臺(tái)積電隔振臺(tái)研發(fā)可以用嗎

LFSLFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。

該傳感器直接放置在地板上，并與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動(dòng)隔離。

LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試均符合測(cè)量和控制設(shè)備的安全規(guī)定，并滿足EEC指令73/23的相關(guān)要求。

系統(tǒng)符合EEC指令89/336（電磁兼容性）每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。

LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器。 該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)（例如膜片鉗，顯微注射或用于測(cè)量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。臺(tái)積電隔振臺(tái)研發(fā)可以用嗎

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙?huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起，表示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對(duì)桌面施加很大的力，所有過(guò)載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過(guò)載解除（待機(jī)模式）之前暫時(shí)不再隔離。卸下過(guò)載后，隔離燈應(yīng)再次亮起，系統(tǒng)開(kāi)始隔離。一些過(guò)載LED可能會(huì)亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個(gè)階段，系統(tǒng)也在隔離，但增益降低。嚴(yán)重過(guò)載后，系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離，但通常只需要幾秒鐘。聯(lián)電隔振臺(tái)自動(dòng)化測(cè)量Table Stable通過(guò)在發(fā)展主動(dòng)隔振系統(tǒng)的同時(shí)補(bǔ)充了被動(dòng)系統(tǒng)。

LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中，以提高極低頻時(shí)的隔振性能。LFS-3可以被復(fù)裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測(cè)量的垂直和水平隔離（可傳輸性），其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP進(jìn)行測(cè)量，增益設(shè)置為128（V）和150（H）。輸入電壓：115/230VAC，50-60Hz功耗：蕞大20瓦頻率范圍：0.2-20Hz尺寸傳感器：255x245x107mm（長(zhǎng)x寬x高）電源尺寸：265x155x73mm（長(zhǎng)x寬x高）重量傳感器：5.9kg供電重量：1.6kg應(yīng)用：室內(nèi)防護(hù)等級(jí)：IP20溫度范圍：5°C-40°C相對(duì)濕度：10–90%（5–30°C）

該系統(tǒng)的固有剛度比1Hz諧振無(wú)源隔離器的固有剛度大25倍，可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒(méi)有低頻共振，這種共振困擾著所有無(wú)源隔離系統(tǒng)。該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度，在該頻率下，許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開(kāi)始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。所有控制電路都內(nèi)置在該單元鐘。功耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入，可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對(duì)諸如掃描探針顯微鏡（AFM，STM），干涉儀和其他高分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達(dá)到蕞終的性能。事實(shí)證明，該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)（例如膜片鉗，顯微注射或用于測(cè)量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。振動(dòng)分析系統(tǒng)VA-2C是帶有遠(yuǎn)程測(cè)量頭的系統(tǒng)，可輕松測(cè)量三個(gè)正交方向上的加速度，速度或位移。

1、使用2mm內(nèi)六角扳手（包括在內(nèi)）拆下模塊端板。2、根據(jù)掃描電鏡的重量調(diào)整模塊。在每個(gè)中心柱上的橫梁上方和下方應(yīng)該有一個(gè)間隙，允許每側(cè)大約有2mm的行程。B、使用M6活動(dòng)扳手（包括）轉(zhuǎn)動(dòng)位于支撐彈簧頂部的調(diào)整螺母。向右轉(zhuǎn)動(dòng)扳手可降低模塊并增加上部間隙（在中間止動(dòng)螺母和橫撐之間）。向左轉(zhuǎn)動(dòng)扳手可升高模塊并減小上部間隙。C、計(jì)算每個(gè)螺母的圈數(shù)；盡可能均勻地調(diào)整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。D、不要轉(zhuǎn)動(dòng)螺母太遠(yuǎn)，否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下，外露螺紋不得超過(guò)10mm3.裝回模塊上的端板LFS-3性能使用測(cè)振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測(cè)試的。中芯國(guó)際隔振臺(tái)摩擦學(xué)應(yīng)用

LFS-3感應(yīng)器測(cè)試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz。臺(tái)積電隔振臺(tái)研發(fā)可以用嗎

技術(shù)指標(biāo)：頻率負(fù)載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔離：動(dòng)態(tài)（超過(guò)1kHz）透射率：參見(jiàn)附件曲線10Hz以上的透射率<（-40dB）矯正力：垂直+/-8N水平+/-4N靜態(tài)合規(guī)性：大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N最大負(fù)載：140公斤尺寸：500x600x84毫米重量：28.5kg電的安全等級(jí)：1個(gè)能量消耗：蕞大10W負(fù)載調(diào)整時(shí)20W輸入電壓：115-230VAC+/-10％50-60Hz超載：顯示屏指示負(fù)載過(guò)重或嚴(yán)重失衡監(jiān)控信號(hào)：示波器上顯示的多路復(fù)用信號(hào)顯示有無(wú)隔離的振動(dòng)水平-瑾用于診斷目的前面板顯示菜單：顯示儀器狀態(tài)，包括：-高度調(diào)節(jié)-隔離開(kāi)/關(guān)-過(guò)載-運(yùn)輸鎖定-技術(shù)熱線桌上尺寸：500x600毫米。臺(tái)積電隔振臺(tái)研發(fā)可以用嗎

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司辦公設(shè)施齊全，辦公環(huán)境優(yōu)越，為員工打造良好的辦公環(huán)境。專(zhuān)業(yè)的團(tuán)隊(duì)大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗(yàn)，熟悉行業(yè)專(zhuān)業(yè)知識(shí)技能，致力于發(fā)展EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB的品牌。我公司擁有強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力，多年來(lái)一直專(zhuān)注于磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣(mài)除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù) 的發(fā)展和創(chuàng)新，打造高指標(biāo)產(chǎn)品和服務(wù)。自公司成立以來(lái)，一直秉承“以質(zhì)量求生存，以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營(yíng)理念，始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn)，為客戶提供良好的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測(cè)量?jī)x，從而使公司不斷發(fā)展壯大。