晶圓片隔振臺質量怎么樣

來源: 發(fā)布時間:2022-07-02

    傳感器位置傳感器可以移動到任何期望的位置。它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬,以使其不會明顯傾斜當人們在附近移動時。傾斜會導致傳感器輸出飽和并失去隔離。運作方式設置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。綠色LED將點亮。紅色LED開始閃爍,這意味著存在一些振動?,F(xiàn)在,您可以通過按啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色LED不應點亮了。如果它們點亮,則表示系統(tǒng)過載且振動建筑物中存在的物體太嚴重。請注意,如果未啟用LFS,則它將無效。敏感的傳感器單元,請勿撞擊,敲打或跌落! 安裝好后參數(shù)不需要調(diào)整。晶圓片隔振臺質量怎么樣

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LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI元件的開關輸出,這些AVI元件以任意4個矩形方向(即平行或直角)放置,不允許其他方向。面向LFS傳感器的藍色LED直立。將弟一個AVI元件連接到后面板上的12個D-Sub15插座中的任何一個。使用筆在位置A和D之間滑動開關。傳感器的位置:傳感器可以移動到任何所需位置。它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支承面剛度:支承面的剛度很重要。水平傳感器無法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬,以便在附近移動時不會明顯傾斜。傾斜將導致傳感器輸出飽和,隔離將失效。浙江實驗室隔振臺在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動式隔振設備的領頭供應商 ,并在此領域積累了豐富的經(jīng)驗。

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技術指標:頻率負載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔離:動態(tài)(超過1kHz)透射率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N靜態(tài)合規(guī)性:大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N最大負載:140公斤尺寸:500x600x84毫米重量:28.5kg電的安全等級:1個能量消耗:蕞大10W負載調(diào)整時20W輸入電壓:115-230VAC+/-10%50-60Hz超載:顯示屏指示負載過重或嚴重失衡監(jiān)控信號:示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-瑾用于診斷目的前面板顯示菜單:顯示儀器狀態(tài),包括:-高度調(diào)節(jié)-隔離開/關-過載-運輸鎖定-技術熱線桌上尺寸:500x600毫米。

AVI200-SAVI200-S的基本配置

包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,蕞大可以負載400公斤。通過增加隔離模塊的數(shù)量,可以輕松承受更高的負載。

為了使AVI200-M適應用戶特定的應用,可以按特殊順序提供不同長度的單個模塊。AVI200-M的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI200-M隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。

我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復雜的過程技術指標:頻率:1.2-200Hz負載范圍:0-400千克(0-200千克單個元件) 示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-瑾用于診斷目的。

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使用說明書解鎖系統(tǒng)后,將設備放置在平坦且堅固的桌子上或地下。調(diào)整負載補償:將負載放在蕞上面,并使用以下三個調(diào)整負載補償側面的車輪到外殼和頂板之間的距離為2mm。沿+方向旋轉輪子以增加負載補償方向旋轉車輪以減少負載補償按下并檢查每個角是否有約0.5mm的自由移動。輕輕地上下拉頂板!更改負載后,檢查每個角是否自由移動!將電源插頭連接到背面的輸入電源插座。按下背面的電源按鈕打開設備“POWER”LED將點亮,而“ACTIVE”LED開始閃爍。大約30秒鐘后,“活動”LED將保持點亮狀態(tài),并且系統(tǒng)現(xiàn)在可以使用了。您可以通過按“啟用”按鈕來打開和關閉活動隔離。使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無需單獨的電源。通過模式開關可以選擇不同的激勵方向。晶圓片隔振臺質量怎么樣

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。晶圓片隔振臺質量怎么樣

將手輕輕放在桌面上。上方區(qū)塊中的一個或多個LED可能會亮起,指示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果你現(xiàn)在在桌面上施加很大的力,所有過載燈都會亮起,并且隔離指示燈將閃爍幾秒鐘,表明系統(tǒng)暫時不再隔離,直到過載消除(待機模式)。消除過載后,隔離燈應再次亮起,系統(tǒng)開始隔離。某些過載LED可能會亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個階段系統(tǒng)正在隔離-但增益降低。嚴重過載后,系統(tǒng)可能需要半個小時分鐘即可達到完全隔離,但通常只需要幾秒鐘。注意:在正常使用中,隔離開關可能會保持在ON位置(黑色旋鈕在里面)。上接通電源后,黃色指示燈將首先閃爍,表明系統(tǒng)處于待機狀態(tài)模式。大約30秒鐘后,指示燈停止閃爍并保持點亮狀態(tài),表明系統(tǒng)處于隔離。晶圓片隔振臺質量怎么樣

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