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以專門作為工藝反應的內反應腔20。寶來利真空底板11、寶來利真空側壁12、第二底板21和第二側壁22均可由金屬材料組成，其中，第二底板21和第二側壁22則優(yōu)先選用熱傳導效果較好的金屬材料組成，例如可選不銹鋼或鋁合金等材料。除上述結構形式外，外腔體10和內反應腔20還可以共用一個底板，真空鍍膜設備用一圈隔離板對外腔體10進行分割即可。但為了將內反應腔20的空間盡可能地縮小到所需范圍，且真空鍍膜設備大限度地降低非必要的空間，該實施方式中設置了寶來利真空底板11和第二底板21相互分離的設置結構，以在垂直方向上縮小內反應腔20的空間。其中，寶來利真空底板11、寶來利真空側壁12和密封蓋板30三者相互密閉連接共同構成了與外部大氣隔離的具有封閉結構的外腔體10。而內反應腔20則位于該外腔體10之內，但是第二側壁22與密封蓋板30之間并未形成封閉式接觸，兩者之間屬于分離式設計結構。該結構也就使得外腔體10與內反應腔20之間在仍屬于相互連通的結構構造，用該結構可以將真空設備中的部分構件分離，將工藝過程中非必要的機械結構部件設置于外腔體10中，而與工藝反應相關的結構部件設置于內反應腔20中。在工藝反應過程中，由于工藝反應區(qū)的壓力要大于外腔體10中的壓力。 寶來利光學纖維真空鍍膜設備性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，細膩有光澤，有需要可以來咨詢！江蘇金屬涂層真空鍍膜設備供應商家

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因此，即使外腔體10與內反應腔20在氣路上相互連通，但外腔體10中的污染物也很難進入到內反應腔20中，從而可以保證內反應腔20始終保持清潔的工藝環(huán)境。由此，外腔體10與所述內反應腔20可共用一套抽真空系統(tǒng)。由于外腔體10與內反應腔20之間應屬于相互連通的氣路環(huán)境，因此，當對外腔體10進行抽真空處理時，內反應腔20也同時進行抽真空處理。本實施方式中，自動門設置于所述第二側壁22上，所述外腔體10內設有傳送裝置13，所述工件自所述傳送裝置13經所述自動門23傳遞至所述內反應腔20中。自動門控制器控制自動門的啟閉。抽真空完成后，自動門控制器檢測傳送裝置上是否有工件存在，經檢測若有工件存在，則控制自動門打開，工件在傳送裝置的作用下進入內反應腔中;然后自動門控制器再控制自動門關閉。可以理解的是，傳送裝置包括轉動軸和套設在轉動軸上的傳送帶，以及驅動轉動軸旋轉的驅動機構，例如電機。其中，傳送帶的設置高度與內反應腔中的工件反應載臺相對應。繼續(xù)參照圖2，為了保證作為工藝區(qū)域的內反應腔20的環(huán)境溫度恒溫可控，第二底板21和/或所述第二側壁22上設有用于對所述內反應腔20進行控溫的溫控裝置，以使內反應腔20內的溫度始終處于所需的工藝溫度范圍內。 江蘇金屬涂層真空鍍膜設備供應商家