硬涂層膜厚儀科研應用

來源: 發(fā)布時間:2022-06-03

集成電路故障分析故障分析(FA)技術(shù)用來尋找并確定集成電路內(nèi)的故障原因。故障分析中需要進行薄膜厚度測量的兩種主要類型是正面去層(用于傳統(tǒng)的面朝上的電路封裝)和背面薄化(用于較新的覆晶技術(shù)正面朝下的電路封裝)。正面去層正面去層的工藝需要了解電介質(zhì)薄化后剩余電介質(zhì)的厚度。背面故障分析背面故障分析需要在電路系統(tǒng)成像前移除大部分硅晶粒的厚度,并了解在每個薄化步驟后剩余的硅厚度是相當關(guān)鍵的。FilmetricsF3-sX是為了測量在不同的背面薄化過程的硅層厚度而專門設計的系統(tǒng)。厚度從5微米到1000微米能夠很容易的測量,另外可選配模組來延伸蕞小測量厚度至0.1微米,同時具有單點和多點測繪的版本可供選擇。測量范例現(xiàn)在我們使用我們的F3-s1550系統(tǒng)測量在不同的背面薄化過程的硅層厚度.具備特殊光學設計之F3-S1550利用比直徑更小於10μm的光斑尺寸得以測量拋光以及粗糙或不均勻表面的硅層厚度測量厚度: 15 — 780 μm (單探頭) ; 3 mm (雙探頭總厚度測量)。硬涂層膜厚儀科研應用

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顯微鏡轉(zhuǎn)接器F40系列轉(zhuǎn)接器。Adapter-BX-Cmount該轉(zhuǎn)接器將F40接到OlympusBX或MX上而不必使用Olympus價格較貴的c-mount轉(zhuǎn)接器。MA-Cmount-F20KIT該轉(zhuǎn)接器將F20連接到顯微鏡上(模仿F40,光敏度低5倍),包括集成攝像機、光纖、TS-Focus-SiO2-4-10000厚度標準、F40軟件,和F40手冊。軟件升級:UPG-RT-to-Thickness升級的厚度求解軟件,需要UPG-Spec-to-RT。UPG-Thickness-to-n&k升級的折射率求解軟件,需要UPG-RT-to-Thickness。UPG-F10-AR-HC為F10-AR升級的FFT硬涂層厚度測量軟件。包括TS-Hardcoat-4um厚度標準。厚度測量范圍0.25um-15um。UPG-RT-to-Color&Regions升級的色彩與光譜區(qū)域分析軟件,需要UPG-Spec-to-RT。工藝薄膜膜厚儀優(yōu)惠價格測量SU-8 其它厚光刻膠的厚度有特別重要的應用。

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F10-ARc:走在前端以較低的價格現(xiàn)在可以很容易地測量曲面樣品,包括眼鏡和其他光學鏡片的防反射涂層,瑾需其他設備一小部分的的價格就能在幾秒內(nèi)得到精確的色彩讀值和反射率測量.您也可選擇升級薄膜厚度測量軟件,操作上并不需要嚴格的訓練,您甚至可以直覺的藉由設定任何波長范圍之蕞大,蕞小和平均值.去定義顏色和反射率的合格標準.容易設定.易於維護.只需將F10-ARc插上到您計算機的USB端口,感謝Filmetrics的創(chuàng)新,F10-ARc幾乎不存在停機時間,加上40,000小時壽命的光源和自動板上波長校準,你不需擔心維護問題。

F3-CS:快速厚度測量可選配FILMeasure厚度測量軟件使厚度測量就像在平臺上放置你的樣品一樣容易,軟件內(nèi)建所有常見的電介質(zhì)和半導體層(包括C,N和HT型聚對二甲苯)的光學常數(shù)(n和k),厚度結(jié)果會及時的以直覺的測量結(jié)果顯示對于進階使用者,可以進一步以F3-CS測量折射率,F3-CS可在任何運行WindowsXP到Windows864位作業(yè)系統(tǒng)的計算機上運行,USB電纜則提供電源和通信功能.包含的內(nèi)容:USB供電之光譜儀/光源裝置FILMeasure8軟件內(nèi)置樣品平臺BK7參考材料四萬小時光源壽命額外的好處:應用工程師可立刻提供幫助(周一-周五)網(wǎng)上的“手把手”支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))系統(tǒng)測試應力的精度小于15mpa (0.03cm-1) ,全自動的200mm和300mm硅片檢查,自動檢驗和聚焦的能力。

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F10-RT同時測量反射和透射以真空鍍膜為設計目標,F(xiàn)10-RT只要單擊鼠標即可獲得反射和透射光譜。只需傳統(tǒng)價格的一小部分,用戶就能進行蕞低/蕞高分析、確定FWHM并進行顏色分析。可選的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用FilmetricsF10的分析能力。測量結(jié)果能被快速地導出和打印。包含的內(nèi)容:集成光譜儀/光源裝置FILMeasure8軟件BK7參考材料Al2O3參考材料Si參考材料防反光板鏡頭紙額外的好處:每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫,隨著不同應用更超過數(shù)百種應用工程師可立刻提供幫助(周一-周五)網(wǎng)上的“手把手”支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃Filmetrics 提供一系列的和測繪系統(tǒng)來測量 3nm 到 1mm 的單層、 多層、 以及單獨的光刻膠薄膜。測厚儀膜厚儀有誰在用

基板材料: 如果薄膜位于粗糙基板 (大多數(shù)金屬) 上的話,一般不能測量薄膜的折射率。硬涂層膜厚儀科研應用

由于在重大工程、工業(yè)裝備和質(zhì)量保證、基礎科研中,儀器儀表都是必不可少的基礎技術(shù)和裝備重點,除傳統(tǒng)領(lǐng)域的需求外,新興的智能制造、離散自動化、生命科學、新能源、海洋工程、軌道交通等領(lǐng)域也會產(chǎn)生巨大需求。隨著互聯(lián)網(wǎng)的逐步發(fā)展,為半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等產(chǎn)品的傳播提供了一個飛速的平臺。讓儀器儀表行業(yè)從傳統(tǒng)的銷售模式到以互聯(lián)網(wǎng)電子商務為主的營銷方式的轉(zhuǎn)變,促進了儀器儀表行業(yè)與互聯(lián)網(wǎng)的結(jié)合,推動產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。目前我國磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務 產(chǎn)品,主要集中在中低檔市場,而市場則主要被國外品牌所占據(jù)。在某些領(lǐng)域,國產(chǎn)產(chǎn)品甚至是空白,這就需要未來我國儀器儀表向市場進軍,擴大產(chǎn)品占比。儀器儀表在工業(yè)發(fā)展中具有重要作用,這也使得儀器儀表得到快讀發(fā)展。各行各業(yè)對儀器儀表的市場需求也在不斷提升,貿(mào)易企業(yè)正在發(fā)展中尋求技術(shù)創(chuàng)新和質(zhì)量提升。儀器儀表的質(zhì)量、性能關(guān)系到工業(yè)安全,必須重視。硬涂層膜厚儀科研應用

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