聯(lián)電輪廓儀售后服務(wù)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-06-14

輪廓儀的和新團(tuán)隊(duì)夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人,太陽(yáng)能在線檢測(cè)設(shè)備唐壽鴻博士,國(guó)家千人****25年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān),世界即圖像處理、算法**許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BDMedicalInstrument)光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,為您排憂解難。包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。聯(lián)電輪廓儀售后服務(wù)

聯(lián)電輪廓儀售后服務(wù),輪廓儀

輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別:關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)??傊?,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。但是,輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切,現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī),就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測(cè)量模塊,這樣既可以測(cè)量輪廓尺寸,又可以測(cè)量粗糙度,市場(chǎng)上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。在結(jié)構(gòu)上,輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當(dāng)然也有臺(tái)式的。國(guó)產(chǎn)輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

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輪廓儀的性能測(cè)量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)樣品臺(tái):150mm/200mm/300mm樣品臺(tái)(可選配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)CCD相機(jī)像素:標(biāo)配:1280×960視場(chǎng)范圍:560×750um(10×物鏡)具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及CCD相機(jī)光學(xué)系統(tǒng):同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)光源:高效LEDZ方向聚焦80mm手動(dòng)聚焦(可選電動(dòng)聚焦)Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,拓展達(dá)10mm)縱向分辨率<0.1nmRMS重復(fù)性*0.005nm,1σ臺(tái)階測(cè)量**準(zhǔn)確度≤0.75%;重復(fù)性≤0.1%,1σ橫向分辨率≥0.35um(100倍物鏡)檢測(cè)速度≤35um/sec,與所選的CCD

NanoX-80003D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù)3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(1):測(cè)量模式:PSI+VSI+CSIZ軸測(cè)量范圍:大行程PZT掃描(300um標(biāo)配/500um選配)10mm精密電機(jī)拓展掃描CCD相機(jī):1920x1200高速相機(jī)(標(biāo)配)干涉物鏡:2.5X,5X,10X(標(biāo)配),20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換:5孔電動(dòng)鼻切換FOV:1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦:高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦照明系統(tǒng):高效長(zhǎng)壽白光LED+濾色鏡片電動(dòng)切換(綠色/藍(lán)色)傾斜調(diào)節(jié):±5°電動(dòng)調(diào)節(jié)橫向分辨率:≥0.35μm(與所配物鏡有關(guān))3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(2):垂直掃描速度:PSI:<10s,VSI/CSI:<38um/s高度測(cè)量范圍:0.1nm–10mm表面反射率:>0.5%測(cè)量精度:PSI:垂直分辨率<0.1nm準(zhǔn)確度<1nmRMS重復(fù)性<0.01nm(1σ)臺(tái)階高重復(fù)性:0.15nm(1σ)VSI/CSI:垂直分辨率<0.5nm準(zhǔn)確度<1%重復(fù)性<0.1%(1σ,10um臺(tái)階高)隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。

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NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)(移動(dòng)+聚焦+測(cè)量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞快如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。我們主要經(jīng)營(yíng)鍵合機(jī)、光刻機(jī)、輪廓儀,隔振臺(tái)等設(shè)備。輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。ADE輪廓儀用途是什么

三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測(cè)設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率。聯(lián)電輪廓儀售后服務(wù)

輪廓儀產(chǎn)品應(yīng)用藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)高精密材料表面缺陷超精密表面缺陷分析,核探測(cè)Oled特征結(jié)構(gòu)測(cè)量,表面粗糙度外延片表面缺陷檢測(cè)硅片外延表面缺陷檢測(cè)散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制)生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件微結(jié)構(gòu)均勻性缺陷,表面粗糙度移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)本作品采用重疊平均移相干涉算法,保證了亞納米量級(jí)的測(cè)量精度;優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),使每次檢測(cè)時(shí)間壓縮到10秒鐘以內(nèi),同時(shí)完善的數(shù)據(jù)評(píng)價(jià)系統(tǒng)為用戶評(píng)價(jià)產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便。聯(lián)電輪廓儀售后服務(wù)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大,現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),各種專業(yè)設(shè)備齊全。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務(wù),以誠(chéng)信、敬業(yè)、進(jìn)取為宗旨,以建EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB產(chǎn)品為目標(biāo),努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè)。我公司擁有強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力,多年來(lái)一直專注于磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù) 的發(fā)展和創(chuàng)新,打造高指標(biāo)產(chǎn)品和服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x,堅(jiān)持“質(zhì)量保證、良好服務(wù)、顧客滿意”的質(zhì)量方針,贏得廣大客戶的支持和信賴。