上海3D 視覺測量傳感器應(yīng)用案例

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-05-30

在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用:LED芯片三維測量LED晶圓光學(xué)檢測BGA半導(dǎo)體封裝光伏晶圓表面形貌測量涂層厚度時(shí)與部件無任何接觸。激光和紅外傳感器可分析2至50厘米距離的涂層。這意味著可以在工業(yè)涂層環(huán)境中測量部件,即使它們位于移動產(chǎn)線上、在高溫環(huán)境中,甚至易碎或潮濕環(huán)境中。由于激光束產(chǎn)生的熱量極少,因此測量過程中涂層和部件都不會被損壞或改變。因此,對于那些迄今已有的方法會破壞測試樣品的工業(yè)運(yùn)用,它也可以系統(tǒng)地測量每個(gè)部件。測量通常不到一秒鐘,具有高度重復(fù)性。這樣可以控制高達(dá)100%的涂層部件,嚴(yán)格遵循涂層工藝性能并實(shí)時(shí)反應(yīng)以保持比較好狀光譜共焦傳感器,就選馬波斯測量科技,歡迎客戶來電!上海3D 視覺測量傳感器應(yīng)用案例

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光譜共焦線傳感器由180個(gè)點(diǎn)組成,可以測量距離厚度粗糙度形狀高分辨率各種材料適用于各種行業(yè)。適用于各種材料金屬(拋光或粗糙),玻璃,陶瓷,塑料,碳,硅…同軸性無陰影影響精度&分辨率亞微米級精度,Z軸納米級分辨率被動式(低溫、易爆環(huán)境)測量區(qū)域外的熱源和電源大角度鏡面可達(dá)45°速度比點(diǎn)傳感器快180倍光譜共焦視覺檢測相機(jī),AOI彩色共焦線相機(jī)檢測系統(tǒng):自動光學(xué)檢測,可以測量尺寸高分辨率各種材料適用于各種行業(yè)。工業(yè)4.0100%在線自動測量與質(zhì)量控制柔性系統(tǒng),高速可達(dá)12m/s3D形狀/輪廓測量多達(dá)6軸汽車擋風(fēng)玻璃HUD多點(diǎn)厚度測量*需4秒高分辨率的直角坐標(biāo)機(jī)械手:±0.05mm3到5軸3D形狀和/或多點(diǎn)厚度測量:±0.05mm重復(fù)性適用任何反射表面3D系統(tǒng)致力于粗糙度,3D形貌測量3個(gè)高分辨率電動軸(X;Y;Z):±0.001mm3大尺寸選擇:100x100mm2;200x200mm2;300x300m2…可與STIL傳感器配套使用,并集成了點(diǎn)、線、相機(jī)的3D軟件系統(tǒng)亞微米級軸向分辨率薄涂層和空氣間隙測量:小于1微米江西3D 視覺測量傳感器精度汽車擋風(fēng)玻璃質(zhì)量控制, 大工作距離和大景深的點(diǎn)傳感器適用于車間環(huán)境,對3D形狀、輪廓、HUD的多層厚度測量。

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應(yīng)用:玻璃外形輪廓測量CCSPrima+CL3-MG140手機(jī)屏幕與金屬外框的間隙檢測MPLS180+MicroView3D玻璃內(nèi)表面弧度的測量大角度輪廓測量玻璃表面瑕疵檢測CL3-MG70+STILDUO玻璃表面微小劃傷檢測MC2精密制造行業(yè)精密制造產(chǎn)品,內(nèi)部一般由很多細(xì)小復(fù)雜的零件組成。以代表性的手表來舉例,其制造流程和工藝雖比不上汽車、飛機(jī)工業(yè)的復(fù)雜程度,但其內(nèi)部**小小超過100多個(gè)細(xì)小復(fù)雜的零件組裝在表盤內(nèi),稍微出現(xiàn)組裝疏忽將會導(dǎo)致手表不能正常運(yùn),產(chǎn)品品質(zhì)不能經(jīng)得起考驗(yàn)。

壓力傳感器:是工業(yè)實(shí)踐中常用的一種傳感器,廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè)。7.激光傳感器:利用激光技術(shù)進(jìn)行測量的傳感器,應(yīng)用于生產(chǎn)、醫(yī)學(xué)和非電測量等。8.MEMS傳感器:包含硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器,兩者都是在硅片上生成的微機(jī)械電子傳感器,廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)、醫(yī)學(xué)和非電測量等。紅外線傳感器:利用紅外線的物理性質(zhì)來進(jìn)行測量的傳感器,常用于無接觸溫度測量、氣體成分分析和無損探傷,應(yīng)用在醫(yī)學(xué)、空間技術(shù)和環(huán)境工程等。使用簡單,拆裝方便,掃描速度快,定位精度高重復(fù)精度±0.5~±1μm;穩(wěn)定性高,抗干擾能力強(qiáng)。

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半導(dǎo)體行業(yè)材料強(qiáng)國是科技強(qiáng)國的基礎(chǔ),第三代半導(dǎo)體材料扮演著愈發(fā)關(guān)鍵的角色,也正日益成為國際、國內(nèi)科技和產(chǎn)業(yè)競爭的**領(lǐng)域之一。我國精密加工技術(shù)和配套能力進(jìn)步迅速,已經(jīng)具備開發(fā)并且逐步主導(dǎo)第三代半導(dǎo)體裝備的能力。全國多地積極響應(yīng),促進(jìn)地方產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級。該微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策,針對第三代半導(dǎo)體企業(yè)購買IP、參與研發(fā)多項(xiàng)目晶圓等做出了詳細(xì)的扶持說明。深圳正實(shí)施新一輪創(chuàng)新發(fā)展戰(zhàn)略布局,機(jī)器人、無人駕駛、等新興產(chǎn)業(yè)日新月異,坪山區(qū)將依托5G試點(diǎn),建設(shè)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。馬波斯測量科技致力于提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,歡迎您的來電哦!天津光譜共焦傳感器技術(shù)

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而光譜共焦測量方法恰恰利用這種物理現(xiàn)象的特點(diǎn)。通過使用特殊透鏡,延長不同顏色光的焦點(diǎn)光暈范圍,形成特殊放大色差,使其根據(jù)不同的被測物體到透鏡的距離,會對應(yīng)一個(gè)精確波長的光聚焦到被測物體上。通過測量反射光的波長,就可以得到被測物體到透鏡的精確距離。這一過程與攝影器材通過各種方法消減色差的過程正好相反。白色光通過一個(gè)半透鏡面到達(dá)凸透鏡。上述特殊色差就在這里產(chǎn)生。光線照射到被測物體后發(fā)生反射,透過凸透鏡,返回到傳感器探頭內(nèi)的半透鏡上。半透鏡將反射光折射到一個(gè)穿孔蓋板上,小孔只允許聚焦好的反射光通過。透過穿孔蓋板的光是一組模糊光譜,也就是說若干不同波長的光都有可能穿過小孔照在CCD感光矩陣單元上。但是只有在被測物體上聚焦的反射光擁有足夠光強(qiáng),在CCD感光矩陣上產(chǎn)生一個(gè)明顯的波峰。在穿孔蓋板后面,需要一個(gè)分光器測量反射光的顏色信息。分光器類似一個(gè)特制光柵,可以根據(jù)反射光的波長,增強(qiáng)或減弱折射率。因此,CCD矩陣上的每一個(gè)位置,對應(yīng)一個(gè)測量物體到探頭的距離。上海3D 視覺測量傳感器應(yīng)用案例

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