光刻機輪廓儀高性價比選擇

1.5.系統(tǒng)培訓的注意事項如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊；數據采集功能的講解：通訊端口、連接計算器、等待時間等參數的解釋和參數設置；實際演示一一講解；如何做好備份和恢復備份資料；當場演示各種報表的操作并進行操作解說；數據庫文件應定時作備份，大變動時更應做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數據庫的流失；在系統(tǒng)培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料。備注：系統(tǒng)培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊，并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢。輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍ZUI大可達10mm。光刻機輪廓儀高性價比選擇

    輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉換成電信號，該電信號經放大和處理，再轉換成數字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標，或放大的實際輪廓曲線，測量結果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來自網絡）輪廓儀在集成電路的應用：封磚Bump測量視場：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示；線粗糙度分析：Ra,Ry，Rz，…器件多層結構臺階高MEMS器件多層結構分析、工藝控制參數分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠實現激光槽寬度、深度自動識別和數據自動生成，大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性。 干涉儀輪廓儀質量怎么樣光學系統(tǒng)：同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)。

輪廓儀的培訓一、培訓承諾系統(tǒng)建成后，我公司將為業(yè)主提供為期1天的免廢培訓和技術資詢；培訓地點可以在我公司，亦或在工程現場；系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數為10人，由業(yè)主指定，我公司將確保相關人員正確使用該系統(tǒng)；1.1.培訓對象系統(tǒng)操作及管理人員（培訓對象須具有專業(yè)技術的技術人員或實際值班操作人員）；其他業(yè)主指定的相關人員。1.2.培訓內容系統(tǒng)操作使用說明書。培訓課程的主要內容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關參數設定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等，具體內容如下：*系統(tǒng)文檔解讀；*系統(tǒng)的技術特點、安裝維護和系統(tǒng)管理方式；*系統(tǒng)一般故障排除。

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分廣范。（來自網絡）先進的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導體檢測技術研發(fā)和產業(yè)化經驗所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等PI，納米移動平臺及控制Nikon，干涉物鏡NI，信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺VS2012/64位。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。

輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸，典型結果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等）幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數量等）白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件，物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標配的10×，還有2.5×，5×，20×，50×，100×，可選。不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦。物鏡是輪廓儀蕞和新的部件， 物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求。3D形貌輪廓儀服務為先

輪廓儀可用于：微結構均勻性 缺 陷，表面粗糙度。光刻機輪廓儀高性價比選擇

NanoX-80003D輪廓測量主要技術參數3D測量主要技術指標（1）：測量模式：PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍：大行程PZT掃描（300um標配/500um選配）10mm精密電機拓展掃描CCD相機：1920x1200高速相機（標配）干涉物鏡：（標配）,20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換：5孔電動鼻切換FOV：1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦：高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng)：高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）傾斜調節(jié)：±5°電動調節(jié)橫向分辨率：≥μm（與所配物鏡有關）3D測量主要技術指標（2）：垂直掃描速度：PSI:<10s，VSI/CSI：<38um/s高度測量范圍：–10mm表面反射率：>(1σ)臺階高重復性：(1σ)VSI/CSI：垂直分辨率<(1σ，10um臺階高)。光刻機輪廓儀高性價比選擇

岱美儀器技術服務（上海）有限公司依托可靠的品質，旗下品牌EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi以高質量的服務獲得廣大受眾的青睞。是具有一定實力的儀器儀表企業(yè)之一，主要提供半導體工藝設備，半導體測量設備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀等領域內的產品或服務。我們強化內部資源整合與業(yè)務協(xié)同，致力于半導體工藝設備，半導體測量設備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀等實現一體化，建立了成熟的半導體工藝設備，半導體測量設備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀運營及風險管理體系，累積了豐富的儀器儀表行業(yè)管理經驗，擁有一大批專業(yè)人才。岱美中國始終保持在儀器儀表領域優(yōu)先的前提下，不斷優(yōu)化業(yè)務結構。在半導體工藝設備，半導體測量設備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀等領域承攬了一大批高精尖項目，積極為更多儀器儀表企業(yè)提供服務。