首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，太倉恒溫工業(yè)烤箱服務，到達設定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，太倉恒溫工業(yè)烤箱服務，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程，太倉恒溫工業(yè)烤箱服務。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。電路科高溫隧道精密烤箱。太倉恒溫工業(yè)烤箱服務
二.溫度范圍:1.使用溫度：10℃~50℃三．機器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.溫度分布均勻度:±5~10℃.(空爐測量恒溫段有效區(qū)域內為準)配置風路循環(huán)（手動變頻調節(jié)）四.機械板金結構：1.內部材質：SUS1.0t不銹鋼板.2.外部材質:SS41+粉體金屬漆。3.保溫材質:高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.設有排氣系統(tǒng)，及時將爐內廢氣排出，可調節(jié)大小。五.恒溫系統(tǒng):1.采用不銹鋼，均布式平面布局，保證均溫性.2.完全單獨系統(tǒng)，不影響控制線路.六.電路控制系統(tǒng):1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無熔絲電源開關，鐵線槽堅固耐用.4.控制系統(tǒng)附電源燈、風車指示燈，加熱指示燈…….七.安全保護系統(tǒng):1.附有施耐德無熔絲保護開關.2.超溫控制超過設定最大值,自動斷電.3.控制器超溫控制接點+蜂鳴.4.控制線路電源加裝保險絲.鹽城無氧化工業(yè)烤箱價錢精密送風循環(huán)隧道烤箱。
控制系統(tǒng)循環(huán)馬達及風葉采用運風馬達，配多翼式風輪，經(jīng)過動平衡矯正及風速靜壓之測試、共鳴之測試完成；采水平送風循環(huán)方式，兩側吹風，中間回風，有效保證均溫。加熱管采用質量電加熱器加熱�？諝饧訜岱绞�1.由烘箱進氣口進風至加熱器風槽內；2.空氣經(jīng)加熱后在烘箱內部做循環(huán)運風，廢氣從排氣口排出。（外排風管由客戶自備）控溫溫控器1.采用臺上品HOTTSP微電腦自動演算單段溫控器，有PV與SV雙LED顯示功能；2.自帶PID自動整定演算輸出，控制精細。超溫保護器1.采用超溫保護器；2.當溫度超過超溫保護器設定值時，自動切斷加熱電源。時間控制0~99.9小時可任意設定，時間到達后有報警并自動停止加熱。加熱管控制采用SSR固態(tài)繼電器控制加熱器，節(jié)能效果佳，控溫效果更穩(wěn)定，性能更***。溫度傳感器采用K型熱電偶，測溫精細。時控開關附一個時控開關，可設置定時開關機。低壓電氣組件主要電器采用施耐德，日本歐姆龍中間繼電器。記錄儀配1臺國產(chǎn)6通道無紙記錄儀，有效記錄烘箱溫度。
尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設備配置試驗室用電源設備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應大于300mm。特別要求：文檔到指定的網(wǎng)絡路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產(chǎn)使用量監(jiān)控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監(jiān)控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數(shù)據(jù)：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業(yè)批號、作業(yè)人員工號、作業(yè)開始時間、結束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設備前方或左右側）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調檔：（當cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執(zhí)行）軟件支持SEMI自動化標準SECS/GEM通訊接口工業(yè)烘箱品牌生產(chǎn)廠家。
一、設計依據(jù)：烘烤線設計說明：1.工件烘烤（1）爐體採用天然氣燃燒後進行加熱，爐體尺寸以托盤的工件尺寸規(guī)劃（2）爐體採用輥筒輸送，爐體加熱段設計連續(xù)烘烤。（3）爐體加熱段採用150°C，2.輸送爐輸送方式為載重型雙鏈滾筒輸送，滾筒表面鍍鋅處理。3.爐內滾筒輸送線總長：37米；動力分為6段，每段長度大約6.1左右。（動力分段以后續(xù)實際設計為準）4.傳動採用步進式驅動：電機配合減速機一體式；5.烤爐側板為巖棉板，價格低，施工快，120K,t=150mm，溫度為150度，熱風迴圈方式.5.加熱方式為燃氣燃燒機加熱。（日本正英公司是燃燒技術領域的企業(yè)之一，主要產(chǎn)品包括燃氣、燃油及雙燃料燃燒器及相關附件，功率范圍為12至17500千瓦。）二、設計目標：本步進式砂芯烘烤爐主要承擔工件的烘乾等工序作業(yè)，整個設備設計成熟在原先樣機的基礎上會做的更好，在有限的場地，能滿足客戶對於產(chǎn)能、溫度、時間的要求，同時工人操作條件安全良好，建成後可達到同期國內同類產(chǎn)品的先進水準。圓型鐘罩燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。昆山恒溫工業(yè)烤箱
推板式氣氛燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。太倉恒溫工業(yè)烤箱服務
3.11、賣方嚴格按照國家有關標準、合約的承諾進行生產(chǎn)製造、檢驗。3.12、買方可隨時到現(xiàn)場對賣方的生產(chǎn)製造進行監(jiān)督。4、技術檔在賣方設備安裝結束後向買方提供以下技術檔：4.1設備說明書：包括設備操作說明、電氣操作說明、設備總圖、電氣原理圖。4.2其它資料：用戶驗收書等。5、培訓和技術服務5.1、.向使用者提供及時、***和高品質的技術服務，對工程項目來說十分重要，這也是我公司在以往工程項目中的一貫做法。實施責任工程師制，負責本次專案。5.2.技術服務工作的保證措施①設計階段，設計人員下現(xiàn)場，結合現(xiàn)場條件，細緻做好設計前的資料調查收集，充分聽取工廠各方面的意見，***安排，精心佈置，做出高品質的設計。②設備安裝、設計人員下工地現(xiàn)場監(jiān)督、服務。③設計人員參加調試、試運行和驗收試驗，並認真做好調試記錄。④在保質期內，正常運行過程中出現(xiàn)的技術故障，我方無償進行維修服務。5.3.技術培訓為保障各系統(tǒng)安全、連續(xù)、正常運行，對操作人員及維修人員的培訓是十分重要。賣方負責為買方提供的免費培訓，培訓地點在使用現(xiàn)場，負責培訓操作和基本維護，達到操作設備和基本的維護能力。太倉恒溫工業(yè)烤箱服務
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司是一家有著先進的發(fā)展理念，先進的管理經(jīng)驗，在發(fā)展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創(chuàng)新，時刻準備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司，在江蘇省等地區(qū)的機械及行業(yè)設備中匯聚了大量的人脈以及客戶資源，在業(yè)界也收獲了很多良好的評價，這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果，這些評價對我們而言是最好的前進動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強、一往無前的進取創(chuàng)新精神，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同昆山臺上品工業(yè)自動化供應和您一起攜手走向更好的未來，創(chuàng)造更有價值的產(chǎn)品，我們將以更好的狀態(tài)，更認真的態(tài)度，更飽滿的精力去創(chuàng)造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！
