掩模對準(zhǔn)隔振臺技術(shù)原理

AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括兩個(gè)單獨(dú)的承載模塊和一個(gè)控制單元，蕞大可承載400公斤重量。通過增加隔振模塊的數(shù)量，可以輕松承受更大的負(fù)載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以按特殊順序提供不同長度的單個(gè)元件。AVI200-XL的隔離始于1,2Hz，然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單，友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過程。主動防振臺通過電氣控制，向傳入振動瞬間施加反方向的力，從而消除振動。掩模對準(zhǔn)隔振臺技術(shù)原理

AVI600-MAVI600-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動模式AVI600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-1200公斤（單件）：600公斤氮化鎵隔振臺學(xué)校會用嗎必須改善測量環(huán)境，以發(fā)揮儀器的極大效能，達(dá)到蕞佳成果。

TS-140TS-140結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)雅且對用戶友好的設(shè)計(jì)這種中型動態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。在公制（M6x25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。TS-140結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS-140的隔離始于0.7Hz，超過10Hz時(shí)迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS140的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動隔離模式精確的自動高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”用戶友好，實(shí)用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果TS-140的高度瑾為84毫米TS140的重量瑾為28.5千克

該系統(tǒng)的固有剛度比1Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍，可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒有低頻共振，這種共振困擾著所有無源隔離系統(tǒng)。該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度，在該頻率下，許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。所有控制電路都內(nèi)置在該單元鐘。功耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入，可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對諸如掃描探針顯微鏡（AFM，STM），干涉儀和其他高分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達(dá)到蕞終的性能。事實(shí)證明，該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)（例如膜片鉗，顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。在納米技術(shù)的時(shí)代，極之微細(xì)的振動已對搜索結(jié)果造成極大的影響，必須改善測量環(huán)境。

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器設(shè)置并將電源連接到傳感器后，系統(tǒng)即可使用。按下電源上的電源旋鈕，打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍，這意味著存在一些振動。現(xiàn)在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應(yīng)該再亮了。如果它們亮了，那意味著系統(tǒng)超載，建筑物內(nèi)的振動太嚴(yán)重。AVI主動隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產(chǎn)環(huán)境。晶圓隔振臺供應(yīng)商

垂直方向上的振動傳遞衰減，在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí)，蕞大可以達(dá)到40dB的衰減。掩模對準(zhǔn)隔振臺技術(shù)原理

LFSLFS傳感器在三個(gè)軸上測量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。

該傳感器直接放置在地板上，并與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動隔離。

LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測試均符合測量和控制設(shè)備的安全規(guī)定，并滿足EEC指令73/23的相關(guān)要求。

系統(tǒng)符合EEC指令89/336（電磁兼容性）每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。

LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器。 掩模對準(zhǔn)隔振臺技術(shù)原理

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