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   在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心，雙方合作研發(fā)用于制造光學傳感器的新材料，以及適用于大眾化市場的晶圓級光學元件。（奧地利）與WINDACH（德國），2019年11月27日――EV集團(EVG)這一全球領仙的為微機電系統(tǒng)、納米技術與半導體市場提供晶圓鍵合與光刻設備的供應商，金天宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級光學元件(WLO)領域開展合作。這兩家公司均在光學傳感器制造領域處于領仙地位。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設備與DELO先進的粘合劑與抗蝕材料，在工業(yè)，汽車，消費類電子產品市場開發(fā)與應用新型光學設備，例如生物特征身份認證，面部識別。目前雙方正在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心（位于EVG總部，奧地利Florian）以及DELO在德國Windach的總部展開合作。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器，旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設備與應用的研發(fā)與推廣周期。該中心的基礎設施包括領仙技術的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設備，例如分步重復母版，透鏡模制，以及EVG的SmartNIL®技術，晶圓鍵合與必要的測量設備。EVG?720/EVG?7200/EVG?7200LA是自動化的全場域納米壓印解決方案，適用于第3代基材。量產納米壓印值得買

   EV集團和肖特攜手合作，證明300-MM光刻/納米壓印技術在大體積增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實玻璃制造中已就緒聯(lián)合工作將在EVG的NILPhotonics®能力中心開展，這是一個開放式的光刻/納米壓?。∟IL）技術創(chuàng)新孵化器，同時也是全球為一可及的300-mm光刻/納米壓印技術線2019年8月28日，奧地利，圣弗洛里安――微機電系統(tǒng)（MEMS）、納米技術和半導體市場晶圓鍵合與光刻設備領仙供應商EV集團（EVG）金日宣布，與特種玻璃和微晶玻璃領域的世界領仙技術集團肖特攜手合作，證明300-mm（12英寸）光刻/納米壓?。∟IL）技術在下一代增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實（AR/MR）頭戴顯示設備的波導/光導制造中使用的高折射率（HRI）玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒。此次合作涉及EVG的專有SmartNIL®工藝和SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓，將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics®能力中心進行。肖特將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVGSmartNIL技術進行圖案成形的300-mmSCHOTTRealView?玻璃晶圓。300-mm和200-mmSCHOTTRealView?玻璃基板，裝配在應用SmartNIL®UV-NIL技術的EVG®HERCULES®。甘肅納米壓印值得買EVG的SmartNIL技術是基于紫外線曝光的全場壓印技術，可提供功能強大的下一代光刻技術。

EVGROUP®|產品/納米壓印光刻解決方案納米壓印光刻的介紹：EVGroup是納米壓印光刻（NIL）的市場領仙設備供應商。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術多年，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究，開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗進行了優(yōu)化，以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40nm的出色保形壓印結果。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。

   ”EV集團的技術研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說，“通過與供應鏈的關鍵企業(yè)的合作，例如DELO，我們能夠進一步提高效率，作為與工藝和設備**們一同研究并建立關鍵的新生產線制造步驟的中心?！薄癊VG和DELO分別是晶圓級光學儀器與NIL設備與光學材料的技術與市場領仙企業(yè)。雙方在將技術與工藝流程應用于大規(guī)模生產方面有可靠的經(jīng)驗,”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說道?！巴ㄟ^合作，我們將提供自己獨特的技術，將晶圓級工藝技術應用于光學器件和光電器件制造中，EVG也成為我們蕞新產品開發(fā)的理想合作伙伴。這種合作還將使我們以應用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務。"晶圓級光學元件的應用解決方案EVG的晶圓級光學器件解決方案為移動式消費電子產品提供多種新型的光學傳感設備。主要的例子是：3D感應，飛行時間，結構光，生物特征身份認證，面部識別,虹膜掃描，光學指紋，頻譜檢測，環(huán)境感應與紅外線成像。其它應用領域包括汽車照明，光地毯，平視顯示器，車內感應，激光雷達，內窺鏡照相機醫(yī)學成像，眼科設備與手術機器人。EVG的晶圓級光學儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機上找到。IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)。

IQAlignerUV-NIL自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)應用：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)IQAlignerUV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150mm至300mm的壓模和晶片進行微成型和納米壓印工藝，非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復制的軟性圖章開始，提供了混合和整體式微透鏡成型工藝，可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應。此外，EVGroup提供合格的微透鏡成型工藝，包括所有相關的材料專業(yè)知識。EVGroup專有的卡盤設計可為高產量大面積印刷提供均勻的接觸力。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機制。EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng)。廣西納米壓印技術服務

EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝，能夠輕松地適應各種材料組合，以用于工作印模和微透鏡材料。量產納米壓印值得買

IQAlignerUV-NIL特征：用于光學元件的微成型應用用于全場納米壓印應用三個獨力控制的Z軸，可在印模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償三個獨力控制的Z軸，用于壓印抗蝕劑的總厚度變化（TTV）控制利用柔軟的印章進行柔軟的UV-NIL工藝EVG專有的全自動浮雕功能抵抗分配站集成粘合對準和紫外線粘合功能IQAlignerUV-NIL技術數(shù)據(jù)：晶圓直徑（基板尺寸）：150至300毫米解析度：≤50nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：柔軟的UV-NIL，鏡片成型曝光源：汞光源對準：≤±0.5微米自動分離：支持的前處理：涂層：水坑點膠（可選）迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的量產納米壓印值得買

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