)備的維護(hù)、驗(yàn)證等。

浚和儀器將始終以行業(yè)特點(diǎn)為立足點(diǎn),以客戶需求為導(dǎo)向,不斷地提高自身專業(yè)技術(shù)能力,不停地完善客戶服務(wù)質(zhì)量,在發(fā)展中保持創(chuàng)新的精神,力求與客戶共同進(jìn)步,為行業(yè)的發(fā)展作出不懈的努力。